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公开(公告)号：CN106251525A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610804093.2
申请日：2011-10-25
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 提供一种系统以及电子设备。为了尽管使用拍摄了对象者的图像但在保护对象者的个人隐私的状态下适当地引导对象者，引导装置具备：能够从第1方向拍摄包含对象者的图像的拍摄部、根据由所述拍摄部拍摄到的图像检测所述对象者的像的大小的检测部、和基于所述检测部的检测结果引导所述对象者的引导部。
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公开(公告)号：CN1723541A
公开(公告)日：2006-01-18
申请号：CN200380105423.X
申请日：2003-12-08
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/707 , G03F7/70341
Abstract: 一种曝光装置包括：在局部用液体(50)充满投影光学系统(PL)的像面一侧，通过液体(50)和投影光学系统(PL)将图案像投影到衬底(P)上，曝光衬底(P)，回收向衬底(P)的外侧流出的液体的回收装置(20)。在使用浸液法进行曝光处理时，即使向衬底外侧流出液体，也能抑制环境的变动，复制出精度优良的图案。
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公开(公告)号：CN102959569A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201180032123.8
申请日：2011-06-29
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 感染扩大防止支援系统具备检查终端与感染扩大防止支援服务器。检查终端具备取得用以检查被验者的传染病的感染的检查信息的检查信息取得部与将检查信息传送至感染扩大防止支援服务器的收发信部。感染扩大防止支援服务器具备接收检查信息的收信部、使用检查信息判定有无传染病的感染或程度的感染判定部、根据感染判定部的判定结果即感染判定信息与关于被验者的信息生成用以限制感染者的行动的行动限制信息的行动限制信息生成部、输出行动限制信息的输出部。
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公开(公告)号：CN102640196A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201080055107.6
申请日：2010-12-28
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G06K9/00369 , G06T7/30 , G08B21/0476 , H04N7/18 , H04N7/181
Abstract: 为了能够以简单的构成来判别对象者的状态，本发明的图像判定装置具有：摄像装置，从第一方向拍摄包括对象者的图像；第一检测装置，从所述图像中检测出关于所述第一方向的、所述对象者的大小信息；第二检测装置，检测出与所述第一检测装置所检测出的信息不同的、关于位置的信息；和判定装置，基于所述第一检测装置的检测结果和所述第二检测装置的检测结果来判定所述对象者的状态。
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公开(公告)号：CN101258581B
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN200680032751.5
申请日：2006-09-08
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70341 , G03F7/707 , G03F7/70733
Abstract: 本发明提供曝光装置。曝光装置(EX)具备浸液系统(1)、第一移动体(4)、和给定构件(30)。曝光装置(EX)经由光学构件(FL)和液体(LQ)将基板(P)曝光。浸液系统(1)进行上述液体(LQ)的供给和回收。第一移动体(4)在第一区域(10)中移动，可在其与上述光学构件(FL)之间保持上述液体(LQ)。给定构件(30)在上述第一移动体(4)离开上述光学构件(FL)的对置位置后被从上述第一移动体(4)上取下，可在其与上述光学构件(FL)之间保持上述液体(LQ)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101852993A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN201010155625.7
申请日：2003-12-08
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/707 , G03F7/70341
Abstract: 一种曝光装置包括：在局部用液体(50)充满投影光学系统(PL)的像面一侧，通过液体(50)和投影光学系统(PL)将图案像投影到衬底(P)上，曝光衬底(P)，回收向衬底(P)的外侧流出的液体的回收装置(20)。在使用浸液法进行曝光处理时，即使向衬底外侧流出液体，也能抑制环境的变动，复制出精度优良的图案。
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公开(公告)号：CN1723541B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200380105423.X
申请日：2003-12-08
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/707 , G03F7/70341
Abstract: 一种曝光装置包括：在局部用液体(50)充满投影光学系统(PL)的像面一侧，通过液体(50)和投影光学系统(PL)将图案像投影到衬底(P)上，曝光衬底(P)，回收向衬底(P)的外侧流出的液体的回收装置(20)。在使用浸液法进行曝光处理时，即使向衬底外侧流出液体，也能抑制环境的变动，复制出精度优良的图案。
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公开(公告)号：CN101258581A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200680032751.5
申请日：2006-09-08
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70341 , G03F7/707 , G03F7/70733
Abstract: 本发明提供曝光装置。曝光装置(EX)具备浸液系统(1)、第一移动体(4)、和给定构件(30)。曝光装置(EX)经由光学构件(FL)和液体(LQ)将基板(P)曝光。浸液系统(1)进行上述液体(LQ)的供给和回收。第一移动体(4)在第一区域(10)中移动，可在其与上述光学构件(FL)之间保持上述液体(LQ)。给定构件(30)在上述第一移动体(4)离开上述光学构件(FL)的对置位置后被从上述第一移动体(4)上取下，可在其与上述光学构件(FL)之间保持上述液体(LQ)。
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公开(公告)号：CN1723540A
公开(公告)日：2006-01-18
申请号：CN200380105422.5
申请日：2003-12-08
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F9/7026 , G03F7/70341 , G03F9/7003 , G03F9/7034
Abstract: 曝光装置(EX)在投影光学系统(PL)和衬底(P)之间充有液体(50)，投影光学系统(P)通过液体(50)将图形图像投影在衬底(P)上，对衬底(P)进行曝光。它包括：保持衬底的衬底台(PST)；向投影光学系统的像面侧供给液体的液体供给装置(1)；以及经过液体(50)检测衬底(P)表面的表面信息的聚焦/平整检测系统(14)。曝光装置(EX)根据聚焦/平整检测系统检测(14)的表面信息，一边调整衬底(P)表面与投影光学系统(PL)经过液体(50)形成的像面之间的位置关系一边进行衬底的浸液曝光。能够以良好图案转印精度进行浸液曝光。
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公开(公告)号：CN103221984B
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201180055491.4
申请日：2011-10-25
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G06K9/00369 , B66B3/006 , G08B7/066
Abstract: 为了尽管使用拍摄了对象者的图像但在保护对象者的个人隐私的状态下适当地引导对象者，引导装置具备：能够从第1方向拍摄包含对象者的图像的拍摄部、根据由所述拍摄部拍摄到的图像检测所述对象者的像的大小的检测部、和基于所述检测部的检测结果引导所述对象者的引导部。
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