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    Schaltbare Filter und Entwurfsstrukturen
    2.
    发明专利
    Schaltbare Filter und Entwurfsstrukturen 未知

    公开(公告)号：DE102013200215A1

    公开(公告)日：2013-07-25

    申请号：DE102013200215

    申请日：2013-01-10

    Applicant: IBM

    Inventor： CANDRA PANGLIJEN ,  DUNBAR THOMAS J ,  JAFFE MARK D ,  STAMPER ANTHONY K ,  WOLF RANDY L ,  GAMBINO JEFFREY P ,  ADKISSON JAMES W

    IPC: H03H9/64 ,  H01L41/08 ,  H03H3/08

    Abstract: Hierin werden schaltbare und/oder abstimmbare Filter, Herstellungsverfahren und Entwurfsstrukturen offenbart. Das Verfahren zum Bilden der Filter schließt das Bilden mindestens einer piezoelektrischen Filterstruktur ein, die eine Vielzahl von Elektroden aufweist, die auf einem piezoelektrischen Substrat gebildet sind. Das Verfahren schließt außerdem das Bilden einer feststehenden Elektrode mit einer Vielzahl von Fingern auf dem piezoelektrischen Substrat ein. Das Verfahren schließt zudem das Bilden einer beweglichen Elektrode mit einer Vielzahl von Fingern über dem piezoelektrischen Substrat ein. Das Verfahren schließt außerdem das Bilden von Betätigungselementen ein, die mit einem oder mehreren von der Vielzahl von Fingern der beweglichen Elektrode ausgerichtet sind.

    Schaltbare Filter und Entwurfsstrukturen
    5.
    发明专利
    Schaltbare Filter und Entwurfsstrukturen 未知

    公开(公告)号：DE102012223979A1

    公开(公告)日：2013-07-04

    申请号：DE102012223979

    申请日：2012-12-20

    Applicant: IBM

    Inventor： ADKISSON JAMES W ,  CANDRA PANGLIJEN ,  DUNBAR THOMAS J ,  GAMBINO JEFFREY P ,  JAFFE MARK D ,  STAMPER ANTHONY K ,  WOLF RANDY L

    IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  H01L41/04 ,  H03H9/25

    Abstract: Hierin werden schaltbare und/oder abstimmbare Filter, Herstellungsverfahren und Entwurfsstrukturen offenbart. Das Verfahren zum Bilden der Filter schließt das Bilden mindestens einer piezoelektrischen Filterstruktur ein, die eine Vielzahl von Elektroden aufweist, die auf einem piezoelektrischen Substrat gebildet sind. Das Verfahren schließt außerdem das Bilden einer mikro-elektromechanischen Struktur (MEMS) ein, die einen MEMS-Balken aufweist, der über dem piezoelektrischen Substrat und an einer Stelle angeordnet ist, an welcher der MEMS-Balken bei Betätigung die piezoelektrische Filterstruktur kurzschließt, indem er mit mindestens einer der Vielzahl von Elektroden in Kontakt kommt.

    Switchable piezoelectric filters using micro-electro-mechanical beam and design structures
    6.
    发明专利
    Switchable piezoelectric filters using micro-electro-mechanical beam and design structures 未知

    公开(公告)号：GB2498261A

    公开(公告)日：2013-07-10

    申请号：GB201223287

    申请日：2012-12-21

    Applicant: IBM

    Inventor： JAFFE MARK DAVID ,  ADKISSON JAMES WILLIAM ,  STAMPER ANTHONY K ,  WOLF RANDY LEE ,  CANDRA PANGLIJEN ,  GAMBINO JEFFERY P ,  DUNBAR THOMAS J

    IPC: H01L41/047 ,  H01L41/107 ,  H03H9/02 ,  H03H9/64

    Abstract: Switchable and/or tunable filters, methods of manufacture and design structures are disclosed herein. The method of forming the filters includes forming at least one piezoelectric (PE) filter structure comprising a plurality of electrodes 14, 16 formed on a PE 12. The method further includes forming a micro-electro-mechanical structure (MEMS) comprising a MEMS beam 26 formed above the PE substrate and at a location in which, upon actuation, the MEMS beam shorts the PE filter structure by contacting at least one of the plurality of electrodes. The PE filter may be surface acoustic wave (SAW) filter. The SAW filter may comprise input and output transducers comprising interleaved electrodes. The PE filter may be a bulk acoustic wave (BAW) filter. The beam may be perpendicular to the interleaved electrodes and may cover the whole area of the electrodes of at least one filter structure. The structure may be formed using computer aided design. In one embodiment the frequency of a filter may be determined and the beam may be actuated to contact one of the electrodes depending on the frequency.

    A switchable interdigital transducer in a SAW filter
    7.
    发明专利
    A switchable interdigital transducer in a SAW filter 未知

    公开(公告)号：GB2499308A

    公开(公告)日：2013-08-14

    申请号：GB201300243

    申请日：2013-01-08

    Applicant: IBM

    Inventor： JAFFE MARK DAVID ,  ADKISSON JAMES WILLIAM ,  STAMPER ANTHONY K ,  WOLF RANDY LEE ,  CANDRA PANGLIJEN ,  GAMBINO JEFFERY P ,  DUNBAR THOMAS J

    IPC: H03H9/64 ,  H03H3/08 ,  H03H9/145

    Abstract: The fingers 22 of a movable electrode of an interdigital transducer (IDT) lie in a cavity above the piezoelectric layer 12 and are moved down to contact the layer 12, between the fingers 14 of a fixed electrode, by applying voltages to electrostatic actuator electrodes 16 or 24. Alternatively, the movable fingers 22 may be formed just above the layer 12 and the actuators used to move the fingers away from the layer 12 or to apply a downward pull-in contact force. The technique allows the switching into circuit of SAW filters without incurring the insertion loss caused by FET switches, or a reduction in Q factor. A SAW filter arrangement may be set to a desired frequency by activating or deactivating selected SAW filters.

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