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公开(公告)号:FR2871940B1
公开(公告)日:2007-06-15
申请号:FR0406684
申请日:2004-06-18
Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET , UNIV D AIX MARSEILLE I
Inventor: MIRABEL JEAN MICHEL , REGNIER ARNAUD , BOUCHAKOUR RACHID , LAFFONT ROMAIN , MASSON PASCAL
IPC: H01L29/788 , G11C16/04 , H01L21/8247 , H01L27/115 , H01L29/423
Abstract: The present invention relates to a floating-gate MOS transistor, comprising drain and source regions implanted into a silicon substrate, a channel extending between the drain and source regions, a tunnel oxide, a floating gate, a gate oxide and a control gate extending according to a determined gate length. According to the present invention, the control gate comprises a small gate and a large gate arranged side by side and separated by an electrically insulating material. Application to the production of memory cells without access transistor, and to the implementation of an erase-program method with reduced electrical stress for the tunnel oxide.
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公开(公告)号:FR2871940A1
公开(公告)日:2005-12-23
申请号:FR0406684
申请日:2004-06-18
Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET , UNIV D AIX MARSEILLE I
Inventor: MIRABEL JEAN MICHEL , REGNIER ARNAUD , BOUCHAKOUR RACHID , LAFFONT ROMAIN , MASSON PASCAL
IPC: G11C16/04 , H01L27/115 , H01L29/423 , H01L29/788 , H01L21/8247
Abstract: L'invention concerne un transistor MOS (20) à grille flottante, comprenant des régions de drain (1) et de source (2) implantées dans un substrat de silicium (3), un canal (4) s'étendant entre les régions de drain et de source, un oxyde tunnel (5), une grille flottante (6), un oxyde de grille (7) et une grille de contrôle (8) s'étendant selon une largeur de grille déterminée. Selon l'invention, la grille de contrôle (8) comprend une petite grille (9) et une grande grille (10) agencées côte à côte et séparées par un matériau électriquement isolant (11). Application à la réalisation de cellules mémoire sans transistor d'accès, et à la mise en oeuvre d'un procédé d'effacement-programmation à stress électrique réduit pour l'oxyde tunnel.
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公开(公告)号:FR2891398A1
公开(公告)日:2007-03-30
申请号:FR0552849
申请日:2005-09-23
Inventor: BOUCHAKOUR RACHID , BIDAL VIRGINIE , CANDELIER PHILIPPE , FOURNEL RICHARD , GENDRIER PHILIPPE , LAFFONT ROMAIN , MASSON PASCAL , MIRABEL JEAN MICHEL , REGNIER ARNAUD
IPC: H01L27/115 , H01L21/8247
Abstract: L'invention concerne un point mémoire non volatil incluant une grille flottante placée au-dessus d'un substrat semiconducteur, la grille flottante comprenant des portions actives isolées du substrat par des couches isolantes fines, et des portions inactives isolées du substrat par des couches isolantes épaisses non traversables par des électrons, les portions actives étant majoritairement dopées de type P et les portions inactives comprenant au moins une zone dopée de type N constituant une partie d'une jonction PN.
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公开(公告)号:FR2935196B1
公开(公告)日:2011-03-18
申请号:FR0855614
申请日:2008-08-19
Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET
Inventor: NIEL STEPHAN , MIRABEL JEAN MICHEL
IPC: H01L23/52 , H01L21/8246
Abstract: L'invention concerne un circuit intégré (40) comprenant une couche isolante (18) ayant des première et deuxième faces (19, 20) opposées. Le circuit comprend, dans une première zone, des premières portions conductrices (42) d'un premier matériau conducteur, situées dans la couche isolante, affleurant à la première face (20) et se prolongeant par des premiers vias (41) du premier matériau conducteur, de plus petite section et reliant les premières portions conductrices (42) à la deuxième face (19). Il comprend, en outre, dans une seconde zone, des secondes portions conductrices (25) d'un second matériau conducteur différent du premier matériau conducteur et disposées sur la première face et des deuxièmes vias (23) du premier matériau conducteur, au contact des secondes portions conductrices et s'étendant de la première face à la deuxième face.
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公开(公告)号:FR2935196A1
公开(公告)日:2010-02-26
申请号:FR0855614
申请日:2008-08-19
Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET
Inventor: NIEL STEPHAN , MIRABEL JEAN MICHEL
IPC: H01L23/52 , H01L21/8246
Abstract: L'invention concerne un circuit intégré (40) comprenant une couche isolante (18) ayant des première et deuxième faces (19, 20) opposées. Le circuit comprend, dans une première zone, des premières portions conductrices (42) d'un premier matériau conducteur, situées dans la couche isolante, affleurant à la première face (20) et se prolongeant par des premiers vias (41) du premier matériau conducteur, de plus petite section et reliant les premières portions conductrices (42) à la deuxième face (19). Il comprend, en outre, dans une seconde zone, des secondes portions conductrices (25) d'un second matériau conducteur différent du premier matériau conducteur et disposées sur la première face et des deuxièmes vias (23) du premier matériau conducteur, au contact des secondes portions conductrices et s'étendant de la première face à la deuxième face.
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