公开(公告)号：JPS529648A

公开(公告)日：1977-01-25

申请号：JP7999576

申请日：1976-07-07

Applicant: IBM

Inventor： JIYOSEFU EMU HAABIRUCHIYATSUKU ,  UIRIAMU SHII METSUGAA ,  YAKOBU RAIZUMAN ,  JIERARUDEIN SHII SHIYUWARUTSU

IPC: C23F4/00 ,  C23F1/00 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065

公开(公告)号：JPS51141741A

公开(公告)日：1976-12-06

申请号：JP4871176

申请日：1976-04-30

Applicant: IBM

Inventor： JIYOSEFU EMU HAABURUCHIYATSUKU ,  JIYOSEFU ESU ROOGAN ,  UIRIAMU SHII METSUGAA ,  POORU EMU SHIYAIBURU

IPC: C23F4/00 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/32