公开(公告)号：SG11201402553UA

公开(公告)日：2014-09-26

申请号：SG11201402553U

申请日：2012-11-16

Applicant: LAM RES CORP

Inventor： MARAKHTANOV ALEXEI ,  DHINDSA RAJINDER ,  BISE RYAN ,  LI LUMIN ,  NAM SANG KI ,  ROGERS JIM ,  HUDSON ERIC ,  DELGADINO GERARDO ,  BAILEY III ANDREW D ,  KELLOGG MIKE ,  DE LA LLERA ANTHONY

IPC: C23F1/08

公开(公告)号：SG11201401989UA

公开(公告)日：2014-09-26

申请号：SG11201401989U

申请日：2012-11-01

Applicant: LAM RES CORP

Inventor： DHINDSA RAHINDER ,  MARAKHTANOV ALEXEI ,  DELGADINO GERARDO ,  HUDSON ERIC ,  YEN BI MING ,  BAILEY ANDREW D III

IPC: H01L21/306