公开(公告)号：DE102019208373A1

公开(公告)日：2020-12-10

申请号：DE102019208373

申请日：2019-06-07

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： BROCKMEIER ANDRE ,  JANSKI RAFAEL ,  KIRILLOV BORIS ,  OLDSEN MARTEN ,  ROESSLER CLEMENS ,  SANTOS RODRIGUEZ FRANCISCO JAVIER ,  SGOURIDIS SOKRATIS ,  SORSCHAG KURT

IPC: B81C1/00 ,  B81B7/02

Abstract: Bei einem Verfahren zum Herstellen eines Mikroelektromechanisches-System-, MEMS-, Bauelements wird ein MEMS-Substrat mit einem beweglichen Element bereitgestellt. Ein Glasabdeckbauteil mit einer Glasabdeckung wird durch Heiß-Prägen gebildet. Das Glasabdeckbauteil ist an das MEMS-Substrat gebunden, um so durch die Glasabdeckung eine Kavität, in der das bewegliche Element angeordnet ist, hermetisch abzudichten.