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公开(公告)号：CN105445895A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201510962270.5
申请日：2015-12-21
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
CPC classification number: G02B7/1821 , G02B7/198
Abstract: 一种反射镜支撑调整装置属于反射镜面形检测技术领域，目的在于解决现有技术存在的功能单一和价格昂贵的问题，本发明的一种反射镜支撑调整装置包括转动轴承、滑动台、立板和底板；两个所述立板垂直固定在底板相对的两个边上，两个立板内侧设置有导向沟槽B，所述滑动台放置在底板中间位置，所述滑动台和两个立板相对的侧壁上设置有导向沟槽A，滑动台的两个侧壁上的导向沟槽A分别和两个立板上的导向沟槽B配合相对滑动，所述转动轴承垂直放置在所述滑动台上方中间位置，反射镜设置在转动轴承上端，所述导向沟槽A为圆弧形，所述圆弧形导向沟槽A的圆心和反射镜球面同心。实现被测试反射镜转动和摆动的姿态调整。
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公开(公告)号：CN104976964A
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201510318637.X
申请日：2015-06-09
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/24
Abstract: 球面镜和平面镜面形误差的绝对检测方法，属于光学干涉测量技术领域，为解决球面镜和平面镜面形误差绝对检测时难以同时实现高空间分辨率和低噪声传递系数的问题，利用多个旋转位置检测结果的波面平均和波面相减实现大部分旋转非对称面形误差的高分辨率绝对检测；利用两个平移位置和任意旋转位置检测结果的波面相减组成有限差分方程组，通过基于最小二乘拟合原理的波面重构算法求解差分方程组，实现旋转对称面形误差和剩余的旋转非对称面形误差的高分辨率绝对检测；通过提高平移检测时的平移量，并将被检镜面形误差的波面分解为多个互相交叉的子波面分别进行波面重构，从而降低波面重构算法的噪声传递系数。
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公开(公告)号：CN103398655A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201310346391.8
申请日：2013-08-09
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 一种波长调谐相移点衍射干涉测量装置及其方法属于基于相移点衍射干涉仪的光学元件面形检测装置及方法领域，该装置包括可调谐激光光源模块、点衍射干涉模块和控制系统，可调谐激光光源模块包括可调谐激光器、第一分光镜、第二分光镜、波长计和功率计。点衍射干涉模块包括光束调整镜组、针孔板、干涉仪成像镜组和CCD相机。控制系统包括可调谐激光器控制模块、CCD相机采集控制模块和主控计算机。该装置利用波长调谐的激光器实现移相并完成相移点衍射干涉测量，无需采用压电陶瓷相移器（PZT）或利用压电陶瓷移动角锥反射镜等机械移动部件进行移相，克服了机械移相装置制作难度大、成本高以及因机械移相装置自重引入应力形变误差的技术问题。
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公开(公告)号：CN103217225A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201310085979.2
申请日：2013-03-18
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G01J9/02
Abstract: 点衍射干涉仪小孔板的支撑结构属于微应力支撑领域，该结构具有应力小的特点，使小孔板均匀受力，从而减少小孔板的应力变形。该结构由支撑基板和小孔板组成，在支撑基板上有一个以支撑基板的圆心为圆心的圆形凹槽；小孔板的直径与凹槽的内径相同且小孔板的边缘与凹槽的内径边缘紧密贴合；所述凹槽内均匀分布光学胶，支撑结构通过光学胶与小孔板连接。本发明通过毛细现象由光学胶把小孔板和支撑基板紧密固定，使小孔板由圆心向四周发散的应力尽可能的减小，并降低小孔板的形变。
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公开(公告)号：CN102565459A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110449493.3
申请日：2011-12-29
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G01Q30/02
Abstract: 本发明属于光学技术领域，特别涉及一种用于原子力显微镜检测微孔形状时的透射照明装置，该装置包括光源、第一聚光镜组、第一可变光阑、第二可变光阑、第二聚光镜组和光路转折镜；光源，第一聚焦镜组，第一可变光阑，第二可变光阑和第二聚焦镜组共轴放置且光轴水平，转折镜与光轴成45度夹角；第一聚光镜位于光源之后，第一可变光阑位于第一聚光镜组之后，靠近第一聚光镜组的后表面，第二可变光阑位于第一聚光镜组对光源成像的位置，第二聚光镜组位于第二可变光阑之后，转折镜位于第二聚光镜组之后。本发明克服了现有原子力显微镜上光学显微镜观察系统反射照明条件下检测不透明样品上透明微孔时的不足，实现快速的找到微孔位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102331798A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201110235387.5
