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公开(公告)号：CN110243282B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN201910173447.1
申请日：2019-03-07
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种干涉测量光学装置，其用于测量圆筒形对象物的弯曲壁形状，该干涉测量光学装置包括：干涉测量光学系统，其将测量光发射在对象物的弯曲壁处，收集对象物反射的光，并生成用于合成反射的光和参考光的合成波；转动驱动组件，其连接到干涉测量光学系统，并且使干涉测量光学系统以与对象物的圆筒形的中心轴一致的转动轴为中心转动移动；传感器，用于使用二维排列的多个感光器元件来获取合成波的强度的二维分布；以及计算装置，用于基于在转动驱动机构的转动角度变化的状态下所获取到的多个二维分布来计算对象物的弯曲壁形状。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105318845A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510441041.9
申请日：2015-07-24
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G06T11/206 , G01B11/2441 , G01B11/245 , G01B2210/52
Abstract: 本发明涉及使用多传感器光学轮廓仪来测量测试表面的高精度高度图的方法。该方法包括：通过设置于光学轮廓仪的具有相对长的工作距离和/或大的视野的预映射传感器来测量测试表面的粗糙高度图；将粗糙高度图存储在存储器中；将粗糙高度图细分为多个部分，以适合于设置于光学轮廓仪的相对高分辨率的光学轮廓仪传感器的视野；计算高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于测试表面的相应X、Y和Z位置；使用所计算出的X、Y和Z位置计算高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于测试表面在X、Y和Z方向上的轨迹；根据所述轨迹在X、Y和Z方向上使高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于测试表面移动；以及使用高分辨率的光学轮廓仪传感器来测量高精度高度图。
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公开(公告)号：CN106468534B
公开(公告)日：2020-03-10
申请号：CN201610685793.4
申请日：2016-08-18
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明涉及一种用于测量高度图并将高度图合并为合成高度图的方法。该方法用于利用光学轮廓仪来测量基板的表面上的多个视场的高度图并将这些高度图合并为合成高度图，所述方法包括：使光学轮廓仪相对于表面沿着路线在视场之间移动；利用光学轮廓仪沿着路线测量表面上的视场的高度图；以及通过使所测量的视场的多个高度图彼此归一化来合并该多个高度图，以产生表面的合成高度图，其中路线被配置为在合并多个高度图期间使得针对光学轮廓仪的高度漂移的灵敏度最小化。
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公开(公告)号：CN106468534A
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201610685793.4
申请日：2016-08-18
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明涉及一种用于测量高度图并将高度图合并为合成高度图的方法。该方法用于利用光学轮廓仪来测量基板的表面上的多个视场的高度图并将这些高度图合并为合成高度图，所述方法包括：使光学轮廓仪相对于表面沿着路线在视场之间移动；利用光学轮廓仪沿着路线测量表面上的视场的高度图；以及通过使所测量的视场的多个高度图彼此归一化来合并该多个高度图，以产生表面的合成高度图，其中路线被配置为在合并多个高度图期间使得针对光学轮廓仪的高度漂移的灵敏度最小化。
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公开(公告)号：CN113188470A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN202110448029.6
申请日：2015-07-24
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明涉及使用多传感器光学轮廓仪来测量测试表面的高度图的方法。该方法包括：通过设置于光学轮廓仪的具有相对长的工作距离和/或大的视野的预映射传感器来测量测试表面的粗糙高度图；将粗糙高度图存储在存储器中；将粗糙高度图细分为多个部分，以适合于设置于光学轮廓仪的相对高分辨率的光学轮廓仪传感器的视野；计算高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于测试表面的相应X、Y和Z位置；使用所计算出的X、Y和Z位置计算高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于测试表面在X、Y和Z方向上的轨迹；根据所述轨迹在X、Y和Z方向上使高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于测试表面移动；以及使用高分辨率的光学轮廓仪传感器来测量高精度高度图。
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公开(公告)号：CN110243282A
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201910173447.1
申请日：2019-03-07
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供一种干涉测量光学装置，其用于测量圆筒形对象物的弯曲壁形状，该干涉测量光学装置包括：干涉测量光学系统，其将测量光发射在对象物的弯曲壁处，收集对象物反射的光，并生成用于合成反射的光和参考光的合成波；转动驱动组件，其连接到干涉测量光学系统，并且使干涉测量光学系统以与对象物的圆筒形的中心轴一致的转动轴为中心转动移动；传感器，用于使用二维排列的多个感光器元件来获取合成波的强度的二维分布；以及计算装置，用于基于在转动驱动机构的转动角度变化的状态下所获取到的多个二维分布来计算对象物的弯曲壁形状。
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