公开(公告)号：DE69228792T2

公开(公告)日：1999-10-07

申请号：DE69228792

申请日：1992-11-19

Applicant: IBM

Inventor： CHIDAMBARRAO DURESETI ,  NIJHUIS ROLF HENK ,  SRINIVASAN GURUMAKONDA RAMASAM ,  MURLEY PHILIP CLYDE ,  ROBBINS GORDON JAY ,  WALTERS TIMOTHY LAWTON

IPC: H01L23/522 ,  H01L21/60 ,  H01L21/768 ,  H01L23/49 ,  H01L23/556

公开(公告)号：DE69228792D1

公开(公告)日：1999-05-06

申请号：DE69228792

申请日：1992-11-19

Applicant: IBM

Inventor： CHIDAMBARRAO DURESETI ,  NIJHUIS ROLF HENK ,  SRINIVASAN GURUMAKONDA RAMASAM ,  MURLEY PHILIP CLYDE ,  ROBBINS GORDON JAY ,  WALTERS TIMOTHY LAWTON

IPC: H01L23/522 ,  H01L21/60 ,  H01L21/768 ,  H01L23/49 ,  H01L23/556