公开(公告)号：JP2003075764A

公开(公告)日：2003-03-12

申请号：JP2002152540

申请日：2002-05-27

Applicant: Leica Microsystems Heidelberg Gmbh ,  ライカ マイクロシステムズ ハイデルベルク ゲーエムベーハー

Inventor： ULRICH HEINRICH ,  BIRK HOLGER ,  HAY WILLIAM C ,  NISSLE HOLGER

IPC: G02B26/10 ,  G02B21/00 ,  G02B27/10 ,  G11B7/00

CPC classification number: G02B27/108 ,  G02B21/00 ,  G02B27/144 ,  G11B7/00

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus for determining a light power level by a sufficiently precise and reproducible method.
SOLUTION: The apparatus for determining the light power level of a light beam (7) has a beamsplitter (1) and a detector (11) associated with the beamsplitter (1). The apparatus is characterized in that the beamsplitter (1) splits measuring light (23) from the light beam and conveys it to the detector (11), and that the ratio between the light power level of the light beam (7) and the light power level of the measuring light (23) measured at the detector (11) is constant over time.
COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种通过足够精确和可再现的方法来确定光功率水平的装置。 解决方案：用于确定光束（7）的光功率电平的装置具有与分束器（1）相关联的分束器（1）和检测器（11）。 该装置的特征在于分束器（1）从光束分离测量光（23）并将其传送到检测器（11），并且光束（7）的光功率级与光 在检测器（11）处测量的测量光（23）的功率电平随时间变化是恒定的。

公开(公告)号：DE50203658D1

公开(公告)日：2005-08-25

申请号：DE50203658

申请日：2002-05-24

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： ULRICH HEINRICH ,  BIRK DR ,  HAY WILLIAM ,  NISSLE HOLGER

IPC: G02B26/10 ,  G02B21/00 ,  G02B27/10 ,  G11B7/00 ,  H01L31/00

Abstract: Device for determination of the light intensity of a light beam (7) has a beam splitter (1) and a detector (11). The beam splitter divides off a measurement beam (23) from the incident beam and the ratio of the intensity of the light in the incident beam to that of the measurement beam is measured using the detector to ensure that the ratio remains constant. Beam splitter and detector form a single unit. Independent claims are also made for: (1) A microscope; (2) A microscopy method in which the intensity of the incident illumination beam is monitored.

公开(公告)号：DE102011000090B4

公开(公告)日：2016-03-24

申请号：DE102011000090

申请日：2011-01-11

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： BIRK HOLGER DR ,  WIDZGOWSKI BERND ,  NISSLE HOLGER

IPC: G02B21/00 ,  G01B11/24

Abstract: Verfahren zur rastermikroskopischen Abbildung eines Objektes (28), mit folgenden Schritten: Abtasten einer Vielzahl von Objektpunkten mittels eines Abtaststrahls (14) in aufeinander folgenden Abtastzeitintervallen, mehrmaliges Erfassen der Intensität der von dem jeweils abgetasteten Objektpunkt abgegebenen Strahlung innerhalb des zugehörigen Abtastzeitintervalls, Bestimmen eines Intensitätsmittelwertes aus den in dem jeweils abgetasteten Objektpunkt erfassten Intensitäten als Mittelwert-Bildpunktsignal, und Zusammensetzen der Mittelwert-Bildpunktsignale zu einem Mittelwert-Rasterbildsignal, dadurch gekennzeichnet, dass aus den in dem jeweils abgetasteten Objektpunkt erfassten Intensitäten zusätzlich ein Intensitätsvarianzwert als Varianz-Bildpunktsignal bestimmt wird, und die Varianz-Bildpunktsignale zu einem Varianz-Rasterbildsignal zusammengesetzt werden.

公开(公告)号：DE10125469A1

公开(公告)日：2002-12-12

申请号：DE10125469

申请日：2001-05-25

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： ULRICH HEINRICH ,  BIRK HOLGER ,  HAY WILLIAM C ,  NISSLE HOLGER

IPC: G02B26/10 ,  G02B21/00 ,  G02B27/10 ,  G11B7/00 ,  H01L31/00

Abstract: Device for determination of the light intensity of a light beam (7) has a beam splitter (1) and a detector (11). The beam splitter divides off a measurement beam (23) from the incident beam and the ratio of the intensity of the light in the incident beam to that of the measurement beam is measured using the detector to ensure that the ratio remains constant. Beam splitter and detector form a single unit. Independent claims are also made for: (1) A microscope; (2) A microscopy method in which the intensity of the incident illumination beam is monitored.

公开(公告)号：DE102011000090A1

公开(公告)日：2012-07-12

申请号：DE102011000090

申请日：2011-01-11

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： BIRK HOLGER DR ,  WIDZGOWSKI BERND ,  NISSLE HOLGER

IPC: G02B21/00 ,  G01B11/24

Abstract: Beschrieben sind ein Verfahren und eine Einrichtung zur rastermikroskopischen Abbildung eines Objektes (28). Es ist vorgesehen, eine Vielzahl von Objektpunkten mittels eines Abtaststrahls (14) in aufeinanderfolgenden Abtastzeitintervallen abzutasten, die Intensität der von dem jeweils abgetasteten Objektpunkt abgegebenen Strahlung innerhalb des zugehörigen Abtastintervalls mehrmals zu erfassen, einen Intensitätsmittelwert aus den in dem jeweils abgetasteten Objektpunkt erfassten Intensitäten als Mittelwert-Bildpunktsignal zu bestimmen, und die Mittelwert-Bildpunktsignale zu einem Mittelwert-Rasterbild zusammenzusetzen. Ferner ist vorgesehen, aus den in dem jeweils abgetasteten Objektpunkten erfassten Intensitäten zusätzlich einen Intensitätsvarianzwert als Varianz-Bildpunktsignal zu bestimmen und die Varianz-Bildpunktsignale zu einem Varianz-Rasterbildsignal zusammenzusetzen.

公开(公告)号：DE10125469B4

公开(公告)日：2008-01-10

申请号：DE10125469

申请日：2001-05-25

Applicant: LEICA MICROSYSTEMS

Inventor： ULRICH HEINRICH ,  BIRK HOLGER ,  HAY WILLIAM C ,  NISSLE HOLGER

IPC: G02B26/10 ,  G02B27/10 ,  G02B21/00 ,  G11B7/00 ,  H01L31/00

Abstract: Device for determination of the light intensity of a light beam (7) has a beam splitter (1) and a detector (11). The beam splitter divides off a measurement beam (23) from the incident beam and the ratio of the intensity of the light in the incident beam to that of the measurement beam is measured using the detector to ensure that the ratio remains constant. Beam splitter and detector form a single unit. Independent claims are also made for: (1) A microscope; (2) A microscopy method in which the intensity of the incident illumination beam is monitored.