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公开(公告)号：CN104094429A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201380007536.X
申请日：2013-01-29
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/09 , H01L41/22 , B06B1/06 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , G02B26/08
CPC classification number: H01L41/083 , B06B1/0603 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , G02B26/0858 , H01H57/00 , H01H2057/006 , H01L41/042 , H01L41/0471 , H01L41/053 , H01L41/0913 , H01L41/094 , H01L41/0953 , H01L41/22 , H01L41/27 , H01L41/297 , Y10T29/42
Abstract: 压电致动器器件具备：振动部、和构成为使振动部振动的驱动部。振动部具有：振动的下部振动层、和与下部振动层的上表面结合且与下部振动层一起振动的上部振动层。驱动部具有：设于下部振动层的下表面的上部电极层、设于上部电极层的下表面的压电体层、和设于压电体层的下表面的下部电极层。振动部的下部振动层的主成分为有机材料。振动部的上部振动层的主成分为无机材料。下部振动层的纵弹性系数小于上部振动层的纵弹性系数。该压电致动器器件能不使尺寸和消耗电力增大地使抗干扰振动性和振动部的挠曲量较大。
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公开(公告)号：CN100530735C
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200680004807.6
申请日：2006-02-15
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/22 , B41J2/16 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/187
CPC classification number: H01L41/257 , H01L41/332 , Y10T29/42 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明公开一种压电元件的制造方法，其在制造工序过程中，避免发生压电薄膜层受到不希望的电场，从而能够保证较高压电特性，此压电元件的制造方法包含：在基板上顺序积层下部电极层、压电薄膜层以及上部电极层的第一工序；以包含干法刻蚀的刻蚀进行刻蚀处理的第二工序；向下部电极层和上部电极层之间施加电压，进行极化处理的第三工序；单片化处理得到各个压电元件的第四工序，至少在进行所述干法刻蚀时，保持下部电极层和上部电极层之间短路。
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公开(公告)号：CN104204900A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201380015985.9
申请日：2013-03-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G02B26/105 , G02B26/0833 , G02B26/085 , G02B26/101 , G09G3/002 , G09G3/025 , H04N9/3135 , H04N9/3155 , H04N9/3161
Abstract: 扫描反射镜具备：反射镜部，反射激光束；支撑结构，使反射镜部进行转动振动；以及振动传感器，输出表示反射镜部的振动状态的监视信号。光传感器检测激光束的强度。构成为在监视信号的值脱离指定的正常动作范围并且光传感器检测出的强度的值并未下降的情况下，输入断开信号，该断开信号使支撑结构以支撑结构的破坏极限角以上的角度振动。该扫描反射镜和使用该扫描反射镜的图像投射装置能够以足够的亮度安全地显示图像。
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公开(公告)号：CN103370865A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201280008799.8
申请日：2012-02-16
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G02B7/1821 , B81B3/0043 , B81B3/007 , B81B2203/0109 , B81B2203/0163 , G02B26/0858 , G02B26/101 , G02B26/105 , H01L41/081 , H01L41/0953 , H02N2/10 , H02N2/108
Abstract: 本发明提供一种蜿蜒型振动器，其具备：振动梁；压电致动器，其设置在振动梁上。振动梁具有：多个折返部；和多个连结部，该多个连结部与多个折返部交替配置并与多个折返部连结。振动梁具有实质上由连续的多个折返形状形成的蜿蜒形状。压电致动器具有：下部电极，其设置在振动梁上；压电膜，其设置在下部电极上；和上部电极，其设置在压电膜上。在多个折返部各自的内周中点的附近，或者在多个折返形状各自的内周的曲率变化的曲率变化点的附近的至少一方，设置不存在压电膜的不存在区域。该蜿蜒型振动器能够得到大移位。
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公开(公告)号：CN1930448A
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200580007155.7
申请日：2005-02-23
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5628 , G01C19/5621 , Y10T29/42
