公开(公告)号：CN1755523A

公开(公告)日：2006-04-05

申请号：CN200510106482.X

申请日：2005-09-26

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 山本敏 ,  花元幸夫 ,  桑名耕治

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/033

CPC classification number: G03F7/0397 ,  G03F7/0392

Abstract: 本发明提供一种化学放大型光刻胶组合物，其包含处理过的树脂(1)、酸生成剂和溶剂，其中树脂(1)是：(a)(甲基)丙烯酸类树脂，其不溶于或难溶于碱性水溶液，并且通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，并且其包含在它的侧链中含有脂环族烃基的重复单元；或(b)苯乙烯类树脂，其不溶于或难溶于碱性水溶液，并且通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，并且其包含衍生自羟基苯乙烯的重复单元，并且其中处理过的树脂(1)是通过下面的方法得到的：(A)在40至90℃下粗树脂(1)与活性碳接触，得到半处理的粗树脂(1)，和半处理的粗树脂(1)与选自硅藻土和硅胶中的至少一个成员接触，或(B)在40至90℃下粗树脂(1)与活性碳和选自硅藻土和硅胶中的至少一个成员接触。

公开(公告)号：CN102890410A

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：CN201210251266.4

申请日：2012-07-19

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 市川幸司 ,  向井优一 ,  山本敏

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041

Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于制备抗蚀图案的方法，所述抗蚀剂组合物具有：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，和由式(II)表示的酸生成剂，其中R1、A1、A13、A14、X12、R23、R24、R25、X21和Z1+如说明书中限定。

公开(公告)号：CN101211113B

公开(公告)日：2012-01-11

申请号：CN200710161112.5

申请日：2007-12-18

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 荒木香 ,  山口训史 ,  山本敏

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0397

Abstract: 本发明提供一种化学放大型抗蚀剂组合物，其包含：(A)由式(I)表示的盐、(B)由式(II)表示的盐和(C)树脂，所述树脂包含具有酸-不稳定基团的结构单元，并且所述树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液，其中在式(I)和(II)中的R21、Q1、Q2、Q3、A+和A’+与权利要求书和说明书中定义的相同。A’+-O3S-Q3(II)。