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公开(公告)号:FR2946457B1
公开(公告)日:2012-03-09
申请号:FR0953766
申请日:2009-06-05
Inventor: COUDRAIN PERCEVAL , CORONEL PHILIPPE , BUFFET NICOLAS
IPC: H01L21/762 , H01L23/535
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公开(公告)号:FR2928029A1
公开(公告)日:2009-08-28
申请号:FR0851266
申请日:2008-02-27
Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2 , ST MICROELECTRONICS SA
Inventor: BERNARD EMILIE , GUILLAUMOT BERNARD , CORONEL PHILIPPE
IPC: H01L21/336 , H01L29/78
Abstract: L'invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif semi-conducteur comportant une région semi-conductrice de canal et une région de grille, la région de grille comprenant au moins une partie enterrée s'étendant sous la région de canal. La formation de la partie enterrée de la région de grille comprend :- une formation d'une cavité sous la région de canal,- un remplissage au moins partiel de la cavité par au moins du silicium et un métal,- la formation d'un siliciure dudit métal.
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公开(公告)号:FR3010830A1
公开(公告)日:2015-03-20
申请号:FR1358934
申请日:2013-09-17
Inventor: MONFRAY STEPHANE , LHOSTIS SANDRINE , MAITRE CHRISTOPHE , KOKSHAGINA OLGA , CORONEL PHILIPPE
IPC: H01L23/473
Abstract: L'invention concerne un dispositif (200) de refroidissement d'une puce (IC) de circuit intégré, comportant un réseau de micro-canalisations (209, 211, 213, 215) dans lequel des portions de canalisations sont reliées par des vannes (218) comportant chacune au moins une lamelle (221) bicouche.
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公开(公告)号:FR2928029B1
公开(公告)日:2011-04-08
申请号:FR0851266
申请日:2008-02-27
Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2 , ST MICROELECTRONICS SA
Inventor: BERNARD EMILIE , GUILLAUMOT BERNARD , CORONEL PHILIPPE
IPC: H01L21/336 , H01L29/78
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公开(公告)号:FR2946457A1
公开(公告)日:2010-12-10
申请号:FR0953766
申请日:2009-06-05
Inventor: COUDRAIN PERCEVAL , CORONEL PHILIPPE , BUFFET NICOLAS
IPC: H01L21/762 , H01L23/535
Abstract: L'invention concerne un procédé de formation d'un niveau d'une structure tridimensionnelle sur un premier support (30, 34) dans lequel sont formés des composants, comprenant les étapes suivantes : former, sur un deuxième support semiconducteur, un substrat semiconducteur monocristallin (36) avec interposition d'une couche d'oxyde thermique ; apposer la face libre du substrat semiconducteur monocristallin sur la surface supérieure du premier support ; éliminer le deuxième support semiconducteur ; et amincir la couche d'oxyde thermique jusqu'à une épaisseur propre à constituer un isolant de grille.
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公开(公告)号:FR2915023A1
公开(公告)日:2008-10-17
申请号:FR0702696
申请日:2007-04-13
Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2 , ST MICROELECTRONICS SA
Inventor: DUTARTRE DIDIER , CORONEL PHILIPPE , LOUBET NICOLAS
Abstract: Un procédé de réalisation de contacts métalliques auto-positionnés sur une plaque de produit semi-conducteur les emplacements respectifs des contacts métalliques étant déterminés par une étape de dépôt sélectif d'un matériau de croissance.
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公开(公告)号:FR2918795B1
公开(公告)日:2009-10-02
申请号:FR0756447
申请日:2007-07-12
Applicant: ST MICROELECTRONICS SA , ST MICROELECTRONICS CROLLES 2
Inventor: COUDRAIN PERCEVAL , CORONEL PHILIPPE , BELREDON XAVIER
IPC: H01L27/146 , H01L31/02 , H01L31/18
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公开(公告)号:FR2915023B1
公开(公告)日:2009-07-17
申请号:FR0702696
申请日:2007-04-13
Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2 , ST MICROELECTRONICS SA
Inventor: DUTARTRE DIDIER , CORONEL PHILIPPE , LOUBET NICOLAS
Abstract: Metal contacts are self-positioned on a wafer of semiconductor product. Respective placement areas for a metal contact are determined by a selective deposition of a growth material over a region of the substrate surface (for example, through epitaxial growth). The growth material is surrounded by an insulating material. The grown material is then removed to form a void in the insulating material which coincides with the desired location of the metal contact. This removal of the grown material exposes the region on the substrate surface. Conductive material is then deposited to fill the void and thus form the metal contact directly with the region of the substrate surface.
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公开(公告)号:FR2905519A1
公开(公告)日:2008-03-07
申请号:FR0653524
申请日:2006-08-31
Applicant: ST MICROELECTRONICS SA , ST MICROELECTRONICS CROLLES 2
Inventor: CORONEL PHILIPPE , MARTY MICHEL
IPC: H01L21/8236 , H01L27/088
Abstract: L'invention concerne un procédé de fabrication d'un circuit intégré contenant des transistors MOS complètement et partiellement déplétés, comprenant les étapes suivantes .a) former des transistors MOS similaires sur une couche mince de silicium (3) formée sur une couche de silicium-germanium (2) reposant sur un substrat de silicium ;b) coller la face supérieure de la structure à une plaquette support (21) ;c) éliminer le substrat;d) déposer un masque (23) et ouvrir ce masque aux emplacements des transistors complètement déplétés ;e) oxyder le silicium-germanium aux emplacements des transistors complètement déplétés dans des conditions telles qu'il se produit un phénomène de condensation ; etf) éliminer la partie oxydée et la partie de silicium-germanium, d'où il résulte qu'il demeure des transistors dont la couche de silicium est amincie.
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公开(公告)号:FR2904143A1
公开(公告)日:2008-01-25
申请号:FR0653082
申请日:2006-07-24
Inventor: CAZAUX YVON , CORONEL PHILIPPE , FENOUILLET BERANGER CLAIRE , ROY FRANCOIS
IPC: H01L27/146 , H04N3/15
Abstract: L'invention concerne un capteur d'images comprenant des cellules photosensibles comportant des photodiodes (D) et au moins un circuit supplémentaire à forte dissipation thermique comportant des transistors (M7, M8). Le capteur d'images est réalisé de façon monolithique et comprend une couche (60) d'un matériau semiconducteur ayant des première et deuxième faces opposées (15, 16) et comprenant, du côté de la première face (15), des premières régions (34, 38) correspondant aux bornes de puissance des transistors, l'éclairage du capteur d'images étant destiné à être réalisé du côté de la deuxième face ; un empilement de couches isolantes (70) recouvrant la première face ; un renfort (78) thermiquement conducteur recouvrant l'empilement du côté opposé à la couche ; et des vias (76) thermiquement conducteurs reliant la couche au renfort.
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