公开(公告)号：CN102806517B

公开(公告)日：2015-08-12

申请号：CN201210179431.X

申请日：2012-06-01

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 福田真 ,  铃木健雄 ,  横田稔

IPC: B24B37/07 ,  B24B37/34

Abstract: 本发明涉及一种板状体的研磨装置及板状体的研磨方法，该研磨装置具备：背垫，构成为吸附保持板状体的主表面中的第一面；研磨垫，构成为被按压于所述板状体的所述主表面中的第二面并研磨该第二面，辅助板配置于所述板状体的周围或周围的局部，该辅助板构成为防止所述研磨垫的按压引起的所述板状体的周围的所述背垫的隆起。

公开(公告)号：CN102416597A

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201010297257.X

申请日：2010-09-28

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 久保岳 ,  木村宏 ,  横田稔 ,  宫下纯一

IPC: B24B37/04

Abstract: 本发明提供一种能够长时间顺利地对玻璃基板进行研磨的基板的研磨装置及基板的研磨方法。本发明将与吸附片相比拉伸方向的刚性高的中间片夹在膜体和吸附片之间并进行粘接。通过研磨中产生的研磨阻力，膜体在拉伸方向上伸缩，由于膜体的伸缩动作，有时中间片和膜体之间发生剥离，但由于中间片介于膜体和吸附片之间，因此在因玻璃基板G的吸附而制约伸缩的吸附片和拉伸方向的刚性比吸附片高的中间片之间，由于中间片在拉伸方向上不伸缩，因此不会发生相对偏离，能够防止吸附片从中间片剥离并卷起。

公开(公告)号：CN102950538B

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201210295630.7

申请日：2012-08-17

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 福田真 ,  中谷嘉孝 ,  山本一义 ,  木村刚 ,  秋山秀 ,  横田稔

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/26 ,  B24B37/34

Abstract: 本发明涉及一种板状体研磨装置及研磨系统，具有：板状体保持单元，保持一边的长度为1000mm以上的板状体；研磨垫，与被所述板状体保持单元保持的所述板状体相对设置，所述研磨垫形成有：多个浆料供给孔，在与所述板状体相对的相对面上形成，向所述研磨垫和所述板状体的抵接部供给浆料；浆料吸引孔，仅在与所述板状体相对的相对面的中央部形成，吸引被供给到所述抵接部的所述浆料。

公开(公告)号：CN102844152A

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：CN201180017104.8

申请日：2011-03-24

Applicant: 旭硝子株式会社 ,  富士纺控股株式会社

Inventor： 古田充 ,  横田稔 ,  笹森孝

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/27 ,  B24B7/24

CPC classification number: B24B37/27 ,  C09J7/22 ,  C09J7/38 ,  C09J2201/128

Abstract: 本发明涉及一种玻璃基板保持用膜体，通过借助双面胶粘片(34)将自吸附型片(32)粘贴在背板上而构成，并且玻璃基板吸附保持于所述自吸附型片上，其中，所述双面胶粘片由片状基材(38)和设置在该基材的两面上的粘合层(40、42)构成，所述粘合层以在所述基材的同一面内各自形成预定间隙(B””、B””)的方式设置，并且设置在所述基材的两面上的粘合层之间的间隙在粘合层的层叠方向上不重合。

公开(公告)号：CN103260826A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201180059114.8

申请日：2011-10-27

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 中谷嘉孝 ,  前田伸一郎 ,  古田充 ,  秋山秀 ,  横田稔

IPC: B24B37/00 ,  B24B7/24

CPC classification number: B24B7/242

Abstract: 本发明涉及一种研磨用具，在研磨平台上铺满多张研磨垫片而构成，对所述研磨垫片的表面与端面的交界边部施加斜面。

公开(公告)号：CN102806517A

公开(公告)日：2012-12-05

申请号：CN201210179431.X

申请日：2012-06-01

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 福田真 ,  铃木健雄 ,  横田稔

IPC: B24B37/07 ,  B24B37/34

Abstract: 本发明涉及一种板状体的研磨装置及板状体的研磨方法，该研磨装置具备：背垫，构成为吸附保持板状体的主表面中的第一面；研磨垫，构成为被按压于所述板状体的所述主表面中的第二面并研磨该第二面，辅助板配置于所述板状体的周围或周围的局部，该辅助板构成为防止所述研磨垫的按压引起的所述板状体的周围的所述背垫的隆起。

公开(公告)号：CN102844152B

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：CN201180017104.8

申请日：2011-03-24

Applicant: 旭硝子株式会社 ,  富士纺控股株式会社

Inventor： 古田充 ,  横田稔 ,  笹森孝

IPC: B24B37/27

CPC classification number: B24B37/27 ,  C09J7/22 ,  C09J7/38 ,  C09J2201/128

Abstract: 本发明涉及一种玻璃基板保持用膜体，通过借助双面胶粘片(34)将自吸附型片(32)粘贴在背板上而构成，并且玻璃基板吸附保持于所述自吸附型片上，其中，所述双面胶粘片由片状基材(38)和设置在该基材的两面上的粘合层(40、42)构成，所述粘合层以在所述基材的同一面内各自形成预定间隙(B""、B"")的方式设置，并且设置在所述基材的两面上的粘合层之间的间隙在粘合层的层叠方向上不重合。

公开(公告)号：CN102950538A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201210295630.7

申请日：2012-08-17

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 福田真 ,  中谷嘉孝 ,  山本一义 ,  木村刚 ,  秋山秀 ,  横田稔

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/26 ,  B24B37/34

Abstract: 本发明涉及一种板状体研磨装置及研磨系统，具有：板状体保持单元，保持一边的长度为1000mm以上的板状体；研磨垫，与被所述板状体保持单元保持的所述板状体相对设置，所述研磨垫形成有：多个浆料供给孔，在与所述板状体相对的相对面上形成，向所述研磨垫和所述板状体的抵接部供给浆料；浆料吸引孔，仅在与所述板状体相对的相对面的中央部形成，吸引被供给到所述抵接部的所述浆料。

公开(公告)号：CN102811837A

公开(公告)日：2012-12-05

申请号：CN201080065758.3

申请日：2010-03-25

Applicant: 旭硝子株式会社 ,  富士纺控股株式会社

Inventor： 横田稔 ,  古田充 ,  笹森孝

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/34 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/30 ,  B32B3/10 ,  B32B7/045 ,  B32B7/12 ,  B32B15/20 ,  B32B17/064

Abstract: 本发明涉及一种玻璃基板保持用膜体，通过借助双面胶粘片将自吸附型片粘贴在背板上而构成，并且玻璃基板吸附保持于所述自吸附型片上，其中，所述双面胶粘片包含配置在同一面内的多片双面胶粘片，该多片双面胶粘片以相邻的双面胶粘片各自隔开预定间隙的方式粘贴在所述自吸附型片和所述背板上。