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公开(公告)号:DE102021115855A1
公开(公告)日:2021-12-23
申请号:DE102021115855
申请日:2021-06-18
Applicant: INTEL CORP
Inventor: SAKIB MEER NAZMUS , LIAO PEICHENG , KUMAR RANJEET , HUANG DUANNI , RONG HAISHENG , FRISH HAREL , HECK JOHN , MA CHAOXUAN , LI HAO , BALAMURUGAN GANESH
Abstract: Hier beschriebene Ausführungsformen können Einrichtungen, Prozesse und Techniken in Bezug auf kohärente optische Empfänger betreffen, einschließlich kohärenter Empfänger mit integrierten Ganzsiliciumwellenleiterfotodetektoren und abstimmbaren Lokaloszillatoren, die in CMOS-Technologie implementiert sind.Ausführungsformen betreffen auch abstimmbare Siliciumhybridlaser mit integrierten Temperatursensoren zum Steuern der Wellenlänge. Ausführungsformen betreffen auch eine Post-Prozess-Phasenkorrektur eines optischen Hybrids und verschachtelter I/Q-Modulatoren. Ausführungsformen betreffen auch Demultiplexfotodetektoren basierend auf mehreren Mikroringen. Bei Ausführungsformen können alle Komponenten auf einem Siliciumsubstrat implementiert sein. Andere Ausführungsformen können beschrieben und/oder beansprucht werden.