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公开(公告)号：DE102017109575A1
公开(公告)日：2017-11-09
申请号：DE102017109575
申请日：2017-05-04
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DORFMEISTER MANUEL , DEHE ALFONS , GRILLE THOMAS , HEDENIG URSULA , KALTENBACHER MANFRED , SCHMID ULRICH , SCHNEIDER MICHAEL
Abstract: Aspekte einer mikroelektromechanischen Vorrichtung, einer Anordnung von mikroelektromechanischen Vorrichtungen, ein Verfahren zur Herstellung einer mikroelektromechanischen Vorrichtung und ein Verfahren zum Betrieb einer mikroelektromechanischen Vorrichtung sind hierin erläutert. Die mikroelektromechanische Vorrichtung kann Folgendes umfassen: ein Substrat (102); eine mechanisch mit dem Substrat (102) gekoppelte Membran (110), die einen belasteten Bereich umfasst, um die Membran (110) in eine von zwei geometrisch stabilen Positionen auszubauchen; einen mit der Membran (110) mechanisch gekoppelten Aktuator (120), der eine piezoelektrische Schicht (124) über der Membran (110) umfasst; eine Steuervorrichtung (150), die ausgebildet ist, um ein elektrisches Steuersignal als Antwort auf ein digitales Schalleingangssignal bereitzustellen; wobei der Aktuator (120) ausgebildet ist, um das elektrische Steuersignal zu empfangen, um über die piezoelektrische Schicht (124) eine piezoelektrische Kraft auf die Membran (110) auszuüben, um diese zur Erzeugung einer Schallwelle zu bewegen.
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公开(公告)号：DE102017109575B4
公开(公告)日：2020-10-01
申请号：DE102017109575
申请日：2017-05-04
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DORFMEISTER MANUEL , DEHE ALFONS , GRILLE THOMAS , HEDENIG URSULA , KALTENBACHER MANFRED , SCHMID ULRICH , SCHNEIDER MICHAEL
IPC: H04R7/24 , B81B3/00 , B81B7/02 , B81B7/04 , B81C1/00 , B82B3/00 , H04R3/00 , H04R17/00 , H04R31/00
Abstract: Mikroelektromechanische Vorrichtung (300A), die Folgendes umfasst:ein Substrat (102);eine Membran (110), die mechanisch mit dem Substrat (102) gekoppelt ist, wobei die Membran (110) einen nicht direkt belasteten Bereich (114) und einen belasteten Bereich (112) umfasst, um die Membran (110) in eine von zwei geometrisch stabilen Positionen auszubauchen, wobei der belastete Bereich (112) durch eine vorbelastete Schicht, die mit einer Oberfläche der Membran (110) mechanisch gekoppelt ist,und/oder durch Dotieren der Membran (110) mit einem strukturellen Dotiermaterial erzeugt wird und wobei in dem unbelasteten Bereich (114) die vorbelastete Schicht bzw. das strukturelle Dotiermaterial fehlt, wobei die vorbelastete Schicht eine vorgespannte Schicht oder eine Schicht mit definierter Schichtspannung ist;einen Aktuator (120), der mechanisch mit der Membran (110) gekoppelt ist, wobei der Aktuator (120) eine piezoelektrische Schicht (124) über der Membran (110) umfasst; undeine Steuervorrichtung (150), die ausgebildet ist, um ein elektrisches Steuersignal als Antwort auf ein digitales Schalleingangssignal bereitzustellen;wobei der Aktuator (120) ausgebildet ist, um das elektrische Steuersignal zu empfangen, um über die piezoelektrische Schicht (124) eine mechanische piezoelektrische Kraft auf die Membran (110) auszuüben, um die Membran (110) zu bewegen, um eine Schallwelle zu erzeugen.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：DE102017126644A1
公开(公告)日：2019-05-16
申请号：DE102017126644
申请日：2017-11-13
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DEHE ALFONS , DORFMEISTER MANUEL , SCHMID ULRICH , SCHNEIDER MICHAEL
Abstract: Es werden Membranelementanordnungen mit mindestens einem bistabilen Membranelement, welches einen ersten stabilen Zustand und einen zweiten stabilen Zustand aufweist, sowie entsprechende Verfahren bereitgestellt. Dabei können bistabile Membranelement oberhalb einer Umschaltschwelle zum Umschalten zwischen dem ersten und dem zweiten stabilen Zustand oder unterhalb der Umschaltschwelle angesteuert werden.
