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公开(公告)号:FR2871940B1
公开(公告)日:2007-06-15
申请号:FR0406684
申请日:2004-06-18
Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET , UNIV D AIX MARSEILLE I
Inventor: MIRABEL JEAN MICHEL , REGNIER ARNAUD , BOUCHAKOUR RACHID , LAFFONT ROMAIN , MASSON PASCAL
IPC: H01L29/788 , G11C16/04 , H01L21/8247 , H01L27/115 , H01L29/423
Abstract: The present invention relates to a floating-gate MOS transistor, comprising drain and source regions implanted into a silicon substrate, a channel extending between the drain and source regions, a tunnel oxide, a floating gate, a gate oxide and a control gate extending according to a determined gate length. According to the present invention, the control gate comprises a small gate and a large gate arranged side by side and separated by an electrically insulating material. Application to the production of memory cells without access transistor, and to the implementation of an erase-program method with reduced electrical stress for the tunnel oxide.
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公开(公告)号:FR2871940A1
公开(公告)日:2005-12-23
申请号:FR0406684
申请日:2004-06-18
Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET , UNIV D AIX MARSEILLE I
Inventor: MIRABEL JEAN MICHEL , REGNIER ARNAUD , BOUCHAKOUR RACHID , LAFFONT ROMAIN , MASSON PASCAL
IPC: G11C16/04 , H01L27/115 , H01L29/423 , H01L29/788 , H01L21/8247
Abstract: L'invention concerne un transistor MOS (20) à grille flottante, comprenant des régions de drain (1) et de source (2) implantées dans un substrat de silicium (3), un canal (4) s'étendant entre les régions de drain et de source, un oxyde tunnel (5), une grille flottante (6), un oxyde de grille (7) et une grille de contrôle (8) s'étendant selon une largeur de grille déterminée. Selon l'invention, la grille de contrôle (8) comprend une petite grille (9) et une grande grille (10) agencées côte à côte et séparées par un matériau électriquement isolant (11). Application à la réalisation de cellules mémoire sans transistor d'accès, et à la mise en oeuvre d'un procédé d'effacement-programmation à stress électrique réduit pour l'oxyde tunnel.
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公开(公告)号:DE602006003605D1
公开(公告)日:2008-12-24
申请号:DE602006003605
申请日:2006-09-22
Inventor: BOUCHAKOUR RACHID , BIDAL VIRGINIE , CANDELIER PHILIPPE , FOURNEL RICHARD , GENDRIER PHILIPPE , LAFFONT ROMAIN , MASSON PASCAL , MIRABEL JEAN-MICHEL , REGNIER ARNAUD
IPC: H01L29/423 , H01L29/788
Abstract: The memory point has a floating gate (103) placed above a P-type semiconductor substrate (100) and comprising a central portion (110) and end portions (111, 112) respectively insulated from the substrate by a thin insulating layer (102) and an insulating area (107). The central portion is by majority doped with P-type doping and the end portions comprise N-type doped zone constituting a part of a PN junction. The end portions form electron wells so that electrons injected into the gate are stored at level of the end portions.
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公开(公告)号:FR2891398A1
公开(公告)日:2007-03-30
申请号:FR0552849
申请日:2005-09-23
Inventor: BOUCHAKOUR RACHID , BIDAL VIRGINIE , CANDELIER PHILIPPE , FOURNEL RICHARD , GENDRIER PHILIPPE , LAFFONT ROMAIN , MASSON PASCAL , MIRABEL JEAN MICHEL , REGNIER ARNAUD
IPC: H01L27/115 , H01L21/8247
Abstract: L'invention concerne un point mémoire non volatil incluant une grille flottante placée au-dessus d'un substrat semiconducteur, la grille flottante comprenant des portions actives isolées du substrat par des couches isolantes fines, et des portions inactives isolées du substrat par des couches isolantes épaisses non traversables par des électrons, les portions actives étant majoritairement dopées de type P et les portions inactives comprenant au moins une zone dopée de type N constituant une partie d'une jonction PN.
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公开(公告)号:FR3059458B1
公开(公告)日:2019-03-29
申请号:FR1661500
申请日:2016-11-25
Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET
Inventor: LA ROSA FRANCESCO , NIEL STEPHAN , REGNIER ARNAUD
IPC: G11C16/04 , H01L27/115
Abstract: Chaque cellule-mémoire est du type à piégeage de charges dans une interface diélectrique et comprend un transistor d'état (T) sélectionnable par un transistor de sélection vertical enterré dans un substrat et comportant une grille de sélection enterrée. Les colonnes de cellules-mémoires comportent des paires de cellules-mémoires jumelles, les deux transistors de sélection d'une paire de cellules-mémoires jumelles ayant une grille de sélection commune, les deux transistors d'état d'une paire de cellules-mémoires jumelles ayant une grille de commande commune. Le dispositif comprend en outre, pour chaque paire de cellules-mémoires jumelles (Ci,j ;Ci-1,j) une région diélectrique (RDi-1,j) située entre la grille de commande (CGi,i- 1) et le substrat et chevauchant ladite grille de sélection commune (CSGi,i-1 ) de façon à former de part et d'autre de la grille de sélection les deux interfaces diélectriques de piégeage de charges (IDi,j ;IDi-1,j) respectivement dédiées aux deux cellules-mémoires jumelles.
