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公开(公告)号：DE102017109575A1
公开(公告)日：2017-11-09
申请号：DE102017109575
申请日：2017-05-04
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DORFMEISTER MANUEL , DEHE ALFONS , GRILLE THOMAS , HEDENIG URSULA , KALTENBACHER MANFRED , SCHMID ULRICH , SCHNEIDER MICHAEL
Abstract: Aspekte einer mikroelektromechanischen Vorrichtung, einer Anordnung von mikroelektromechanischen Vorrichtungen, ein Verfahren zur Herstellung einer mikroelektromechanischen Vorrichtung und ein Verfahren zum Betrieb einer mikroelektromechanischen Vorrichtung sind hierin erläutert. Die mikroelektromechanische Vorrichtung kann Folgendes umfassen: ein Substrat (102); eine mechanisch mit dem Substrat (102) gekoppelte Membran (110), die einen belasteten Bereich umfasst, um die Membran (110) in eine von zwei geometrisch stabilen Positionen auszubauchen; einen mit der Membran (110) mechanisch gekoppelten Aktuator (120), der eine piezoelektrische Schicht (124) über der Membran (110) umfasst; eine Steuervorrichtung (150), die ausgebildet ist, um ein elektrisches Steuersignal als Antwort auf ein digitales Schalleingangssignal bereitzustellen; wobei der Aktuator (120) ausgebildet ist, um das elektrische Steuersignal zu empfangen, um über die piezoelektrische Schicht (124) eine piezoelektrische Kraft auf die Membran (110) auszuüben, um diese zur Erzeugung einer Schallwelle zu bewegen.
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公开(公告)号：DE102017106256A1
公开(公告)日：2018-09-27
申请号：DE102017106256
申请日：2017-03-23
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DEHE ALFONS , BELAHURAU YAUHENI , DORFMEISTER MANUEL , GLACER CHRISTOPH , KALTENBACHER MANFRED , SCHMID ULRICH , SCHNEIDER MICHAEL , TUMPOLD DAVID
Abstract: Ein mikroelektromechanischer Lautsprecher kann Folgendes umfassen: mehrere elementare Lautsprecher, die jeweils eine Ansteuereinheit und eine durch die Ansteuereinheit auslenkbare Membran umfassen, und einen Controller, der dazu ausgelegt ist, jeweils Steuersignale an die Ansteuereinheiten zu liefern. Die Ansteuereinheiten können jeweils dazu ausgelegt sein, die entsprechenden Membrane gemäß den jeweiligen Steuersignalen, die von dem Controller geliefert werden, auszulenken, um akustische Wellen zu erzeugen. Ein Steuersignal, das an mindestens eine Ansteuereinheit geliefert wird, kann mindestens ein lokales Extremum aufweisen, und ein globales Extremum einer Krümmung des Steuersignals mit einem höchsten absoluten Wert der Krümmung kann sich an einer Position des Steuersignals befinden, die einer Position des mindestens einen lokalen Extremums des Steuersignals vorangeht.
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公开(公告)号：DE102017109575B4
公开(公告)日：2020-10-01
申请号：DE102017109575
申请日：2017-05-04
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DORFMEISTER MANUEL , DEHE ALFONS , GRILLE THOMAS , HEDENIG URSULA , KALTENBACHER MANFRED , SCHMID ULRICH , SCHNEIDER MICHAEL
IPC: H04R7/24 , B81B3/00 , B81B7/02 , B81B7/04 , B81C1/00 , B82B3/00 , H04R3/00 , H04R17/00 , H04R31/00
Abstract: Mikroelektromechanische Vorrichtung (300A), die Folgendes umfasst:ein Substrat (102);eine Membran (110), die mechanisch mit dem Substrat (102) gekoppelt ist, wobei die Membran (110) einen nicht direkt belasteten Bereich (114) und einen belasteten Bereich (112) umfasst, um die Membran (110) in eine von zwei geometrisch stabilen Positionen auszubauchen, wobei der belastete Bereich (112) durch eine vorbelastete Schicht, die mit einer Oberfläche der Membran (110) mechanisch gekoppelt ist,und/oder durch Dotieren der Membran (110) mit einem strukturellen Dotiermaterial erzeugt wird und wobei in dem unbelasteten Bereich (114) die vorbelastete Schicht bzw. das strukturelle Dotiermaterial fehlt, wobei die vorbelastete Schicht eine vorgespannte Schicht oder eine Schicht mit definierter Schichtspannung ist;einen Aktuator (120), der mechanisch mit der Membran (110) gekoppelt ist, wobei der Aktuator (120) eine piezoelektrische Schicht (124) über der Membran (110) umfasst; undeine Steuervorrichtung (150), die ausgebildet ist, um ein elektrisches Steuersignal als Antwort auf ein digitales Schalleingangssignal bereitzustellen;wobei der Aktuator (120) ausgebildet ist, um das elektrische Steuersignal zu empfangen, um über die piezoelektrische Schicht (124) eine mechanische piezoelektrische Kraft auf die Membran (110) auszuüben, um die Membran (110) zu bewegen, um eine Schallwelle zu erzeugen.
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