公开(公告)号：DE2963404D1

公开(公告)日：1982-09-16

申请号：DE2963404

申请日：1979-07-16

Applicant: IBM

Inventor： CHANG KENNETH ,  COSMAN DAVID CECIL ,  GARTNER HELMUT MATTHEW ,  HOEG JR ANTHONY JOHN

IPC: G03F7/09 ,  H01L21/033 ,  H01L21/306 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/768 ,  H01L21/00 ,  G03F7/02 ,  H01L21/308 ,  H01L21/90

公开(公告)号：DE3067439D1

公开(公告)日：1984-05-17

申请号：DE3067439

申请日：1980-07-31

Applicant: IBM

Inventor： GARTNER HELMUT MATTHEW ,  PETVAI STEVE ISTVAN ,  SARKARY HOMI GUSTADJI ,  SCHNITZEL RANDOLPH HUFF

IPC: H01L21/302 ,  C23F4/00 ,  H01L21/263 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/31