公开(公告)号：DE3067439D1

公开(公告)日：1984-05-17

申请号：DE3067439

申请日：1980-07-31

Applicant: IBM

Inventor： GARTNER HELMUT MATTHEW ,  PETVAI STEVE ISTVAN ,  SARKARY HOMI GUSTADJI ,  SCHNITZEL RANDOLPH HUFF

IPC: H01L21/302 ,  C23F4/00 ,  H01L21/263 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/31

公开(公告)号：DE3278227D1

公开(公告)日：1988-04-14

申请号：DE3278227

申请日：1982-05-12

Applicant: IBM

Inventor： LOGAN JOSEPH SKINNER ,  PETVAI STEVE ISTVAN ,  ROSU CORNEL

IPC: C23C14/42 ,  H01J37/34 ,  C23C14/40

公开(公告)号：BR8203977A

公开(公告)日：1983-07-05

申请号：BR8203977

申请日：1982-07-08

Applicant: IBM

Inventor： LOGAN JOSEPH SKINNER ,  PETVAI STEVE ISTVAN ,  ROSU CORNEL

IPC: C23C14/42 ,  H01J37/34 ,  C23C15/00