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公开(公告)号：CN115727754A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202211046665.7
申请日：2022-08-30
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供一种光学装置，具备用于调整光轴方向位置并固定光学部件(30)的光学部件(30)的位置调整固定装置，其中，所述位置调整固定装置具有：光轴方向上长的长孔(34)，其形成在所述光学部件(30)的侧面；固定件(50)，其安装在所述光学部件(30)的固定对象(22、80)上，能够沿所述长孔(34)移动；非贯通的螺纹孔(54)，其形成在所述固定件(50)上，由切槽(52)分割；固定螺钉(60)，其与所述螺纹孔(54)拧合，在拧入时将所述切槽(52)推开，使所述固定件(50)的外侧面压接在所述长孔(34)的内侧面。
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公开(公告)号：CN105758294B
公开(公告)日：2019-12-24
申请号：CN201610006884.0
申请日：2016-01-05
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 本桥研
IPC: G01B9/02
Abstract: 干涉物镜，包括：物镜系统；分束器，其被置于测量对象的测量表面和物镜系统的末梢端之间，将从物镜系统发出的光分光到参考光路和测量光路，并输出将通过参考光路的反射光和通过测量对象的反射光组合的组合波；参考镜，其被置于参考光路中，并反射由分束器分光到参考光路的光；镜保持组件，其具有球面形外表面，并保持参考镜，使得参考镜的反射表面通过球面的中心；支撑组件，其具有球面形内表面，并通过内表面支撑镜保持组件的外表面，其中所述内表面具有基本等于镜保持组件的外表面的直径；以及参考镜调节机构，其调节镜保持组件在支撑组件中的位置。
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公开(公告)号：CN107121085A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201710102540.4
申请日：2017-02-24
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种表面构造测量装置和方法，该装置包括：测量传感器，该测量传感器在可测物体的圆筒部分的内壁被沿圆筒部分的周向划分出的每个测量区域处沿内壁的法向位移，与此同时以非接触的方式测量所述内壁的表面构造；W轴位移器，该W轴位移器使测量传感器沿W轴方向位移；θ轴位移器，该θ轴位移器在第一测量区域的表面构造测量完成后使测量传感器沿周向位移，从而使测量传感器面向在周向上与第一测量区域相邻的第二测量区域；以及控制器，该控制器在使测量传感器沿W轴方向位移的同时调整W轴方向的测量位置，以测量第二测量区域的表面构造。
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公开(公告)号：CN107525463B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201710458539.5
申请日：2017-06-16
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明提供一种光干涉测定装置和光干涉测定方法。提供一种能够将来自测定对象物的不与光轴垂直的表面部分的反射光取入到光学系统的光干涉测定装置。具备：光源，其射出光；干涉物镜，其具备参考镜和分束器，其中，该参考镜配置在参考光路上，该分束器将入射的光沿所述参考光路和测定光路分支，并且输出将被参考镜反射的反射光和被在测定光路上配置的测定对象物反射的反射光合成得到的合成光；摄像单元，其拍摄由合成光成像得到的图像；以及光圈，其能够在干涉物镜与光源及摄像单元之间的光路上沿干涉物镜的光轴方向移动。
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公开(公告)号：CN110243282A
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201910173447.1
申请日：2019-03-07
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供一种干涉测量光学装置，其用于测量圆筒形对象物的弯曲壁形状，该干涉测量光学装置包括：干涉测量光学系统，其将测量光发射在对象物的弯曲壁处，收集对象物反射的光，并生成用于合成反射的光和参考光的合成波；转动驱动组件，其连接到干涉测量光学系统，并且使干涉测量光学系统以与对象物的圆筒形的中心轴一致的转动轴为中心转动移动；传感器，用于使用二维排列的多个感光器元件来获取合成波的强度的二维分布；以及计算装置，用于基于在转动驱动机构的转动角度变化的状态下所获取到的多个二维分布来计算对象物的弯曲壁形状。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107525463A
