CIRCUIT INTEGRE PHOTONIQUE ET PROCEDE DE FABRICATION

    公开(公告)号:FR3007589A1

    公开(公告)日:2014-12-26

    申请号:FR1355991

    申请日:2013-06-24

    Abstract: Circuit intégré photonique, comprenant une couche de silicium contenant un guide d'ondes (GO) et au moins un autre composant photonique, une première région isolante (4) disposée au dessus d'une première face (F1) de la couche de silicium et encapsulant un ou plusieurs niveaux de métallisation (M1-M4), une deuxième région isolante (9) disposée au dessus d'une deuxième face (F2) de la couche de silicium et encapsulant au moins le milieu amplificateur (800) d'une source laser (SL) optiquement couplée avec le guide d'ondes (GO).

    PROCEDE DE FABRICATION D'UN CIRCUIT INTEGRE PHOTONIQUE COUPLE OPTIQUEMENT A UN LASER EN UN MATERIAN III-V

    公开(公告)号:FR3024910A1

    公开(公告)日:2016-02-19

    申请号:FR1457861

    申请日:2014-08-18

    Abstract: L'invention concerne un procédé de fabrication d'un circuit intégré comprenant des composants photoniques (19, 21, 23, 25) sur silicium et un laser (59) en un matériau III-V, le procédé comprenant les étapes successives suivantes : a) prévoir une couche de silicium (3) reposant sur une première couche isolante reposant sur un support ; b) graver des premières tranchées (1, 1') à travers la couche de silicium (3) en s'arrêtant sur la première couche isolante et recouvrir les premières tranchées d'une couche de nitrure de silicium (13) ; c) graver des deuxièmes tranchées (15) à travers une partie seulement de l'épaisseur de la couche de silicium (3) ; d) remplir les premières et deuxièmes tranchées d'oxyde de silicium (17) et aplanir ; e) éliminer le support et la première couche isolante ; et f) coller, du côté de la face arrière (F1), une plaque comportant une hétérostructure III-V.

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