Abstract:
Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterbauelements angegeben, bei dem ein Kontakt von elektrischen Kontakten des späteren optoelektronischen Halbleiterbauelements mit Fremdpartikeln eines Füllstoffs vermieden wird.
Abstract:
Es wird ein Leuchtdiodenchip (1) mit einer Halbleiterschichtenfolge (2) beschrieben, die von Kontakten (5) über eine Stromaufweitungsschicht (3) elektrisch kontaktiert wird. Die Kontakte (5) bedecken zirka 1 % - 8 % der Fläche der Halbleiterschichtenfolge (2). Die Kontakte (5) bestehen beispielsweise aus separaten Kontaktpunkten (51), die an den Knotenpunkten eines regelmäßigen Gitters (52) mit einer Gitterkonstante von 12 μm angeordnet sind. Die Stromaufweitungsschicht (3) enthält beispielsweise Indiumzinnoxid, Indiumzinkoxid oder Zinkoxid und weist eine Dicke im Bereich von 15 nm bis 60 nm auf.
Abstract:
Es wird ein Verfahren zum Befestigen eines Halbleiterchips auf einem Leiterrahmen angegeben. Das Verfahren umfasst die Verfahrensschritte A) Bereitstellen eines Halbleiterchips (1), B) Aufbringen einer Lotmetall-Schichtenfolge (2) auf den Halbleiterchip (1), wobei die Lotmetall-Schichtenfolge (2) eine erste metallische Schicht (2a) umfassend Indium oder eine Indium-Zinn-Legierung umfasst, C) Bereitstellen eines Leiterrahmens (3), D) Aufbringen einer Metallisierungs-Schichtenfolge (4) auf den Leiterrahmen (3), wobei die Metallisierungs-Schichtenfolge (4) eine über dem Leiterrahmen (3) angeordnete vierte Schicht umfassend Indium und/oder Zinn und eine über der vierten Schicht (4d) angeordnete dritte Schicht (4c) umfassend Gold umfasst, E) Bildung einer intermetallischen Zwischenschicht (6), die Gold und Indium, Gold und Zinn und/oder Gold, Zinn und Indium umfasst; G) Aufbringen des Halbleiterchips (1) über die Lotmetall-Schichtenfolge (2) und die intermetallische Zwischenschicht (6) auf den Leiterrahmen (3), H) Heizen der unter F) erzeugten Anordnung zur Befestigung des Halbleiterchips (1) auf dem Leiterrahmen (3). Das Verfahren kann zusätzlich einen Verfahrensschritt F) umfassen F) Heizen der unter D) erzeugten Anordnung auf eine gegenüber dem Schmelzpunkt von Zinn und/oder Indium erhöhte Temperatur, wobei sich die intermetallische Zwischenschicht in einem Verfahrensschritt E1) vor Verfahrensschritt F) und/oder in einem Verfahrensschritt E2) nach Verfahrensschritt F) bildet. Die intermetallische Zwischenschicht (6) kann mit dem Indium oder der Indium-Zinn-Legierung der ersten metallischen Schicht (2a) in Verfahrensschritt H) sehr gut benetzt werden, so dass eine sehr gute und stabile Anbringung des Halbleiterchips (1) auf dem Leiterrahmen (3) möglich ist. Die Lotmetall-Schichtenfolge (2) kann eine zweite metallische Schicht (2c) umfassend Gold und eine Barrierenschicht (2b) enthaltend Nickel, Titan, Platin oder eine Verbindung eines dieser Metalle umfassen, wobei Barrierenschicht (2b) zwischen der ersten metallischen Schicht (2a) (In, In-Sn-Legierung) und der zweiten metallischen Schicht (2c) (Au) und die zweite metallische Schicht (2c) (Au) zwischen der Barrierenschicht (2b) und dem Halbleiterchip (1) angeordnet sind. Die Metallisierungs-Schichtenfolge (4) kann eine über dem Leiterrahmen (3) angeordnete