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201710458539.5
申请日：2017-06-16
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明提供一种光干涉测定装置和光干涉测定方法。提供一种能够将来自测定对象物的不与光轴垂直的表面部分的反射光取入到光学系统的光干涉测定装置。具备：光源，其射出光；干涉物镜，其具备参考镜和分束器，其中，该参考镜配置在参考光路上，该分束器将入射的光沿所述参考光路和测定光路分支，并且输出将被参考镜反射的反射光和被在测定光路上配置的测定对象物反射的反射光合成得到的合成光；摄像单元，其拍摄由合成光成像得到的图像；以及光圈，其能够在干涉物镜与光源及摄像单元之间的光路上沿干涉物镜的光轴方向移动。
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公开(公告)号：CN110243282B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN201910173447.1
申请日：2019-03-07
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种干涉测量光学装置，其用于测量圆筒形对象物的弯曲壁形状，该干涉测量光学装置包括：干涉测量光学系统，其将测量光发射在对象物的弯曲壁处，收集对象物反射的光，并生成用于合成反射的光和参考光的合成波；转动驱动组件，其连接到干涉测量光学系统，并且使干涉测量光学系统以与对象物的圆筒形的中心轴一致的转动轴为中心转动移动；传感器，用于使用二维排列的多个感光器元件来获取合成波的强度的二维分布；以及计算装置，用于基于在转动驱动机构的转动角度变化的状态下所获取到的多个二维分布来计算对象物的弯曲壁形状。
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公开(公告)号：CN107121085B
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201710102540.4
申请日：2017-02-24
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种表面构造测量装置和方法，该装置包括：测量传感器，该测量传感器在可测物体的圆筒部分的内壁被沿圆筒部分的周向划分出的每个测量区域处沿内壁的法向位移，与此同时以非接触的方式测量所述内壁的表面构造；W轴位移器，该W轴位移器使测量传感器沿W轴方向位移；θ轴位移器，该θ轴位移器在第一测量区域的表面构造测量完成后使测量传感器沿周向位移，从而使测量传感器面向在周向上与第一测量区域相邻的第二测量区域；以及控制器，该控制器在使测量传感器沿W轴方向位移的同时调整W轴方向的测量位置，以测量第二测量区域的表面构造。
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公开(公告)号：CN107121086A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201710102550.8
申请日：2017-02-24
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/30 , G01B5/003 , G01B5/012 , G01B5/061 , G01B5/12 , G01B9/02 , G01B9/02041 , G01B11/0608 , G01B11/12 , G01B11/2441 , G01B11/303 , G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种表面构造测量装置，该表面构造测量装置包括：使具有内壁的可测物体沿XY平面位移的X轴位移机构和Y轴位移机构；以非接触方式测量内壁的表面构造的测量传感器；使测量传感器沿与XY平面正交的Z轴方向位移并使测量传感器面向内壁的Z轴位移机构；使面向内壁的测量传感器沿内壁的法向位移的W轴位移机构；以及使面向内壁的测量传感器沿内壁位移的θ轴位移机构。
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公开(公告)号：CN105758294A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201610006884.0
申请日：2016-01-05
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 本桥研
IPC: G01B9/02
Abstract: 干涉物镜，包括：物镜系统；分束器，其被置于测量对象的测量表面和物镜系统的末梢端之间，将从物镜系统发出的光分光到参考光路和测量光路，并输出将通过参考光路的反射光和通过测量对象的反射光组合的组合波；参考镜，其被置于参考光路中，并反射由分束器分光到参考光路的光；镜保持组件，其具有球面形外表面，并保持参考镜，使得参考镜的反射表面通过球面的中心；支撑组件，其具有球面形内表面，并通过内表面支撑镜保持组件的外表面，其中所述内表面具有基本等于镜保持组件的外表面的直径；以及参考镜调节机构，其调节镜保持组件在支撑组件中的位置。
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