干式真空泵
    1.
    发明公开
    干式真空泵 审中-实审

    公开(公告)号:CN118414496A

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202180104284.7

    申请日:2021-12-24

    Abstract: 干式真空泵(1)具备净化气体供给路径(9)。在泵室(6)的固定侧的室内端面(63)与罗茨转子(24)的转子端面(243)之间沿转子端面(243)的外周缘部分形成有能够维持气密性的微小间隙部分,并形成有由微小间隙部分包围的更大面积的间隙部分(94)。经由净化气体供给路径(9)而将净化气体向间隙部分(94)供给。罗茨转子(24)在净化气体滞留于间隙部分(94)的状态下旋转,将泵室(6)的室内端面(63)附近的吸引气体稀释。抑制了生成物析出并堆积于室内端面(63)、以及室内端面(63)、转子端面(243)腐蚀等弊端。

    真空泵
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113795674B

    公开(公告)日:2023-04-18

    申请号:CN201980095512.1

    申请日:2019-05-17

    Abstract: 在真空泵(1)中,在泵转子(30)的转子端面(33)形成的转子端面凸部(33a)以较窄的第1间隙(Δ1)与泵室内侧端面(70)对置。转子端面凸部(33a)遍及泵转子(30)的外周缘的整周而形成,并作为气体密封部发挥功能,能够确保泵排气性能。由转子端面凸部(33a)包围的转子端面凹部(33b)以较宽的第2间隙(Δ2)与泵室内侧端面(70)对置。转子端面凸部(33a)只要以较窄的宽度形成即可,由此能够在其内侧形成面积较大的转子端面凹部(33b)。能够可靠地消除:因在泵室内侧端面(70)与转子端面(33)之间形成的生成物引起的泵转子(30)的旋转障碍等。

    真空泵
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113795674A

    公开(公告)日:2021-12-14

    申请号:CN201980095512.1

    申请日:2019-05-17

    Abstract: 在真空泵(1)中,在泵转子(30)的转子端面(33)形成的转子端面凸部(33a)以较窄的第1间隙(Δ1)与泵室内侧端面(70)对置。转子端面凸部(33a)遍及泵转子(30)的外周缘的整周而形成,并作为气体密封部发挥功能,能够确保泵排气性能。由转子端面凸部(33a)包围的转子端面凹部(33b)以较宽的第2间隙(Δ2)与泵室内侧端面(70)对置。转子端面凸部(33a)只要以较窄的宽度形成即可,由此能够在其内侧形成面积较大的转子端面凹部(33b)。能够可靠地消除:因在泵室内侧端面(70)与转子端面(33)之间形成的生成物引起的泵转子(30)的旋转障碍等。

    叶片式压缩机
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103038514A

    公开(公告)日:2013-04-10

    申请号:CN201180035683.9

    申请日:2011-01-28

    Inventor: 小沢修 堤修三

    Abstract: 公开了一种叶片式压缩机(1A),其中,同心地形成于转子(3)侧的圆筒体(35,36)偏心地插入同心地形成于定子(2)侧的圆筒形部分(21,22,12)之间的环形空间(23,24)内。一对径向延伸的叶片附连凹槽(37)形成于转子(3)内,而叶片(4)可滑动地附连在叶片附连凹槽(37)内。压缩室(51到54)通过定子(2)的圆筒形部分(21,22,12)、转子(3)的圆筒体(35,36)和叶片(4)的梳齿部分(42,43)以多级同心地形成,这些压缩室的体积随着转子(3)的转动反复增大和减小。可以实现这样的叶片式压缩机,即,部件数目的增加被抑制在最小水平,从而能够压缩室能采用简单结构同心地以多级来设置。

    真空泵
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114096753B

    公开(公告)日:2023-06-09

    申请号:CN201980095506.6

    申请日:2019-06-19

    Abstract: 在真空泵(1)中,规定泵室(2)的两端的侧板(6、7)为构成为包括第1、第2板(20、30)的分割结构的板。在第1、第2板(20、30)之间形成有加热器设置用的狭缝(8、9),薄膜加热器(10、11)以与泵室侧的第1板(20)面接触的状态而装配于狭缝(8、9)内。利用薄膜加热器(10、11)从内部对侧板(6、7)直接进行加热,所以能够高效地提高泵室内壁部分的加热效率,能够高效地抑制生成物的附着、堆积。

    真空泵
    6.
    发明公开
    真空泵 审中-实审

    公开(公告)号:CN114096753A

    公开(公告)日:2022-02-25

    申请号:CN201980095506.6

    申请日:2019-06-19

    Abstract: 在真空泵(1)中,规定泵室(2)的两端的侧板(6、7)为构成为包括第1、第2板(20、30)的分割结构的板。在第1、第2板(20、30)之间形成有加热器设置用的狭缝(8、9),薄膜加热器(10、11)以与泵室侧的第1板(20)面接触的状态而装配于狭缝(8、9)内。利用薄膜加热器(10、11)从内部对侧板(6、7)直接进行加热,所以能够高效地提高泵室内壁部分的加热效率,能够高效地抑制生成物的附着、堆积。

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