半导体集成电路装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101533827A

    公开(公告)日:2009-09-16

    申请号:CN200910004626.9

    申请日:2009-03-02

    Abstract: 本发明提供一种半导体集成电路装置。能在配置了虚设过孔体的半导体集成电路装置中,抑制在虚设过孔体上连接了虚设布线的存在引起的设计简单性的下降或制造成本增大的问题。半导体集成电路装置具有基板(1)和形成在基板(1)上的3层以上的布线层(2a~2c)。在布线层(2a、2b)之间形成虚设过孔体(11),在布线层(2b)上形成与虚设过孔体(11)连接的虚设布线(12)。虚设布线(12)与形成在叠层过孔结构(20)的布线层(2b)上的中间布线(24)相比,突出量更小。

    半导体集成电路装置
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101533827B

    公开(公告)日:2012-06-27

    申请号:CN200910004626.9

    申请日:2009-03-02

    Abstract: 本发明提供一种半导体集成电路装置。能在配置了虚设过孔体的半导体集成电路装置中,抑制在虚设过孔体上连接了虚设布线的存在引起的设计简单性的下降或制造成本增大的问题。半导体集成电路装置具有基板(1)和形成在基板(1)上的3层以上的布线层(2a~2c)。在布线层(2a、2b)之间形成虚设过孔体(11),在布线层(2b)上形成与虚设过孔体(11)连接的虚设布线(12)。虚设布线(12)与形成在叠层过孔结构(20)的布线层(2b)上的中间布线(24)相比,突出量更小。

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