erste Schicht (4a) umfassend Nickel umfassen, wobei die vierte Schicht (4d) (In und/oder Sn) zwischen der ersten Schicht (4a) (Ni) und der dritten Schicht (4c) (Au) angeordnet ist. Weiterhin kann die Metallisierungs-Schichtenfolge eine zweite Schicht (4b) umfassend Palladium umfassen, die zwischen der ersten Schicht (4a) (Ni) und der vierten Schicht (4d) (In und/oder Sn) angeordnet ist, oder die alternativ zwischen der vierten Schicht (4d) (In und/oder Sn) und der dritten Schicht (4c) (Au) angeordnet ist, wobei in dem letzten Fall zusätzlich eine weitere vierte Schicht umfassend Indium und/oder Zinn zwischen der zweiten Schicht (4b) (Pd) und der dritten Schicht (4c) (Au) angeordnet werden kann. Das bereitgestellte elektronische Bauelement (100) umfasst einen Leiterrahmen (3) und einen über dem Leiterrahmen (3) angeordneten Halbleiterchip (1), wobei zwischen dem Leiterrahmen (3) und dem Halbleiterchip (1) eine Verbindungsschichtenfolge (5) angeordnet ist und die Verbindungsschichtenfolge (5) - eine erste intermetallische Schicht (5a) umfassend Gold und Indium; Gold, Indium und Zinn; Gold, Palladium und Indium; Gold, Palladium, Indium und Zinn; Gold, Palladium, Nickel und Indium; oder Gold, Palladium, Nickel, Indium und Zinn, - eine zweite intermetallische Schicht (5b) umfassend Indium und eine Titanverbindung; Indium, Zinn und eine Titanverbindung; Indium und Nickel; Indium, Zinn und Nickel; Indium und Platin; Indium, Zinn und Platin; Indium und Titan; oder Indium, Zinn und Titan und - eine dritte intermetallische Schicht (5c) umfassend Indium und Gold oder Indium, Zinn und Gold umfasst.
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Bauelement (100) aufweisend eine erste Komponente (1), eine zweite Komponente (2), ein Verbindungselement (3), das zwischen der ersten Komponente (1) und der zweiten Komponente (2) angeordnet ist, wobei das Verbindungselement (3) zumindest eine erste Phase (31) und eine zweite Phase (32) aufweist, wobei die erste Phase (31) ein erstes Metall (Me1) mit einer Konzentration (c11), ein zweites Metall (Me2) mit einer Konzentration (c12) und ein drittes Metall (Me3) mit einer Konzentration (c13) umfasst, wobei die zweite Phase (32) das erste Metall (Me1) mit einer Konzentration (c25), das zweite Metall (Me2) und das dritte Metall (Me3) umfasst, wobei das erste Metall (Me1), das zweite Metall (Me2) und das dritte Metall (Me3) voneinander verschieden sind und geeignet sind, bei einer Verarbeitungstemperatur von kleiner 200 °C zu reagieren, wobei gilt: c11 ≥ c25 und c11 ≥ c13 ≥ c12.
Abstract:
In mindestens einer Ausführungsform des Verfahrens ist dieses zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterchips (10), insbesondere einer Leuchtdiode, eingerichtet. Das Verfahren umfasst die folgenden Schritte: Bereitstellen eines Aufwachssubstrats (1), Erzeugen einer III-Nitrid-Nukleationsschicht (3) auf dem Aufwachssubstrat (1) mittels Sputtern, und Aufwachsen einer III-Nitrid-Halbleiterschichtenfolge (2) mit einer aktiven Schicht (2a) auf die oder über der Nukleationsschicht (3), wobei ein Material des Aufwachssubstrats (1) von einem Material der Nukleationsschicht (3) und/oder der Halbleiterschichtenfolge (2) verschieden ist.
