公开(公告)号：CN106282974B

公开(公告)日：2018-06-12

申请号：CN201610457284.6

申请日：2016-06-22

Applicant: 丰田自动车株式会社

Inventor： 佐藤羊治 ,  佐藤贵康 ,  中田博道 ,  橘和孝 ,  有屋田修 ,  高野裕二 ,  鹤本谅

IPC: C23C16/517

CPC classification number: C23C16/513 ,  C23C16/455 ,  H01J37/32211 ,  H01J37/32311 ,  H01J37/32577

Abstract: 等离子化学气相沉积装置包括腔室(12)、具有伸长形状的第一导体(20)、具有管状形状的第二导体(30)、高频输出装置(45)和直流电源(46)。第一导体(20)的与高频输出装置(45)连接的第一连接部(23)以及第一导体(20)的与直流电源(46)连接的第二连接部(24)均被放置在腔室(12)的外侧。从第一导体(20)的一端到第一连接部(23)的距离短于从第一导体(20)的所述一端到第二连接部(24)的距离。在第一导体(20)中在第一连接部(23)和第二连接部(24)之间设置阻抗变化部(25)，阻抗变化部具有的阻抗不同于在第一导体(20)的所述一端与第一连接部(23)之间的阻抗。

公开(公告)号：CN107663629A

公开(公告)日：2018-02-06

申请号：CN201710607408.9

申请日：2017-07-24

Applicant: 丰田自动车株式会社

Inventor： 橘和孝 ,  佐藤贵康 ,  佐藤羊治 ,  中田博道 ,  坪井大树

IPC: C23C14/32 ,  C23C14/14

CPC classification number: C23C16/274 ,  C23C14/14 ,  C23C14/325 ,  C23C16/26 ,  C23C16/4581 ,  C23C16/511 ,  C23C28/32 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/3222 ,  H01L21/205 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4607 ,  H05H2001/463

Abstract: 本发明提供高频波供给构造。该高频波供给构造具备在规定方向X上延伸的中心导体、与中心导体同轴配置且接地的外侧导体、及设置在中心导体与外侧导体之间的圆筒形状的绝缘构件。中心导体的顶端是支承工件W的支承部。在比外侧导体靠外侧处配置有与外侧导体及中心导体同轴配置的防附着构件。防附着构件的顶端比外侧导体的顶端在规定方向X上更接近支承部。绝缘构件具有从外侧导体的开口向支承部侧突出的突出部分，突出部分在规定方向上与外侧导体的顶端对向。

公开(公告)号：CN107587113A

公开(公告)日：2018-01-16

申请号：CN201710536654.X

申请日：2017-07-04

Applicant: 丰田自动车株式会社

Inventor： 佐藤贵康 ,  佐藤羊治 ,  橘和孝

IPC: C23C14/32

Abstract: 本发明涉及电弧放电发生装置及膜形成方法。电弧放电发生装置利用电源装置来使蒸发源通电，使得蒸发源充当负极，以使撞击器片接触蒸发源并且然后使撞击器片与蒸发源分开，以在腔室中发生电弧放电。当熄灭腔室中发生的电弧放电时，电弧放电发生装置使撞击器片接触蒸发源并且在撞击器片与蒸发源接触的情形下利用电源装置来使蒸发源断电。

公开(公告)号：CN107142461A

公开(公告)日：2017-09-08

申请号：CN201710111543.4

申请日：2017-02-28

Applicant: 丰田自动车株式会社

Inventor： 橘和孝 ,  佐藤贵康 ,  佐藤羊治 ,  中田博道 ,  真锅和干 ,  冈村诚士 ,  山本出

IPC: C23C16/26 ,  C23C16/513 ,  C23C16/52

CPC classification number: C23C16/26 ,  C23C16/511 ,  C23C16/52 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4622 ,  C23C16/513

Abstract: 本发明提供一种成膜方法及等离子体化学气相沉积装置。PCVD装置具备以位于反应炉内的部位支承工件并使从高频输出装置输出的微波向工件传播的导波构件。将使通过导波构件向工件传播的微波的强度从“0”开始逐渐加大的过程中该工件的偏置电流跳跃时的从高频输出装置输出的微波的强度设为第一强度，将使微波的强度从第一强度加大的过程中偏置电流再次跳跃时的微波的强度设为第二强度。在成膜时，从高频输出装置输出比第一强度大且比第二强度小的强度的微波。

公开(公告)号：CN107043926A

公开(公告)日：2017-08-15

申请号：CN201710069000.0

申请日：2017-02-08

Applicant: 丰田自动车株式会社

Inventor： 佐藤羊治 ,  佐藤贵康 ,  橘和孝 ,  中田博道

IPC: C23C16/513

CPC classification number: H01J37/32853 ,  H01J37/32201 ,  H01J37/32477 ,  H01J37/32486 ,  H01J2237/3321 ,  C23C16/513 ,  C23C16/4401

Abstract: 本发明提供一种具有附着抑制片的等离子体化学气相生长装置。附着抑制片配置于工件的设置位置与该反应炉的内壁之间。该附着抑制片是具有在彼此不同的方向上延伸的第一纤维束和第二纤维束的织物。在第一纤维束中，正面侧部分与背面侧部分在第一方向上交替排列。另外，在第二纤维束中，正面侧部分与背面侧部分在第二方向上交替排列。

公开(公告)号：CN103620926B

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201380001827.8

申请日：2013-01-22

Applicant: 新日铁住金株式会社 ,  丰田自动车株式会社

Inventor： 大杉保郎 ,  浜谷刚 ,  新井聪 ,  柳田英治 ,  佐野新也 ,  近藤正显 ,  高桥利光 ,  佐藤羊治

IPC: H02K15/02 ,  C21D9/00

CPC classification number: C21D9/0068 ,  C21D1/09 ,  C21D1/26 ,  C21D1/34 ,  C21D8/12 ,  C21D9/00 ,  H02K15/024 ,  H02K15/12

Abstract: 本发明的金属部件的退火方法为：在内周面上形成有向中心方向突出的多个齿的中空圆筒形状的金属部件的内部空间，按照与所述金属部件的中心轴方向平行地延伸的方式配设发射红外线的第1加热器，通过所述第加热器从所述内部空间对所述金属部件进行加热，并且将加热后的所述金属部件缓慢冷却。