申请日：2011-08-17
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G05D23/01
Abstract: 高精度大型恒温控制系统，涉及恒温控制技术领域，它解决现有恒温控制系统无法满足点衍射干涉仪使用要求的问题，该系统包括恒温室、恒温控制门和恒温控制液体循环装置，所述恒温室由多块壁板组成；所述壁板内设置流通循环液体的水管，所述壁板内的水管进水口与恒温控制液体循环装置的出水管路连通；壁板内的水管出水口与恒温控制液体循环装置的进水管路连通。恒温室的内壁中循环液体温度由恒温控制液体循环装置控制。所述恒温室采用恒温控制门封闭，保证恒温环境无气流扰动。本发明能够实现大体积、高精度的恒温控制。
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公开(公告)号：CN106767498B
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201611058914.9
申请日：2016-11-25
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明实施例公开了一种用于球面透镜面形绝对标定的被检镜装调方法，可以在球面透镜面形误差绝对标定过程中，精确定位被检透镜光轴在其面形干涉检测结果中的坐标位置，为被检透镜面形误差的高精度校正提供重要保障，克服了传统技术无法消除透镜两表面面倾斜加工误差和透镜定心加工误差的影响，从而无法精确在面形检测结果中精确定位被检透镜光轴坐标位置的弊端，本发明还提供了一种用于球面透镜面形绝对标定的被检镜装调装置。
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公开(公告)号：CN106247972B
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：CN201510962490.8
申请日：2015-12-21
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及光学检测技术领域，特别涉及一种干涉测量中成像畸变的标定系统，包括干涉测量中成像畸变的标定系统，包括干涉测量装置、调整机构、球冠网格板和数据处理装置，球冠网格板，用于对所述被检光学元件进行畸变标定；调整机构调整光学被检光学元件处于干涉测量装置共焦干涉检测位置，被检光学元件中心、球冠网格板的几何中心与干涉测量装置的光轴重合，球冠网格板的坐标轴与干涉测量装置探测器的坐标轴重合；干涉测量装置进行干涉检测；数据处理装置计算畸变函数及被检光学元件的面形误差。本发明还包括干涉测量中成像畸变的标定方法。通过设置网格板，进行成像畸变标定，达到了在不破坏被检元件的情况下，实现成像畸变标定的有益效果。
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公开(公告)号：CN105572050B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201510962193.3
申请日：2015-12-21
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC: G01N21/17
Abstract: 球面透镜材料均匀性的检测方法属于光学干涉测量技术领域，该方法结合移相干涉测量技术、折射率匹配液和贴置板实现球面透镜材料均匀性检测。通过折射率匹配液与被检透镜折射率的匹配，使被检透镜可以利用干涉仪平面波前检测。同时，通过搅动折射率匹配液，然后反复测量满腔状态下的干涉检测结果消除折射率匹配液均匀性对检测结果的影响。最后，利用满腔和空腔干涉检测结果相减可以获得被检透镜的材料均匀性。该方法的有益效果是不仅可以测量平板玻璃的材料均匀性，还可以测量球面透镜的材料均匀性。
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公开(公告)号：CN105627945B
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：CN201510962256.5
申请日：2015-12-21
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 非球面元件中心与外圆中心偏离量的测量装置及测量方法，涉及超高精度非球面面形检测加工领域。该方法为在以非球面元件外圆为中心做四个标记点；调节非球面元件使非球面面形测量装置光轴、非球面光轴及转台转轴相一致；当转台处于0度位置时检测非球面，记录4个标记点此时在干涉仪CCD上的像素位置坐标，得到非球面元件外圆中心的像素位置坐标(X1，Y1)；转台在0度、90度、180度以及270度位置处检测非球面，记录4个角度位置下任一标记点在的像素位置坐标，得到非球面中心的像素位置坐标(X2，Y2)；非球面中心与非球面元件外圆中心偏离的像素数为(X1‑X2，Y1‑Y2)，偏离量为(X1‑X2，Y1‑Y2)乘以像素分辨率。本发明结构简单、成本低、精度高。
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