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公开(公告)号：CN113076633B
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN202110311761.9
申请日：2021-03-23
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明适用于光学元件的匀滑技术领域，本发明在常见模型的基础上进行补充和修正，提出了一种适用于大口径光学元件复杂周期波纹误差匀滑的多参数匀滑方法，包括以下步骤：步骤H1：对光学元件进行子区域划分；步骤H2：计算各子区域初始波纹误差值RMS0；步骤H3：对光学元件进行预处理试验；步骤H4：得出ΔRMS与RMS曲线的拟合斜率k'；步骤H5：获得各子区域面形波纹收敛因子矩阵；步骤H6：获得各子区域中频误差预测曲线；步骤H7：获得各子区域的加工次数；其中，RMS表示元件表面波纹误差值，RMS0表示元件表面初始波纹误差值，ΔRMS表示经过单次匀滑加工后元件表面波纹误差的变化量。可以达到较为精确的理论预测效果，为后续工艺指导提供定量化支持。
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公开(公告)号：CN112845372B
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN202011644590.3
申请日：2020-12-31
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本申请提供一种光学元件疵病的抑制设备及方法，该光学元件疵病的抑制设备包括：吹扫装置、吸附装置、第一吸盘和洁净容器，吸附装置、吹扫装置与第一吸盘均安装在洁净容器中；吹扫装置的出风口对向光学元件的待吹扫面；第一吸盘设置于洁净容器的底座上，第一吸盘与吸附机构相对设置；吸附装置用于吸附光学元件的吸附面，并通过升降机构驱动吸附机构将光学元件调整至吹扫高度；吹扫装置用于吹扫光学元件的待吹扫面；吸附装置用于将吹扫后的光学元件放置于第一吸盘上进行吸附，通过第一吸盘完成对光学元件的真空吸附装夹。因此能够解决光学元件在真空吸附装夹过程中，存在容易产生表面疵病的技术问题。
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公开(公告)号：CN114355616A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202210043834.5
申请日：2022-01-14
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G02B27/09
Abstract: 本发明公开了用于深槽微加工的保形锐边平顶飞秒激光整形方法与装置；其中方法包括：采用扩束器对激光器发出的高斯光束进行扩充，获得扩充后的高斯光束；通过光束匀滑器将扩充后的高斯光束调整为超高斯平顶光束；采用硬边光阑对超高斯平顶光束进行切趾处理，获得矩形平顶光束；通过4f光学系统对矩形平顶光束进行等比例缩束成像，获得目标光斑；通过该方法能够有效解决飞秒激光加工中光束焦深短，光斑顶部光强不均匀，光斑边界过渡区较大的问题。
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公开(公告)号：CN113211351B
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202110530025.2
申请日：2021-05-14
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B25B11/00
Abstract: 本发明公开了一种针对深矢高非球面元件自适应柔性低应力装夹装置及装夹方法，所述装夹装置包括真空吸附基体、若干柔性支撑单元、双通道旋转接头、气管、顶圈、密封圈、自定心卡盘和高精度数控回转台；其中真空吸附基体通过自定心卡盘固定于高精度数控回转台上，其外侧壁均匀分布若干柔性支撑单元；真空吸附基体沿轴线方向设有通孔，通孔与柔性支撑单元之间的间隙形成真空吸附通道；通孔一端通过螺纹与双通道旋转接头的通道I连接；通孔的内壁上均匀布设有沿径向且与双通道旋转接头的通道II连接的放射性通孔。本发明通过“吸+撑”方式实现装夹，以解决现有深矢高非球面元件与装夹装置无法完全贴合、装夹精度低及存在装夹应力的问题。
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公开(公告)号：CN113175893B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202110407282.7
申请日：2021-04-15
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供了一种基于多误差实时补偿的大口径光学自由曲面全口径检测装置及方法，用于检测自由曲面光学元件，包括X轴运动执行系统、Y轴运动执行系统和Z轴运动执行系统；Y轴位置测量系统用于测量X轴运动执行系统在Y轴上的位置；X轴位置测量系统用于测量Z轴运动执行系统在X轴上的位置；双轴倾角传感器用于检测所述非接触位移测头在沿X轴、Y轴运动时，非接触位移测头分别在XZ和YZ平面内的空间姿态变化量，Z轴位置测量系统用于测量非接触位移测头在Z轴上的位置；非接触位移测头沿自由曲面光学元件表面扫描运动。本发明避免测量过程中对元件表面的破坏，并实时补偿测量运动误差，提高大口径自由曲面光学元件面形误差测量精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112959323A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202110229969.6
