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公开(公告)号:CN113294487A
公开(公告)日:2021-08-24
申请号:CN202110677299.4
申请日:2021-06-18
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: F16F15/023 , F16F15/04 , F16F15/06 , F16F15/08 , F16M5/00
Abstract: 本发明公开了一种一体化控制的大型精密装备隔振系统,涉及大型精密装备隔振技术领域,包括隔振组件及承载平台,隔振组件设置于精密装备下方,承载平台为多个,多个承载平台在精密装备内竖向排布,且各个承载平台均由隔振组件支撑。本发明的一体化控制的大型精密装备隔振系统,在大型精密装备内部设置了多个竖向排布的承载平台,并一体化受控于隔振组件之上,通过一体化的方式实现对不同维度的精密器件的隔振,解决了困扰业界许久的问题,该系统在满足设备多维度隔振效果的基础上,还能够大幅降低投入和运行成本,提高精密装备检测效率。
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公开(公告)号:CN109683639B
公开(公告)日:2021-08-10
申请号:CN201811488122.4
申请日:2018-12-06
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: G05D19/02
Abstract: 本发明公开了一种主动隔振的控制方法及装置,采集振动环境中多个振源的振动信号,该振源包括固定频率的振源以及非固定频率的振源,将采集到的时域上的振动信号转换为频域信号,并在频域信号中确定固定频率的振源的振动信号,对固定频率的振源的振动信号进行控制,通过在所有振动源发出的振动信号中选择出固定频率的振动信号,并对其进行控制,从而能够对固定频率的振源发出的振动信号进行控制,提高对固定频率的振源发出的振动信号的隔振效果。
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公开(公告)号:CN105257758B
公开(公告)日:2019-02-19
申请号:CN201510686040.0
申请日:2015-10-21
Applicant: 中国电子工程设计院
Abstract: 本发明提供了一种可变附加气室空气弹簧结构的控制方法,主要包括:具有普通膜式空气弹簧结构的主气室和一级附加气室、二级附加气室和三级附加气室,主气室及各级附加气室内部通过节气孔依次相连,各级附加气室的节流孔孔径不同,各支送气路及其各级附加气室控制阀经并联连接至主送气路及主送气阀,以实现通过调节各级附加气室控制阀,使一个空气弹簧装置可变为具有不同数量附加气室的装置。本发明可以根据实际工程的需要,进行调节附加气室充气控制阀,一方面通过多级改变气体流通路径,使系统平衡过程较为稳定;另一方面,通过控制气流的流速,提高气体阻尼的可控范围和可控精度。
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公开(公告)号:CN104267756A
公开(公告)日:2015-01-07
申请号:CN201410479654.7
申请日:2014-09-19
Applicant: 中国电子工程设计院
IPC: G05D19/00
Abstract: 本发明公开了一种水平超长精密装备微振动控制系统,包括水平超长精密装备容器、主体结构支撑、垫板结构、内置工艺支撑平台、隔振装置、隔振装置支撑、真空波纹管密封连接构件、隔振平台和高刚性台座。本发明通过利用柔性真空波纹管密封连接构件将水平超长精密装备容器与内置工艺支撑平台分开,成为两个相对独立的支撑结构,使隔振平台只承担水平超长精密装备容器内部工艺结构的荷载。这种方式可以有效地对周围环境振动及动力设备振动,特别是附着在容器上的发振设备引起的机械振动进行隔离。实现在光学检测过程中,仅允许台面上出现微量的残余振动,且检测与被检设备振动相位一致,并避免由于抽真空变形和低温变形引入的对准误差。
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公开(公告)号:CN118687790A
公开(公告)日:2024-09-24
申请号:CN202410738798.3
申请日:2024-06-07
Applicant: 中国电子工程设计院股份有限公司
Abstract: 本发明旨在提供一种检测效果准确有效,应用于微振动环境模拟实验领域。本发明包括基座;气浮平台,设置于所述基座,所述气浮平台形成有设备放置台,用于放置精密设备;激振组件,设置于所述基座,所述激振组件包括激振安装座和激振件,所述激振安装座设置于所述气浮平台的周边,所述激振件固定连接于所述激振安装座,所述激振件的活动端与所述气浮平台接触,用于产生振动检测;检测组件,设置于所述基座,且与所述激振组件连接,用于收集并分析振动数据。本发明应用于微振动实验平台的技术领域。
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公开(公告)号:CN118273538A
