检查标记结构、基板片层叠体及其设计方法、多层电路基板及其层叠一致精度的检查方法

    公开(公告)号:CN101242711A

    公开(公告)日:2008-08-13

    申请号:CN200810005790.7

    申请日:2008-01-31

    Abstract: 本发明涉及检查标记结构、基板片层叠体、多层电路基板、多层电路基板的层叠一致精度的检查方法、以及基板片层叠体的设计方法。本发明客观地进行层叠一致精度的检查。检查标记结构(1)具有:在进行热压加工前的构成至少2层的层叠体的基板片(11c)上设置的检查用通孔(1a);连接盘图形电极(1b),该连接盘图形电极(1b)形成于设置有检查用通孔(1a)的基板片(11c)的一主面侧,且设置为在检查用通孔(1a)的端面(1f)的周围隔开与端面不接触的规定距离(D);以及导通用电极(1c),该导通用电极(1c)形成于设置有检查用通孔的基板片(11c)的另一主面侧,且设置为与检查用通孔(1a)的端面电连接。

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