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公开(公告)号:CN102950538B
公开(公告)日:2015-07-29
申请号:CN201210295630.7
申请日:2012-08-17
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明涉及一种板状体研磨装置及研磨系统,具有:板状体保持单元,保持一边的长度为1000mm以上的板状体;研磨垫,与被所述板状体保持单元保持的所述板状体相对设置,所述研磨垫形成有:多个浆料供给孔,在与所述板状体相对的相对面上形成,向所述研磨垫和所述板状体的抵接部供给浆料;浆料吸引孔,仅在与所述板状体相对的相对面的中央部形成,吸引被供给到所述抵接部的所述浆料。
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公开(公告)号:CN102950538A
公开(公告)日:2013-03-06
申请号:CN201210295630.7
申请日:2012-08-17
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明涉及一种板状体研磨装置及研磨系统,具有:板状体保持单元,保持一边的长度为1000mm以上的板状体;研磨垫,与被所述板状体保持单元保持的所述板状体相对设置,所述研磨垫形成有:多个浆料供给孔,在与所述板状体相对的相对面上形成,向所述研磨垫和所述板状体的抵接部供给浆料;浆料吸引孔,仅在与所述板状体相对的相对面的中央部形成,吸引被供给到所述抵接部的所述浆料。
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公开(公告)号:CN103029042A
公开(公告)日:2013-04-10
申请号:CN201210376157.5
申请日:2012-09-29
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: B24B51/00
Abstract: 本发明提供一种能够降低玻璃板的损坏发生率的玻璃板研磨装置的监控方法及监控系统。为了使搬出部(36)中的玻璃板(G)的损坏降低,在实施方式中,通过甘油控制部(42)控制液体涂敷部(14)上的甘油的涂敷量,使得由图像处理部(34)算出的实际面积成为基准面积。即,在液体涂敷部(14)中由涂敷的甘油形成的吸附部分通过甘油控制部(42)控制甘油的涂敷量,使得在通过剥离部(22)剥离时和基准面积大致相等。例如,并不使全部的玻璃板(G)的非研磨面吸附于吸附片(12),而是包括吸附部分和非吸附部分,并且,通过甘油控制部(42)控制甘油的涂敷量,从而将所述吸附部分划分到规定的区域。
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公开(公告)号:CN102245350B
公开(公告)日:2016-01-20
申请号:CN200980149953.1
申请日:2009-12-01
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: B24B49/10 , B24B37/04 , B24B49/18 , B24B53/017
Abstract: 本发明提供一种研磨装置,使研磨工具和被研磨物相对压紧而移动,并且一边向所述研磨工具与所述被研磨物之间供给研磨液一边利用所述研磨工具研磨所述被研磨物,所述研磨装置的特征在于,具备:AE传感器,安装在支承所述研磨工具或所述被研磨物的板上;异常检测部,基于来自所述被研磨物的弹性波被所述AE传感器检测到时从所述AE传感器发出的输出信号,检测研磨中的异常;及警告单元,当由所述异常检测部检测到所述被研磨物的异常时发出警告。
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公开(公告)号:CN107378750A
公开(公告)日:2017-11-24
申请号:CN201710227903.7
申请日:2017-04-10
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: B24B37/005 , B24B37/10
CPC classification number: B24B37/0053 , B24B37/10
Abstract: 提供一种能够检测初期阶段的玻璃板的破裂的玻璃破裂检测方法及检测装置、玻璃板的研磨方法及研磨装置、以及玻璃板的制造方法。玻璃破裂检测装置(1)具备:向玻璃板(G)供给液体(L)的液体供给部(2);配置在与液体(L)接触的位置的AE传感器(4);对于从检测到来自玻璃板(G)的弹性波的AE传感器(4)输入的AE信号进行处理的信号处理部(6)。玻璃破裂检测装置(1)的信号处理部(6)通过来自AE传感器(4)的AE信号超过规定的阈值的情况来判断玻璃板(G)的破裂。
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公开(公告)号:CN103029029A
公开(公告)日:2013-04-10
申请号:CN201210379607.6
申请日:2012-09-29
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: B24B37/005
Abstract: 本发明提供一种能够降低玻璃板的损坏发生率的玻璃板研磨装置的监控方法及监控系统。实施方式的监控系统始终监控玻璃板(G)相对于吸附片(22)的异常吸附状态,在判定为异常时,不实施该玻璃板的研磨,停止研磨部(18)或使警报装置发出警告声,向操作员报告异常。实施方式的监控系统在具有甘油涂敷部(12)、板吸附部(14)及研磨部的普通设备的玻璃板研磨装置(10)中,在板吸附部和研磨部之间包括具有拍摄部(16)的判定部(20)。拍摄部通过光源(38)对从板吸附部向研磨部移动的吸附片进行照明,通过相机(40)对该反射光进行拍摄。而且,判定部(20)基于由相机拍摄的图像来判定玻璃板是否正常地吸附于吸附片。
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公开(公告)号:CN102245350A
公开(公告)日:2011-11-16
申请号:CN200980149953.1
申请日:2009-12-01
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: B24B49/10 , B24B37/04 , B24B49/18 , B24B53/017
Abstract: 本发明提供一种研磨装置,使研磨工具和被研磨物相对压紧而移动,并且一边向所述研磨工具与所述被研磨物之间供给研磨液一边利用所述研磨工具研磨所述被研磨物,所述研磨装置的特征在于,具备:AE传感器,安装在支承所述研磨工具或所述被研磨物的板上;异常检测部,基于来自所述被研磨物的弹性波被所述AE传感器检测到时从所述AE传感器发出的输出信号,检测研磨中的异常;及警告单元,当由所述异常检测部检测到所述被研磨物的异常时发出警告。
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