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公开(公告)号：CN101404188B
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN200810161940.3
申请日：2008-10-06
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种紫外线照射装置，固定紫外线灯的基板不会变形，能够将紫外线灯与处理物的分离距离保持恒定，能够均匀地处理被加热物。本发明的紫外线照射装置，具有管形的紫外线灯(1)，该紫外线照射装置(D1)配置在上方具有开口的处理室(9)的上部，其特征在于，包括支撑紫外线灯(1)的基板(2)、用于使紫外线灯(1)点亮的点亮单元(41、42)、以及设置有点亮单元(41、42)的架设板(5)，基板(2)的紫外线灯(1)管轴方向的两端(A)设置在支撑体(93)上，该支撑体(93)支撑设置在处理室(9)的紫外线照射装置，架设板(5)的中央部分与基板(2)分离，架设板(5)的自身重量施加到支撑体(93)上。
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公开(公告)号：CN101651080B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN200810210258.9
申请日：2008-08-11
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明目的在于提供一种受激准分子灯，在放电容器的暴露在放电空间中的表面上形成紫外线反射膜，能够防止长时间点亮时受激准分子光的均匀性下降。该受激准分子灯的特征在于，在一侧的长边面(12a)的内表面区域形成有紫外线反射膜(20)，在短边面(13a、13b)的内表面区域形成有膜厚比所述一侧的长边面(12a)的与电极(15)对应的内表面区域上形成的紫外线反射膜(20)薄的紫外线反射膜(20)，在另一侧的长边面(12b)上通过不形成所述紫外线反射膜(20)而形成光射出窗(17)。
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公开(公告)号：CN101393839A
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：CN200810161711.1
申请日：2008-09-22
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种准分子灯的制造方法及能够高水准地维持发光管的紫外光透过率的准分子灯，上述准分子灯的制造方法能够使准分子灯不会因发光管构成材料附着于发光管内表面而降低发光管的紫外光透过率。本发明的准分子灯，在填充有放电用气体的由电解质构成的发光管的外表面，夹着发光管的管壁而相对地设置有一对外部电极，其特征在于，在发光管的内部，包括气体导入部和凸缘部的密封部件的凸缘部的外周边缘在整个圆周方向上焊着而固定到发光管的管壁，从而形成由密封部件和发光管的管壁隔开的气密空间，气体导入部的一端被密封而另一端开口，且一端向发光管的管轴方向的外端延伸，凸缘部与气体导入部连续而向气体导入部的直径方向扩展。
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公开(公告)号：CN102213867B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201110073302.8
申请日：2011-03-25
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G02F1/1337
Abstract: 本发明提供一种能够进行被处理对象物的光照射面内紫外线照度的面内均匀性高，而且被处理对象物的温度上升少、被处理对象物的光照射面内温度的面内均匀性高的紫外线照射处理的紫外线照射装置。该紫外线照射装置在包含光反应性物质的液晶面板的制造工序中使用，具备由多个光源元件与作为被处理对象物的液晶面板材料相对地并列排列构成的光源单元、以及向上述光源元件的每一个中的外套管的内部供给冷却风的冷却机构，所述多个光源元件的每一个由放射在300nm～400nm的波长上具有发光峰值的光的长条状的灯、以及在内部穿插有该灯的状态下设置的具有光透射性的长条状的外套管构成。
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公开(公告)号：CN101640163B
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN200910164913.6
申请日：2009-07-29
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种准分子灯，抑制将电力供应给准分子灯的供电线与电极进行接合的连接部等的氧化等引起的劣化，提升可靠性，而且寿命长。本发明的准分子灯的一个电极配置于放电容器外部，在该放电容器内部封入有放电用气体，在与该一个电极成对的另一个电极之间配置有介质，在该一个电极及该另一个电极上连接有将电力供应给电极间的导线，将电力经由该导线、该电极、该介质供应给该放电用气体，其中，设有与该放电容器的一个端部连接的以至少5个面区划的空间，该空间通过隔壁与该放电容器隔离，在该空间的外面形成有与上述电极电连接的连接部，该导线经由焊锡连接在该连接部上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102213867A
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN201110073302.8
