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公开(公告)号：CN110730869B
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201880037514.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/31
Abstract: 提供一种能够以简易的结构使开闭速度的偏差减少的致动器、阀、流体供给系统，以及半导体制造装置。阀(1)具备：主体(10)，形成有流体通路(11b、11c)；隔膜(15)，使流体通路开闭；阀杆(26)，设置为能够相对于隔膜(15)接近及远离移动，从而通过隔膜(15)使流体通路(11b、11c)开闭；减压阀(40)，设置于壳体内，将从外部供给的驱动流体的压力减压至预定压力；以及驱动部(30)，设置于壳体内，通过由减压阀(40)减压的预定压力的驱动流体驱动阀杆(26)。
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公开(公告)号：CN111836985A
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201980016155.5
申请日：2019-02-19
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供进一步降低物理性冲击对阀芯的影响的阀装置。阀装置(1)具有：阀座(41)，其配置在与形成于阀体(3)内的流路连接的开口的周围；隔膜(5)，其通过在相对于阀座(41)接触的接触位置以及相对于阀座(41)不接触的非接触位置之间移动而进行流路的开闭；按压转接器(6)，其与隔膜(5)的周缘部接触；壳体(2)，其内置有使隔膜(5)动作的致动器，与形成于阀体(3)的螺纹孔螺纹结合而固定在阀体(3)；以及转接器固定环(7)，其与螺纹孔螺纹结合并对按压转接器(6)以及隔膜(5)进行按压，并且固定在阀体(3)内。
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公开(公告)号：CN111295544A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201880071418.8
申请日：2018-10-24
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种组装有节流孔、过滤器等功能部件的流路组件，功能部件与划定流路的流路部件之间被长期可靠地密封。在流路构件(51、52)的相对面(51f、52f)的外侧具有介于流路构件(51、52)之间的环状的弹性构件(54)，流路构件(52)具有凿紧部(52e_c)，凿紧部(52e_c)将流路构件(51、52)和板状构件一体化，以相对面(51f、52f)中的一者朝向相对面(51f、52f)中的另一者的方式对流路构件(52)施加力，对作为板状构件的节流孔板(53)与相对面(51f、52f)之间进行密封，弹性构件(54)在流路构件(51、52)之间被压扁而对流路构件(51、52)之间进行密封。
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公开(公告)号：CN111164341A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201880062421.3
申请日：2018-09-11
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/122 , F16K7/12 , F16K31/02 , H01L21/02 , H01L21/31
Abstract: 本发明提供一种不使用外部传感器或者使用尽可能少量的外部传感器，就能够精密地调整由经时、经年等引起的流量变动的阀装置。该阀装置具有：调整用驱动器(100)，其用于调整定位于开位置的操作构件的位置；通信部(210)，其从装置外部接收与由阀芯引起的流路的开度调整相关的调整信息；以及控制部(220)，其基于该调整信息驱动调整用驱动器(100)而调整操作构件的位置。
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公开(公告)号：CN110741403A
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201880037554.5
申请日：2018-07-11
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G06Q50/04 , G05B19/418
Abstract: 提供一种能够容易地制造具有合适规格的设备的技术。根据信息处理装置(1)，分析部(11A)基于阀(30)的使用信息来创建表示适合阀(30)的合适规格的合适规格信息，规格比较部(11B)将合适规格信息与表示预定规格的规格信息进行比较，规格更新部(11C)基于规格比较部(11B)所做的比较结果更新阀(30)的规格信息，制造条件创建装置(制造条件创建部(11D)、制造条件更新部(11E))基于通过规格更新部(11C)所更新的规格信息来创建阀(30)的制造条件，指示信息创建部(11G)基于通过制造条件确定装置所确定的制造条件创建用于在显示设备(3)上显示的有关阀的制造的指示信息。
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公开(公告)号：CN105473914B
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201480037151.2
申请日：2014-07-09
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种可以大幅减少发生阀座泄漏的隔膜阀。在阀座(11)的顶部的径向中间部分形成有凹处(14)。阀座(11)的顶部的半径方向内侧部分(15)与隔膜(6)之间形成第一密封部(17)。阀座(11)的顶部的半径方向外侧部分(16)与隔膜(6)之间形成第二密封部(18)。凹处(14)的外周面(14b)为圆筒面。
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公开(公告)号：CN106795898A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201480082528.6
申请日：2014-10-07
Applicant: 藤仓橡胶工业株式会社 , 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122
CPC classification number: F15B15/1423 , F15B15/1428 , F15B15/1471 , F15B2015/1495 , F16H41/04 , F16H41/24 , F16K31/122 , F16K31/1221 , F16K31/1225
Abstract: 本发明涉及一种多级活塞式致动器，使抵抗弹簧压力的空气压力施加至嵌入气缸体的多个活塞体的压力室，从推杆将其输出取出，活塞级数的变更变得容易，能够实现小型化以及轴向长度的缩短。在本发明的多级活塞式致动器中，多个活塞体分别与嵌入气缸体的隔离件组合，在两者之间形成压力室，活塞体具有受压板部、从该受压板部沿内外的相反方向延伸的轴棒和滑动导向筒状部，所述轴棒具有与压力室连通的轴空气通路，隔离件具有底板部、从该底板部沿内外的同一方向延伸的大径最外筒状部和滑动导向筒状部，所述底板部具有接收邻接的活塞体的轴棒的贯通孔，所述大径最外筒状部嵌入气缸体，所述滑动导向筒状部与活塞体的滑动导向筒状部滑动自如地嵌合，多个活塞体的轴棒彼此机械地抵接，从而使输出施加至推杆。
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公开(公告)号：CN103620241B
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201280023466.2
申请日：2012-03-06
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16L19/00 , F16B5/0241 , F16B5/0258 , F16B43/001 , F16K27/003
Abstract: 本发明提供一种使调平作业变得容易且将基于弹性部件的振动吸收效果进一步提高的下层部件的固定装置、以及具有该固定装置的流体控制装置，该调平作业使下层部件的上表面彼此成为同一平面。该下层部件的固定装置构成为，一旦将下层部件（2）固定后，使所需要的下层部件（2）以抵抗弹性部件（21）的弹力的方式向上方移动，由此，能够将多个下层部件（2）的上表面位置微调整。弹性部件（21）是由橡胶或者合成树脂构成的环状体，在弹性部件的内周面的上部以及下部设有用于能够使弹性部件（21）相对于上下方向的力而弹性弯曲变形的切口（21a）、（21b）。
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公开(公告)号：CN102016364A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200980114074.5
申请日：2009-04-21
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16L19/0218 , F16L19/0231 , F16L19/025 , F16L19/0286 , F16L23/02 , F16L23/0283 , F16L23/162 , F16L23/18 , F16L23/20
Abstract: 本发明提供一种流体接头以及流体接头用保持器，即使对于大口径的流体接头，基于保持器所进行的接头部件的保持以及相对于接头部件的装拆也容易。保持器(5)包括：保持密封垫(4)的圆环状的密封垫保持部(21)；具有比密封垫保持部(21)的内径大直径的内径且对任一方的接头部件(2)进行保持的圆环状的接头部件保持部(22)。在密封垫保持部(21)的内周上以及接头部件保持部(22)的内周上分别形成有环状槽(23、24)，在该槽(23、24)内保持有弹性环(25、26)。
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