溅镀靶及其制造方法
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1788915A

    公开(公告)日:2006-06-21

    申请号:CN200510123330.0

    申请日:2002-08-16

    Abstract: 本发明提供一种溅镀靶的制造方法,通过由宽度为100μs以下的脉冲输出的激光进行表面处理,经升华等除去在研削加工时生成的毛刺和研削粉末、特别是粉尘和尘埃等,因此可以使靶子开始使用时所产生的初期电弧显著降低,并能够提高初期稳定性,以低成本进行溅镀靶的制造。

    捆包高纯度对阴极
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1222635C

    公开(公告)日:2005-10-12

    申请号:CN00132350.4

    申请日:2000-11-03

    Abstract: 使用至少在薄膜的一个单面上具有不存在有直径2.0μm以上的脱离性粒子表面的薄膜,或者使用至少在薄膜的一个单面上,表面不存在有直径2.0μm以上的脱离性粒子并且该表面所存在的直径0.2μm以上的脱离性粒子个数在薄膜表面1cm2范围为1000个以下的的薄膜,用该表面对高纯度对阴极进行捆包的捆包高纯度对阴极。该高纯度对阴极包括有,高纯度ITO对阴极,高纯度陶瓷系列对阴极,高纯度金属系列对阴极等。

    溅射靶的制造方法
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1891662A

    公开(公告)日:2007-01-10

    申请号:CN200610100094.5

    申请日:2006-06-29

    Abstract: 本发明提供可提高靶寿命并可得到高密度的溅射靶的溅射靶的制造方法。在烧成由含有氧化铟粉末及氧化锡粉末的混合粉末构成的原料粉末制造溅射靶时,至少在1100℃~1300℃预烧氧化铟粉末而作成原料的混合粉末,把该混合粉末以比所述预烧温度高150℃以上的温度进行烧结。

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