公开(公告)号：SG11201402553UA

公开(公告)日：2014-09-26

申请号：SG11201402553U

申请日：2012-11-16

Applicant: LAM RES CORP

Inventor： MARAKHTANOV ALEXEI ,  DHINDSA RAJINDER ,  BISE RYAN ,  LI LUMIN ,  NAM SANG KI ,  ROGERS JIM ,  HUDSON ERIC ,  DELGADINO GERARDO ,  BAILEY III ANDREW D ,  KELLOGG MIKE ,  DE LA LLERA ANTHONY

IPC: C23F1/08

公开(公告)号：SG11201703129YA

公开(公告)日：2017-05-30

申请号：SG11201703129Y

申请日：2015-10-16

Applicant: LAM RES CORP

Inventor： TASKAR MARK ,  SHAREEF IQBAL ,  ZEMLOCK ANTHONY ,  BISE RYAN ,  KUGLAND NATHAN

IPC: H01L21/205