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公开(公告)号:FR3049380B1
公开(公告)日:2018-11-23
申请号:FR1652445
申请日:2016-03-22
Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET
Inventor: LA ROSA FRANCESCO , NIEL STEPHAN , REGNIER ARNAUD
IPC: H01L27/115 , G11C16/04
Abstract: Le dispositif de mémoire non volatile comprend des cellules-mémoires (C3,j) comprenant chacune un transistor d'état (T3,j) sélectionnable possédant une grille flottante et une grille de commande (CG3). Le transistor d'état (T3,j) est du type à appauvrissement et avantageusement configuré pour présenter une tension de seuil de préférence négative lorsque la cellule-mémoire est dans un état vierge. On peut alors appliquer lors de la lecture de la cellule-mémoire, une tension de lecture nulle sur la grille de commande (CG3) ainsi que sur les grilles de commande des transistors d'états de toutes les cellules-mémoires du dispositif de mémoire.
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公开(公告)号:FR3021804A1
公开(公告)日:2015-12-04
申请号:FR1454891
申请日:2014-05-28
Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET
Inventor: LA ROSA FRANCESCO , NIEL STEPHAN , REGNIER ARNAUD
Abstract: L'invention concerne une cellule mémoire non volatile (Ci,j) sur substrat semi-conducteur, comprenant un premier transistor (TRi,j) comportant une grille de contrôle (CG), une grille flottante (FGr) et une région de drain (D), un second transistor (TEi,j) comportant une grille de contrôle (CG), une grille flottante (FGe) et une région de drain (D), dans laquelle les grilles flottantes (FGr, FGe) des premier et second transistors sont reliées électriquement, et le second transistor comprend une région conductrice (IS, n1) reliée électriquement à sa région de drain (D) et s'étendant en regard de sa grille flottante (FGe) par l'intermédiaire d'une couche diélectrique tunnel (D1).
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公开(公告)号:FR3002811A1
公开(公告)日:2014-09-05
申请号:FR1351837
申请日:2013-03-01
Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET
Inventor: REGNIER ARNAUD , NIEL STEPHAN , LA ROSA FRANCESCO
Abstract: L'invention concerne un circuit intégré (IC1) formé sur un substrat semi-conducteur (PW, WF), comprenant une tranchée conductrice (CT) et un premier transistor (FGT11, FGT12) formé sur la surface du substrat, le transistor comprenant : une structure de grille de transistor, une première région dopée (R1) s'étendant dans le substrat entre un premier bord (E1) de la structure de grille et un bord supérieur de la tranchée conductrice (CT), et un premier élément d'espacement (SP1) formé sur le premier bord (E1) de la structure de grille et au-dessus de la première région dopée (R1). Selon l'invention, le premier élément d'espacement (SP1) recouvre complètement la première région dopée (R1) et un siliciure (SI) est présent sur la tranchée conductrice (CT), mais n'est pas présent sur la surface de la première région dopée (R1).
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公开(公告)号:FR2978867A1
公开(公告)日:2013-02-08
申请号:FR1157056
申请日:2011-08-01
Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET
Inventor: FORNARA PASCAL , REGNIER ARNAUD
Abstract: L'invention concerne une résistance ajustable, formée sur une première couche isolante (41) d'un substrat, comprenant : une première couche de silicium polycristallin (43) recouverte d'une deuxième couche isolante (44) d'une première épaisseur, excepté dans une région où la première couche de silicium polycristallin (43) est recouverte d'une couche mince d'isolant (49) d'une deuxième épaisseur inférieure à la première épaisseur ; une deuxième couche de silicium polycristallin (50) recouvrant la deuxième couche isolante (44) et la couche mince d'isolant (49) ; de chaque côté de la deuxième couche isolante (44) et à distance de celle-ci, un premier et un deuxième via conducteur (51, 52) permettant d'accéder aux bornes de la résistance sur la première couche de silicium polycristallin (43) ; et un troisième via conducteur (53) permettant d'accéder à une prise de contact sur la deuxième couche de silicium polycristallin (50).
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公开(公告)号:FR3093232A1
公开(公告)日:2020-08-28
申请号:FR1901792
申请日:2019-02-22
Inventor: LA ROSA FRANCESCO , MANTELLI MARC , NIEL STEPHAN , REGNIER ARNAUD
IPC: H01L27/11563
Abstract: Le dispositif (DIS) de fonction physiquement non-clonable, comporte un ensemble (ENS) de paires (P) de transistors (OTP1, OTP2) destinés à avoir une même tension de seuil mais présentant chacun une tension de seuil effective (Vteff) appartenant à une distribution aléatoire commune (DST), un moyen de lecture différentielle (LECT) configuré pour mesurer la différence entre les tensions de seuil effectives (Vteff) des paires (P) de transistors (OTP1, OTP2) et pour identifier des paires de transistors dites non fiables (NF) dont la différence entre les tensions de seuil effectives est inférieure à une valeur de marge (MRG), et un moyen d’écriture (ECR) configuré pour décaler la tension de seuil effective (C2, E1) d’un transistor de chaque paire non fiable (NF), de façon contrôlée et limitée de sorte que la tension de seuil décalée reste à l’intérieur de ladite distribution aléatoire commune (DST). Figure pour l’abrégé : Fig 2
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