公开(公告)日:2024-07-02
申请号:CN202410530772.X
申请日:2024-04-29
Applicant: 中国电子工程设计院股份有限公司
Abstract: 本申请公开一种拼接钢板调平方法,具体包括如下步骤:确定拼接顺序;在设备基础结构上布置多个拼缝调平装置;通过至少三个调平组件调整支撑板顶面的水平度,并对所有拼缝调平装置中支撑板顶面的标高进行抄平;在设备基础结构上呈矩形阵列布置预埋调平装置;依据支撑板顶面的标高对所有第一调平螺母顶面的标高进行统一抄平;根据拼接顺序,依次将拼接钢板落座于第一调平螺母顶面,且拼接钢板的底面搭接在支撑板顶面,固定压紧螺母;每落座一块拼接钢板后,对拼接钢板上和拼缝两侧的所有螺栓孔的标高进行校核;满足预设范围后再落座下一块拼接钢板。本申请的拼接钢板调平方法可以提高拼接钢板的整体平面度及拼缝两侧安装孔的位置精度,调平效率高。
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公开(公告)号:CN113309812B
公开(公告)日:2023-02-17
申请号:CN202110522775.5
申请日:2021-05-13
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: F16F15/023 , F16F15/027
Abstract: 本发明提供了一种隔振系统的质心控制方法和装置及设备,隔振系统包括隔振平台、空气弹簧和控制元件,所述方法包括:检测到隔振平台的荷载变化时,获取隔振平台的当前荷载;根据当前荷载,确定受力程度不大于预设值的第一空气弹簧;根据当前荷载,确定受力程度大于所述预设值、且气压和与当前荷载对应的理想平均气压的差值小于预设阈值的第二空气弹簧;通过控制元件调节第一空气弹簧和第二空气弹簧的承载力之和与当前荷载相同,且第一空气弹簧和第二空气弹簧的刚度一致;通过控制元件关闭第一空气弹簧和第二空气弹簧之外的第三空气弹簧。利用本发明提供的方法,根据荷载的变化,实时调整使用的空气弹簧,并保证其刚度一致,提升隔振效果。
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公开(公告)号:CN111609079B
公开(公告)日:2022-07-12
申请号:CN202010467385.8
申请日:2020-05-28
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: F16F15/023 , F16J15/06 , F17C13/08
Abstract: 本发明涉及隔振密封技术领域,公开了一种隔振密封系统。该隔振密封系统包括密封舱体以及用于支撑密封舱体的底架,且密封舱体的底部设有接口;还包括设置在密封舱体内部的载荷平台以及设置在密封舱体外部的支撑台座,载荷平台底部的支撑件穿过接口固定在支撑台座上,且支撑件与接口之间设有柔性密封装置。上述实施例中,载荷平台通过从密封舱体内部穿出的支撑件落于支撑台座上,与密封舱体进行了分离,同时,支撑件与接口之间设有柔性密封装置,在实现密封效果的同时,具有较低的刚度,提高了隔振效果。
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公开(公告)号:CN109683639A
公开(公告)日:2019-04-26
申请号:CN201811488122.4
申请日:2018-12-06
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: G05D19/02
CPC classification number: G05D19/02
Abstract: 本发明公开了一种主动隔振的控制方法及装置,采集振动环境中多个振源的振动信号,该振源包括固定频率的振源以及非固定频率的振源,将采集到的时域上的振动信号转换为频域信号,并在频域信号中确定固定频率的振源的振动信号,对固定频率的振源的振动信号进行控制,通过在所有振动源发出的振动信号中选择出固定频率的振动信号,并对其进行控制,从而能够对固定频率的振源发出的振动信号进行控制,提高对固定频率的振源发出的振动信号的隔振效果。
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公开(公告)号:CN109656275A
公开(公告)日:2019-04-19
申请号:CN201811488123.9
申请日:2018-12-06
Applicant: 中国电子工程设计院有限公司
IPC: G05D19/02
Abstract: 本发明公开了一种主动隔振的控制方法及装置,采集振动环境中多个振源的振动信号,该振源包括固定频率的振源以及非固定频率的振源,将采集到的时域上的振动信号转换为频域信号,并在频域信号中确定固定频率的振源的振动信号,对固定频率的振源的振动信号进行控制,通过在所有振动源发出的振动信号中选择出固定频率的振动信号,并对其进行控制,从而能够对固定频率的振源发出的振动信号进行控制,提高对固定频率的振源发出的振动信号的隔振效果。
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