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公开(公告)号：DE102016115260B3
公开(公告)日：2018-02-08
申请号：DE102016115260
申请日：2016-08-17
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： SCHMID ULRICH , DEHE ALFONS , DORFMEISTER MANUEL , SCHNEIDER MICHAEL
IPC: H04R17/02 , H01L41/04 , H01L41/113 , H04R31/00
Abstract: Ein Schallwellensensor kann aufweisen: eine durchgehende Membran, welche durch zu detektierende Schallwellen auslenkbar ist, und eine piezoelektrische Schicht, welche auf der Membran bereitgestellt ist und eine Mehrzahl von piezoelektrischen Schichtabschnitten aufweist, welche jeweils mit wenigstens zwei individuellen elektrischen Kontaktstrukturen ausgestattet sind, welche dazu eingerichtet sind, die entsprechenden piezoelektrischen Schichtabschnitte elektrische zu kontaktieren. Elektrische Kontaktstrukturen, welche unterschiedlichen piezoelektrischen Schichtabschnitten zugeordnet sind, können getrennt voneinander sein.
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公开(公告)号：DE102017126644B4
公开(公告)日：2020-11-12
申请号：DE102017126644
申请日：2017-11-13
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DEHE ALFONS , DORFMEISTER MANUEL , SCHMID ULRICH , SCHNEIDER MICHAEL
IPC: H04R7/04 , B81B3/00 , B81B7/02 , G12B1/02 , H01L41/04 , H01L41/09 , H04R1/40 , H04R7/06 , H04R17/00 , H04R17/10
Abstract: Membranelementanordnung, umfassend:mindestens ein bistabiles Membranelement (50A-50E) mit einem ersten stabilen Zustand und einem zweiten stabilen Zustand, undeine Steuerung (22) zum Ansteuern des mindestens einen Membranelements (50A-50E),wobei die Steuerung (22) eingerichtet ist, ein Membranelement (50C, 50D) des mindestens einen bistabilen Membranelements mit einem Steuersignal oberhalb einer Umschaltschwelle zum Umschalten zwischen dem ersten stabilen Zustand und dem zweiten stabilen Zustand anzusteuern, unddas Membranelement oder ein weiteres Membranelement (50A, 50B) des mindestens einen bistabilen Membranelements mit einem Ansteuersignal, dessen Amplitude über mehrere Perioden des Ansteuersignals unterhalb der Umschaltschwelle liegt, anzusteuern.
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公开(公告)号：DE102017214630A1
公开(公告)日：2019-02-28
申请号：DE102017214630
申请日：2017-08-22
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DEHE ALFONS , DORFMEISTER MANUEL , SCHMID ULRICH , SCHNEIDER MICHAEL
Abstract: Ein MEMS weist ein Substrat und eine an dem Substrat aufgehängte Membran auf, die in einem ersten stabilen Auslenkungszustand und in einem zweiten stabilen Auslenkungszustand auslenkbar ist. Das MEMS umfasst einen Aktuator, der ausgebildet ist, um die Membran aus dem ersten oder zweiten stabilen Auslenkungszustand zu bewegen. Das MEMS umfasst ferner einen Sensor, der ausgebildet ist, um eine durch den Aktuator bewirkte Bewegung der Membran zu erfassen, und um ein Sensorsignal auszugeben, das eine Auslenkinformation aufweist, die auf der Bewegung basiert. Das MEMS umfasst ferner eine Auswerteeinrichtung, die ausgebildet ist, um die Auslenkinformation auszuwerten, um eine Zustandsinformation der Membran zu erhalten.
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公开(公告)号：DE102017106256A1
公开(公告)日：2018-09-27
申请号：DE102017106256
申请日：2017-03-23
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DEHE ALFONS , BELAHURAU YAUHENI , DORFMEISTER MANUEL , GLACER CHRISTOPH , KALTENBACHER MANFRED , SCHMID ULRICH , SCHNEIDER MICHAEL , TUMPOLD DAVID
Abstract: Ein mikroelektromechanischer Lautsprecher kann Folgendes umfassen: mehrere elementare Lautsprecher, die jeweils eine Ansteuereinheit und eine durch die Ansteuereinheit auslenkbare Membran umfassen, und einen Controller, der dazu ausgelegt ist, jeweils Steuersignale an die Ansteuereinheiten zu liefern. Die Ansteuereinheiten können jeweils dazu ausgelegt sein, die entsprechenden Membrane gemäß den jeweiligen Steuersignalen, die von dem Controller geliefert werden, auszulenken, um akustische Wellen zu erzeugen. Ein Steuersignal, das an mindestens eine Ansteuereinheit geliefert wird, kann mindestens ein lokales Extremum aufweisen, und ein globales Extremum einer Krümmung des Steuersignals mit einem höchsten absoluten Wert der Krümmung kann sich an einer Position des Steuersignals befinden, die einer Position des mindestens einen lokalen Extremums des Steuersignals vorangeht.
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