公开(公告)号：DE60106011T2

公开(公告)日：2006-03-02

申请号：DE60106011

申请日：2001-07-23

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： SCHNEIDER TORSTEN ,  SPULER BRUNO ,  DRABE CHRISTIAN ,  HAENSEL JANA ,  KRASEMANN ANKE ,  LORENZ BARBARA ,  MORGENSTERN DR

IPC: H01L21/311 ,  H01L21/334 ,  H01L21/8242 ,  H01L27/108 ,  H01L29/94

公开(公告)号：DE60106011D1

公开(公告)日：2004-11-04

申请号：DE60106011

申请日：2001-07-23

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： SCHNEIDER TORSTEN ,  SPULER BRUNO ,  DRABE CHRISTIAN ,  HAENSEL JANA ,  KRASEMANN ANKE ,  LORENZ BARBARA ,  MORGENSTERN DR

IPC: H01L21/311 ,  H01L21/8242 ,  H01L21/334 ,  H01L27/108 ,  H01L29/94