申请日：2021-03-02
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明适用于机器人领域，提供了一种机器人运动误差在位检测与补偿方法及设备，其中，机器人运动误差在位检测方法包括如下步骤：基于标件的结构参数，生成目标运动轨迹；机器人使测量装置沿目标运动轨迹运动，在机器人使测量装置沿目标运动轨迹运动的过程中，通过测量装置检测得到机器人实际运动误差，将误差数据补偿到机器人运动轨迹中获得机器人补偿运动轨迹，进而抑制机器人运动误差，提升机器人运动精度。
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公开(公告)号：CN108911532B
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201811152167.4
申请日：2018-09-29
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: C03C23/00
Abstract: 本申请提供一种工件表面损伤修复方法及系统，涉及光学元件加工技术领域。所述方法包括：将激光聚焦到待修复工件表面；将聚焦激光的光斑在待修复工件表面移动以扫描整个待修复工件表面，以使激光能量作用于待修复工件表面使待修复工件表面产生热效应，以熔合待修复工件表面的微裂纹损伤层，生成微裂纹熔合层；向待修复工件表面输出等离子体射流；控制等离子体射流在待修复工件表面运动，以去微裂纹熔合层。本申请利用微裂纹的熔合来改善所述待修复工件表面的裂纹深度、分布等初始状态，再利用等离子体射流对熔合改善后的微裂纹熔合层进行快速去除，提高了工件的寿命，也提高了工件的可靠性和使用性能。
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公开(公告)号：CN110039448B
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201910343316.3
申请日：2019-04-26
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本申请实施例提供一种气囊磨损监测方法以及设备，可以通过测力装置和测微仪来对气囊进行检测，从而确定出气囊的刚度和形貌是否满足抛光要求，是否需要更换气囊。这就保证了在对工件进行抛光的过程中，不会因为气囊刚度和形貌不达标而导致抛光失败或低效率抛光，进而提高了抛光加工过程的稳定性和可靠性。
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公开(公告)号：CN108508842B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201810298493.X
申请日：2018-04-04
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G05B19/401 , G01B11/27
Abstract: 本发明提供一种测量精度较高的数控机床直线导轨的直线度误差检测方法，该方法包括以下步骤：1)将水槽放在直线导轨的下方；2)在直线导轨上安装溜板，将激光位移传感器固定在溜板上，激光位移传感器的测头检测点指向水面；3)检测前将溜板移至检测行程的一端，然后开启溜板匀速移动，同时开始记录激光位移传感器测得的测头与水面的距离，待溜板移至检测行程的另一端时停止记录数据，得到激光位移传感器的测头随溜板匀速移动过程中与水槽水面距离的变化，即为直线导轨的直线度误差。本发明采用水面作为参考对象，通过激光位移传感器检测测头随水面距离的变化，从而获得直线导轨的直线度误差，由于水面具有极好的平面度，检测精度较高。
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公开(公告)号：CN109732104B
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN201910078817.3
申请日：2019-01-28
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B23B1/00
Abstract: 本发明提供一种金属锡质抛光盘的精密车削方法。金属锡质抛光盘的精密车削方法，在车削时保持车刀进给速度和切削深度不变，通过控制抛光盘转速变化来补偿实现稳定的温度场，使得刀尖的高度保持不变。本发明在车削过程中通过控制抛光盘的转速变化，即通过转速补偿实现车削过程中的恒温度场控制，进而获得平坦的锡质抛光盘。本发明可以实现金属平面抛光盘平面度的快速修正，能适应不同尺寸抛光盘的车削要求，操作过程简单，通用性好。
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