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公开(公告)号：CN104823264A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201380062492.0
申请日：2013-11-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F20/18 , B29K33/04
CPC classification number: C08F222/20 , B29C59/005 , B29C59/02 , B29C59/022 , B29C59/16 , B29K2033/12 , B29L2011/00 , B29L2031/3406 , C08F220/18 , C08F222/10 , C08F222/1006 , C08F2222/1013 , C08L33/08 , C08L2312/00 , C09D133/08 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/028 , G03F7/029 , C08F2220/1891 , C08F2220/1875 , C08F2220/301
Abstract: 一种在冷凝性气体气氛下进行压印的压印用固化性组合物，其中最大冷凝性气体溶解度(气体/(固化性组合物+气体))(g/g)为0.1以上且0.4以下，且压印用固化性组合物在23℃下的粘度为40cP以下。最大冷凝性气体溶解度通过以下来测定：将3g固化性组合物装入9ml棕色瓶，在23℃、1atm下测量在以0.1L/min的流量使冷凝性气体鼓泡15分钟之前和之后固化性组合物的重量，并且将由于鼓泡所引起的增加的重量除以固化性组合物和冷凝性气体的总重量。
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公开(公告)号：CN114975098A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210677002.9
申请日：2016-02-23
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/266 , H01L21/3105 , H01L21/48 , H05K3/00 , B29C59/00 , B29C59/02 , B29D11/00 , C08L35/02 , C09D133/08 , G02B1/04 , G03F7/00 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/029 , G03F7/16 , B29K33/00
Abstract: 本发明涉及纳米压印液体材料及其制造方法、固化产物图案的制造方法和电路板的制造方法。提供一种纳米压印液体材料，其中粒径为0.07μm以上的颗粒的粒子数浓度小于310个/mL。
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公开(公告)号：CN106463356B
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201580024398.5
申请日：2015-04-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/50 , H01L21/3065
Abstract: 提供一种纳米压印用固化性组合物，其即使当在低曝光量下通过光纳米压印方法使所述固化性组合物固化时，也能够形成具有充分固化的表面且图案倒塌缺陷倾向较小的固化产物。提供形成此类固化产物的纳米压印方法。提供即使在低曝光量下固化时图案倒塌缺陷倾向也较小的固化产物，此类固化产物的制造方法，光学组件的制造方法，电路板的制造方法和电子组件的制造方法。一种固化性组合物，其在固化状态下满足式(1)：Er1/Er2≧1.10(1)，其中，Er1表示所述固化性组合物的固化产物的表面折减弹性模量(GPa)，和Er2表示所述固化产物的内部折减弹性模量(GPa)。
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公开(公告)号：CN109075034B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN201780022394.2
申请日：2017-03-31
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 一种固化物图案的制造方法，所述方法包括：第一步骤(配置步骤)，将包含固化性组合物(α1)的层配置于基板上；和第二步骤(施加步骤)，将固化性组合物(α2)的液滴离散地施加在包含固化性组合物(α1′)的层上，所述固化性组合物(α1′)包含除了溶剂组分(D)以外的所述固化性组合物(α1)中的组分；其中所述固化性组合物(α1)的粒径为0.07μm以上的颗粒的个数浓度为小于2021个/mL，并且所述固化性组合物(α1′)具有比所述固化性组合物(α2)大的表面张力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107112209A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580069607.8
申请日：2015-12-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/50
Abstract: 本发明涉及一种在冷凝性气体氛围中的压印用光固化性组合物。所述组合物至少包括聚合性化合物组分(A)和光聚合引发剂组分(B)，并且满足要求(1)：ECG值大于或等于2.30GPa，其中ECG表示通过使所述压印用光固化性组合物在包含浓度为90体积％以上的冷凝性气体的氛围中在200mJ/cm2曝光量下曝光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)。
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公开(公告)号：CN110275394B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN201910396457.1
申请日：2015-04-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/029 , H01L21/033 , H01L21/308
Abstract: 本发明涉及固化性组合物、固化产物及其生产方法、以及光学组件、电路板和电子组件的制造方法。提供一种纳米压印用固化性组合物，其即使当在低曝光量下通过光纳米压印方法使所述固化性组合物固化时，也能够形成具有充分固化的表面且图案倒塌缺陷倾向较小的固化产物。提供形成此类固化产物的纳米压印方法。提供即使在低曝光量下固化时图案倒塌缺陷倾向也较小的固化产物，此类固化产物的制造方法，光学组件的制造方法，电路板的制造方法和电子组件的制造方法。一种固化性组合物，其在固化状态下满足式(1)：Er1/Er2≧1.10(1)，其中，Er1表示所述固化性组合物的固化产物的表面折减弹性模量(GPa)，和Er2表示所述固化产物的内部折减弹性模量(GPa)。
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公开(公告)号：CN107112209B
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201580069607.8
申请日：2015-12-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/50
Abstract: 本发明涉及一种在冷凝性气体氛围中的压印用光固化性组合物。所述组合物至少包括聚合性化合物组分(A)和光聚合引发剂组分(B)，并且满足要求(1)：ECG值大于或等于2.30GPa，其中ECG表示通过使所述压印用光固化性组合物在包含浓度为90体积％以上的冷凝性气体的氛围中在200mJ/cm2曝光量下曝光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)。
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公开(公告)号：CN110275394A
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201910396457.1
申请日：2015-04-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/029 , H01L21/033 , H01L21/308
Abstract: 本发明涉及固化性组合物、固化产物及其生产方法、以及光学组件、电路板和电子组件的制造方法。提供一种纳米压印用固化性组合物，其即使当在低曝光量下通过光纳米压印方法使所述固化性组合物固化时，也能够形成具有充分固化的表面且图案倒塌缺陷倾向较小的固化产物。提供形成此类固化产物的纳米压印方法。提供即使在低曝光量下固化时图案倒塌缺陷倾向也较小的固化产物，此类固化产物的制造方法，光学组件的制造方法，电路板的制造方法和电子组件的制造方法。一种固化性组合物，其在固化状态下满足式(1)：Er1/Er2≧1.10(1)，其中，Er1表示所述固化性组合物的固化产物的表面折减弹性模量(GPa)，和Er2表示所述固化产物的内部折减弹性模量(GPa)。
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公开(公告)号：CN104823264B
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201380062492.0
申请日：2013-11-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F20/18 , B29K33/04
CPC classification number: C08F222/20 , B29C59/005 , B29C59/02 , B29C59/022 , B29C59/16 , B29K2033/12 , B29L2011/00 , B29L2031/3406 , C08F220/18 , C08F222/10 , C08F222/1006 , C08F2222/1013 , C08L33/08 , C08L2312/00 , C09D133/08 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/028 , G03F7/029 , C08F2220/1891 , C08F2220/1875 , C08F2220/301
Abstract: 一种在冷凝性气体气氛下进行压印的压印用固化性组合物，其中最大冷凝性气体溶解度(气体/(固化性组合物+气体))(g/g)为0.1以上且0.4以下，且压印用固化性组合物在23℃下的粘度为40cP以下。最大冷凝性气体溶解度通过以下来测定：将3g固化性组合物装入9ml棕色瓶，在23℃、1atm下测量在以0.1L/min的流量使冷凝性气体鼓泡15分钟之前和之后固化性组合物的重量，并且将由于鼓泡所引起的增加的重量除以固化性组合物和冷凝性气体的总重量。
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