公开(公告)号：JPS5892205A

公开(公告)日：1983-06-01

申请号：JP15972582

申请日：1982-09-16

Applicant: IBM

Inventor： UEIIKAN CHIYU ,  JIEEMUZU KENTO HAWAADO

IPC: C01G23/00 ,  C23C14/48 ,  H01B3/00 ,  H01G4/10 ,  H01G4/12 ,  H01G4/33

公开(公告)号：JPS5667919A

公开(公告)日：1981-06-08

申请号：JP10518180

申请日：1980-08-01

Applicant: IBM

Inventor： ARATSUPU BATACHIYARIYA ,  UEIIKAN CHIYU ,  JIEEMUZU KENTO HAWAADO ,  FURANSHISU UORUTAA UIIDOMAN

IPC: H01G4/33 ,  H01G4/10

公开(公告)号：JPS5818938A

公开(公告)日：1983-02-03

申请号：JP8409482

申请日：1982-05-20

Applicant: IBM

Inventor： UEIIKAN CHIYU ,  UIRIAMU EARON PURISUKIN ,  YAKOBU RAIZUMAN

IPC: H01L21/76 ,  H01L21/31 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/316 ,  H01L21/762

公开(公告)号：JPS5492176A

公开(公告)日：1979-07-21

申请号：JP13464178

申请日：1978-11-02

Applicant: IBM

Inventor： UEIIKAN CHIYU ,  JIEEMUSU KENTO HAWAADO ,  JIEEMUZU FURANSHISU HOWAITO

IPC: H01L29/43 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285 ,  H01L21/338 ,  H01L21/768 ,  H01L23/532 ,  H01L29/47 ,  H01L29/872