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Dünnfilm-LED, die eine Barriereschicht (3), eine der Barriereschicht (3) nachfolgende erste Spiegelschicht (2), einen der ersten Spiegelschicht (2) nachfolgenden Schichtstapel (5), und mindestens eine dem Schichtstapel (5) nachfolgende Kontaktstruktur (6) umfasst. Der Schichtstapel (5) weist mindestens eine aktive Schicht (5a) auf, die elektromagnetische Strahlung emittiert. Die Kontaktstruktur (6) ist auf einer Strahlungsaustrittsfläche (4) angeordnet und weist eine Kontaktfläche (7) auf. Die erste Spiegelschicht (2) weist in einem der Kontaktfläche der Kontaktstruktur (6) gegenüberliegenden Bereich eine Aussparung auf, die größer als die Kontaktfläche (7) der Kontaktstruktur (6) ist. Dadurch erhöht sich die Effizienz der Dünnfilm-LED.
Abstract:
Die Erfindung beschreibt ein Nitrid-basierendes Halbleiterbauelement, das einen Halbleiterkörper (1) mit einer darauf aufgebrachten Kontaktmetallisierung (4) aufweist. Der Halbleiterkörper (1) ist mit einer Schutzschicht versehen, die gegebenenfalls auch Teilbereiche der Kontaktmetallisierung (4) bedeckt und die eine Mehrzahl von nebeneinander angeordneten Ausnehmungen (5) aufweist.
Abstract:
Haftstempel (30) zum Transfer von Halbleiterchips (40) mit einer Vielzahl von in einem Array angeordneten längenveränderbaren Stempelkörpern (32), wobei jeder Stempelkörper (32 eine Anhaftfläche (34) für einen Halbleiterchip (40) auf einem Kopfbereich (39) des Stempelkörpers (32) aufweist.
Abstract:
Es wird ein Verfahren zur Herstellung von Lichtauskoppelstrukturen (115) in einem Halbleiterkörper (1) angegeben. Bei einem Verfahrensschritt wird der Halbleiterkörper (1) bereitgestellt, der eine zur Lichterzeugung geeignete aktive Zone (120) enthält. Auf einer Oberfläche (111) des Halbleiterkörpers (1) wird eine Maskenschicht (3) hergestellt. Die Maskenschicht (3) weist eine Mehrzahl von Struktureinheiten (30) auf, deren Position und Größe reproduzierbar einstellbar und gezielt eingestellt ist. Die Konturen der Struktureinheiten (30) legen einen von der Maskenschicht (3) unbedeckten Teilbereich (1111) der Oberfläche (111) fest. In einem weiteren Verfahrensschritt wird der Halbleiterkörper (1) an dem von der Maskenschicht (3) unbedeckten Teilbereich (1111) der Oberfläche (111) zur Ausbildung der Lichtauskoppelstrukturen (115) geätzt. Zudem wird ein Licht emittierender Halbleiterkörper (1) angegeben.
Abstract:
Es wird ein optoelektronischer Halbleiterkörper mit einer epitaktischen Halbleiterschichtenfolge (2) auf der Basis von Nitrid-Verbindungshalbleitern angegeben. Die Halbleiterschichtenfolge weist eine Pufferschicht (21), die nominell undotiert oder zumindest teilweise n-leitend dotiert ist, eine aktive Zone (24), die geeignet ist, eine elektromagnetische Strahlung zu emittieren oder zu empfangen, sowie eine zwischen der Pufferschicht und der aktiven Zone angeordnete Kontaktschicht (22) auf, die n-leitend dotiert ist. In der Kontaktschicht ist die n-Dotierstoffkonzentration größer als in der Pufferschicht. In der Halbleiterschichtenfolge ist eine Ausnehmung (3) enthalten, die sich durch die Pufferschicht hindurch erstreckt und in der ein elektrisches Kontaktmaterial (4) angeordnet ist und an die Kontaktschicht angrenzt. Weiterhin wird ein Verfahren angegeben, das geeignet ist, einen derartigen Halbleiterkörper herzustellen.