框架悬挂式磁致弹性共振器

    公开(公告)号:CN106233152A

    公开(公告)日:2016-12-14

    申请号:CN201580015313.7

    申请日:2015-01-23

    CPC classification number: G01R33/18 G01L1/125 G01R33/0385 G01R33/04 G01R33/063

    Abstract: 一种磁致弹性签,包括结合强共振响应与相对较小的共振器的框架悬挂式磁致弹性共振器,使磁致弹性传感器能够使用在各种不显眼的应用和/或小包装中。共振器是关于基底悬挂的,共振器关于基底悬挂可减少、最小化、或消除基底和共振器之间的相互作用。信号强度因此增强,从而当保持对探查场的响应能够测量的同时,允许小型化。共振器可具有六边形形状和/或被悬挂在关于其周长的特定位置,以促进不同于探查场的方向的信号产生。传感器可包括一个或多个框架悬挂式共振器,在使用多个共振器时,一个或多个框架悬挂式共振器可阵列、堆叠、或随机地布置。

    用于加速外延剥离的应变控制

    公开(公告)号:CN104584239A

    公开(公告)日:2015-04-29

    申请号:CN201380029526.6

    申请日:2013-06-04

    Abstract: 本发明公开了用于外延剥离的薄膜装置,其包含柄和一个或多个配置在所述柄上的应变层,其中所述一个或多个应变层引起所述柄弯曲。本发明还公开了制造用于外延剥离的薄膜装置的方法,其包括在柄上沉积一个或多个应变层,其中所述一个或多个应变层在所述柄上引起至少一种选自拉伸应变、压缩应变和近中性应变的应变。本发明还公开了用于外延剥离的方法,其包括在配置于生长基底上的牺牲层上沉积外延层;在所述生长基底和所述柄中的至少一者上沉积一个或多个应变层;使所述柄结合于所述生长基底;以及蚀刻所述牺牲层。

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