申请日：2011-03-25
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G02F1/1337 , F21V29/02
Abstract: 本发明提供一种能够进行被处理对象物的光照射面内紫外线照度的面内均匀性高，而且被处理对象物的温度上升少、被处理对象物的光照射面内温度的面内均匀性高的紫外线照射处理的紫外线照射装置。该紫外线照射装置在包含光反应性物质的液晶面板的制造工序中使用，具备由多个光源元件与作为被处理对象物的液晶面板材料相对地并列排列构成的光源单元、以及向上述光源元件的每一个中的外套管的内部供给冷却风的冷却机构，所述多个光源元件的每一个由放射在300nm～400nm的波长上具有发光峰值的光的长条状的灯、以及在内部穿插有该灯的状态下设置的具有光透射性的长条状的外套管构成。
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公开(公告)号：CN101199923B
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN200710149666.3
申请日：2007-09-10
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: B01J19/12 , B08B7/00 , G02F1/13 , G02F1/1333 , H01L21/304 , G21K5/00
Abstract: 本发明要解决的问题是提供一种准分子光照射装置，在利用准分子光清洁液晶面板用玻璃基板等的清洁装置中，可以进行高效的清洁，能够无偏差地清洁大型基板。本发明的准分子光照射装置在并列配置有多根准分子灯的灯壳内具有喷出至少包括氮气等不活泼气体的气体的喷气管，具有由该喷气管和该准分子灯上表面部分及该灯壳的间隔壁包围而成的第一置换空间、以及由该喷气管和该准分子灯下表面部分及搬运的基板包围而成的第二置换空间，通过从该喷气管向该第一置换空间喷出不活泼气体，形成该第一置换空间。
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公开(公告)号：CN101136307B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200710148159.8
申请日：2007-08-28
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种准分子灯的结构，即使液晶面板基板、半导体晶片、磁盘基板、以及光盘基板等逐渐大型化，也适于应对照射紫外光而进行清洁、刻蚀等的基板处理，并且可以实现灯的长寿命化。上述准分子灯在由电介质构成的放电容器中封入准分子生成气体，具有一对电极，两个电介质部件介于该一对电极之间，在该一对电极上施加高电压，进行放电，其特征在于：在一个电介质部件上具有向另一电介质部件延伸的支撑部件，在该支撑部件或该另一电介质部件的、该支撑部件与该另一电介质部件接触的部位上具有缓冲材料。
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公开(公告)号：CN101629708A
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200910160428.1
申请日：2009-07-16
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 一种准分子灯装置，将装备于较长筐体的灯支撑体的位置平常保持一定，不会有灯支撑体与被处理物的摩擦，消除由于隔壁的热变形所导致的灯支撑体的位置变化，且防止从准分子灯的周围所产生的臭氧对搭载于筐体内的设备的腐蚀。该准分子灯装置(1)具备：筐体(1)；被筐体支撑的悬架体(4)；被悬架体支撑的灯支撑体(6)，被灯支撑体支撑的准分子灯(5)，以及，设于准分子灯与悬架体之间的隔壁(7)；灯支撑体松嵌合于设在隔壁上的贯通孔(8)并被悬架体支撑。而且，设置有调整灯支撑体相对于悬架体的上下方向的位置的调整机构，设置有防止气体通过贯通孔与松嵌合于贯通孔的灯支撑体之间的遮蔽机构。
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公开(公告)号：CN104838732B
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201380064293.3
申请日：2013-12-26
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: H05K3/26
CPC classification number: H05K3/0088 , H05K1/0373 , H05K3/227 , H05K3/26 , H05K2201/0209 , H05K2203/0285 , H05K2203/0292 , H05K2203/0743 , H05K2203/075 , H05K2203/0766 , H05K2203/081 , H05K2203/087 , H05K2203/1509
Abstract: 提供一种不论是起因于无机物质及有机物质的哪种的残渣都能够可靠地除去、不需要使用需要废液处理的除渣处理方法及除渣处理装置。本发明的除渣处理方法是层叠有由含有填料的树脂构成的绝缘层和导电层的配线基板材料的除渣处理方法，其特征在于，具有：紫外线照射处理工序，对上述配线基板材料照射波长220nm以下的紫外线；以及物理性振动处理工序，对经过了该紫外线照射处理工序的配线基板材料施加物理性振动。
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