Abstract: 基板由单晶硅制成且具有音叉形状。所述基板包括多个彼此平行延伸的音叉臂和用于彼此连接所述音叉臂的相应端的连接部分。角速度传感器包括：在所述基板的所述音叉臂中的各音叉臂上提供的含有氧化硅的阻挡层；在所述阻挡层上提供的含有钛的第一粘附层；在所述第一粘附层上提供的含有钛和氧化钛中至少一者的第一电极层；在所述第一电极层上提供的取向控制层；在所述取向控制层上提供的压电层；在所述压电层上提供的第二粘附层；和在所述第二粘附层上提供的第二电极层。这种角速度传感器具有小尺寸和稳定的特性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102959454B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201180030671.7
申请日：2011-06-21
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G02B26/101 , B81B3/0045 , B81B2201/042 , B81B2203/0163 , G02B7/1821 , G02B26/0833 , G02B26/0858 , G02B26/105
Abstract: 本发明提供一种光学反射元件，其具备固定框、一对第一振动部、可动框、一对第二振动部、反射镜部。第一振动部的一端与固定框的内侧连接。可动框与一对第一振动部的另一端连接，以能够进行转动的方式被支撑。一对第二振动部其一端与可动框的内侧连接，并且被配置成与一对第一振动部大致正交。反射镜部与一对第二振动部的另一端连接，以能够进行转动的方式被支撑。第二振动部形成由多个直线部和弯折部构成的蜿蜒形状，并且在弯折部的一部分设置了阶梯构造部。
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公开(公告)号：CN102077376B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN200980124278.7
申请日：2009-06-24
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/08 , H01L41/318
CPC classification number: H01L41/0478 , H01L41/081 , H01L41/0815 , H01L41/318 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种压电体元件和其制造方法，本发明的压电体元件具有基板和依次形成于基板上的下部电极层、压电体层、上部电极层。使基板的线性热膨胀系数比压电体层的线性热膨胀系数大，使压电体层为压缩方向具有面内应力的多晶体。由此，可实现压电体层沿极化轴方向具有高取向性、位移量相对施加电压的比例性高、位移量的绝对值大的压电体元件。
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公开(公告)号：CN102405433B
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201080017370.6
申请日：2010-04-16
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G02B26/0858
Abstract: 光学反射元件具有反射镜部、使该反射镜部振动的一对高频振子以及一对低频振子。高频振子具有基材、形成于该基材上的下部电极层、压电体层、上部电极层即驱动电极、以及第1监视电极。低频振子的一方具有与高频振子共同的基材、下部电极层、压电体层及驱动电极、以及上部电极层即第2监视电极。低频振子的另一方具有与高频振子共同的基材、下部电极层、压电体层、驱动电极及第1监视电极、和作为抑制压电体层的压电作用影响第1监视电极的不灵敏带的绝缘体层。设置于低频振子上的第1监视电极从低频振子之上连接到引出电极。
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公开(公告)号：CN101120455A
公开(公告)日：2008-02-06
申请号：CN200680004807.6
申请日：2006-02-15
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/22 , B41J2/16 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/187
CPC classification number: H01L41/257 , H01L41/332 , Y10T29/42 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明公开一种压电元件的制造方法，其在制造工序过程中，避免发生压电薄膜层受到不希望的电场，从而能够保证较高压电特性，此压电元件的制造方法包含：在基板上顺序积层下部电极层、压电薄膜层以及上部电极层的第一工序；以包含干法刻蚀的刻蚀进行刻蚀处理的第二工序；向下部电极层和上部电极层之间施加电压，进行极化处理的第三工序；单片化处理得到各个压电元件的第四工序，至少在进行所述干法刻蚀时，保持下部电极层和上部电极层之间短路。
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公开(公告)号：CN103827725A
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：CN201280047344.7
申请日：2012-09-21
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G02B26/10
CPC classification number: G02B26/105
Abstract: 本发明提供一种光学反射元件，其具备：反射镜；与反射镜连接的框体；通过振动使反射镜以旋转轴为中心旋转的驱动梁。框体通过将反射镜置于其间且相互位于相反侧的两个连接部与反射镜连接。框体的刚性比反射镜的刚性高。旋转轴与连结第一连接部和第二连接部的线段正交。该光学反射元件能够抑制反射镜的动态挠曲。
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