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公开(公告)号：CN110799666A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201880041939.9
申请日：2018-05-31
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C23C16/44 , C01G39/04 , C01G41/04 , H01L21/28 , H01L21/285 , H01L21/302 , H01L21/3065
Abstract: 本发明的金属氟氧化物的处理方法的特征在于使通式MO(6-x)/2Fx(0＜x＜6、M＝W或Mo)所示的金属氟氧化物于0℃以上且不足400℃的温度下与含氟气体接触，通过化学反应转换为通式MF6(M＝W或Mo)所示的六氟化金属。于本处理方法中，能够不使用等离子体产生装置而将金属氟氧化物转换为高蒸气压的物质，能够用于氟化金属制造装置的清洁或成膜装置的清洁。
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公开(公告)号：CN110799666B
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN201880041939.9
申请日：2018-05-31
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: C23C16/44 , C01G39/04 , C01G41/04 , H01L21/28 , H01L21/285 , H01L21/302 , H01L21/3065
Abstract: 本发明的金属氟氧化物的处理方法的特征在于使通式MO(6‑x)/2Fx(0＜x＜6、M＝W或Mo)所示的金属氟氧化物于0℃以上且不足400℃的温度下与含氟气体接触，通过化学反应转换为通式MF6(M＝W或Mo)所示的六氟化金属。于本处理方法中，能够不使用等离子体产生装置而将金属氟氧化物转换为高蒸气压的物质，能够用于氟化金属制造装置的清洁或成膜装置的清洁。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110832106B
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN201880044231.9
申请日：2018-07-24
Applicant: 中央硝子株式会社
Abstract: 本发明的已完成填充的容器的制造方法的特征在于，包括如下工序：准备金属制的保存容器的工序，所述金属制的保存容器至少内表面由锰钢构成、且该内表面的表面粗糙度Rmax为10μm以下；氟化工序，在50℃以下，使上述保存容器的内表面与包含选自由ClF3、IF7、BrF5、F2和WF6组成的组中的至少一种第1含氟气体的气体接触；置换工序，对上述保存容器的内部用非活性气体进行置换；和，填充工序，在上述保存容器的内部填充选自由ClF3、IF7、BrF5、F2和WF6组成的组中的至少一种第2含氟气体。
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公开(公告)号：CN112533873A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN201980052339.7
申请日：2019-07-12
Applicant: 中央硝子株式会社
Abstract: 本发明的一实施方式的六氟化钨的制造方法包括如下工序：第1工序，使具有氧化覆膜的钨、与氟气或非活性气体在反应器内接触，得到去除了氧化覆膜的钨，所述氟气或非活性气体包含50体积ppm以上且50体积％以下的氟化氢；及第2工序，使第1工序中去除了氧化覆膜的钨、与含氟气体接触而得到六氟化钨。
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公开(公告)号：CN110832106A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201880044231.9
申请日：2018-07-24
Applicant: 中央硝子株式会社
Abstract: 本发明的已完成填充的容器的制造方法的特征在于，包括如下工序：准备金属制的保存容器的工序，所述金属制的保存容器至少内表面由锰钢构成、且该内表面的表面粗糙度Rmax为10μm以下；氟化工序，在50℃以下，使上述保存容器的内表面与包含选自由ClF3、IF7、BrF5、F2和WF6组成的组中的至少一种第1含氟气体的气体接触；置换工序，对上述保存容器的内部用非活性气体进行置换；和，填充工序，在上述保存容器的内部填充选自由ClF3、IF7、BrF5、F2和WF6组成的组中的至少一种第2含氟气体。
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