公开(公告)号：DE112018000685T5

公开(公告)日：2019-10-17

申请号：DE112018000685

申请日：2018-02-02

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： HAYNES ROBERT ,  WELK ARON ,  NASSER-GHODSI MEHRAN ,  GERLING JOHN ,  PLETTNER TOMAS

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/08

Abstract: Mehrsäulen-Rasterelektronenmikroskopie-(SEM)-System mit einer Säulenanordnung, wobei die Säulenanordnung eine erste Anordnung eines Substratarrays und mindestens eine zweite Anordnung eines Substratarrays umfasst. Das System umfasst ferner einen Aufbau der Quellen, wobei der Aufbau der Quelle zwei oder mehr Beleuchtungsquellen umfasst, die so konfiguriert sind, dass sie zwei oder mehr Elektronenstrahlen erzeugen. Zwei oder mehr Sätze von mehreren Positionierern sind derart konfiguriert, dass sie eine Position einer bestimmten Beleuchtungsquelle der zwei oder mehr Beleuchtungsquellen in mehrere Richtungen anpassen. Das System umfasst ferner einen Tisch, der dazu eingerichtet ist, eine Probe zu sichern, wobei die Säulenanordnung zumindest einen Teil der zwei oder mehren Elektronenstrahlen auf einen Teil der Probe richtet.

公开(公告)号：EP3047502A4

公开(公告)日：2017-09-20

申请号：EP14846116

申请日：2014-09-16

Applicant: KLA-TENCOR CORP

Inventor： PLETTNER TOMAS ,  GERLING JOHN

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J37/304

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/24535 ,  H01J2237/24542 ,  H01J2237/2482

Abstract: An electromagnetic wakefield detector placed in close proximity to a design trajectory of a non-relativistic charged particle beam produces an optical signal in response to passage of the charged particle beam without interrupting the charged particle beam. A photon detector receives the optical signal and produces a corresponding output. The wakefield detector may be based on the electro optic effect. Specifically, the detector may measure the effect of the charged particle beam a beam of radiation on the phase of radiation travelling parallel to the beam in a nearby electro optic waveguide. This abstract is provided to comply with rules requiring an abstract that will allow a searcher or other reader to quickly ascertain the subject matter of the technical disclosure. It is submitted with the understanding that it will not be used to interpret or limit the scope or meaning of the claims.

Abstract translation: 放置在非相对论带电粒子束的设计轨迹附近的电磁尾场检测器响应于带电粒子束的通过产生光信号而不中断带电粒子束。 光子检测器接收光信号并产生相应的输出。 尾场检测器可以基于电光效应。 具体而言，检测器可以测量带电粒子束对辐射束的影响，该辐射束在与附近电光波导中的束平行地传播的辐射的相位上。 提供此摘要是为了遵守要求摘要的规则，该摘要将允许搜索者或其他读者快速确定技术公开的主题。 提交时的理解是，它不会被用来解释或限制权利要求的范围或含义。

公开(公告)号：EP3042387A4

公开(公告)日：2017-05-03

申请号：EP14842291

申请日：2014-09-04

Applicant: KLA - TENCOR CORP

Inventor： GERLING JOHN ,  PLETTNER TOMAS ,  NASSER-GHODSI MEHRAN

IPC: H01J37/26

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/28