-
公开(公告)号：CN102890407A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201210250658.9
申请日：2012-07-19
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法，所述抗蚀剂组合物具有：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，酸生成剂，和由式(II)表示的化合物，其中R1、A1、A13、A14、X12、R23、R24、R25、R26、X21和X22如说明书中限定。
-
公开(公告)号：CN102736417A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210138439.1
申请日：2012-04-11
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0046 , G03F7/0045 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，其包括由式(I)表示的盐：其中R1和R2独立地每一个表示氟原子或C1-C6全氟烷基，X1表示C1-C17二价饱和烃基团，等，s1表示1或2，和t1表示0或1，前提是s1和t1的和是1或2，R3表示C1-C12饱和烃基团，等，u1表示0-8的整数，和(Z1)+表示有机阳离子，由式(II-0)表示的盐其中R4表示C1-C24烃基团等，X2表示C1-C6烷烃二基基团等，和(Z2)+表示有机阳离子，和树脂，其在碱水溶液中是不溶的或可溶性差的但在酸的作用下变得可溶于碱水溶液。
-
公开(公告)号：CN102955359A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201210297407.6
申请日：2012-08-20
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/00 , C07C381/12 , C07C309/17 , C07D307/00 , C07C309/12 , C07D327/08 , C07D333/46 , C07D335/02
CPC classification number: C07C381/12 , C07C309/06 , C07C309/10 , C07C309/12 , C07C309/17 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , C07D307/00 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明提供盐、光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法。一种光致抗蚀剂组合物，其包含在碱水溶液中难溶或不溶但是通过酸的作用可溶的树脂和由式(I)表示的盐，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，L1表示C1-C30三价脂族饱和烃基，其中氢原子可以用氟原子替换并且其中亚甲基可以用氧原子、-NR3-或羰基替换，其中R3表示氢原子或C1-C6烷基，W1和W2各自独立地表示C3-C36脂环烃环，其中亚甲基可以用氧原子、硫原子、-NR4-、磺酰基或羰基替换，其中R4表示氢原子或C1-C6烷基，R1和R2各自独立地表示羟基或C1-C6烷基，t1和t2各自独立地表示0至2的整数，并且Z+表示有机阳离子。
-
公开(公告)号：CN102890410A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201210251266.4
申请日：2012-07-19
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于制备抗蚀图案的方法，所述抗蚀剂组合物具有：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，和由式(II)表示的酸生成剂，其中R1、A1、A13、A14、X12、R23、R24、R25、X21和Z1+如说明书中限定。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102816097A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201210186846.X
申请日：2012-06-07
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C381/12 , C07C309/10 , C07C303/32 , C07D321/10 , G03F7/004 , G03F7/00
CPC classification number: C07D321/10 , C07C309/10 , C07C309/12 , C07C381/12 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/11 , G03F7/2041
Abstract: 本发明提供盐、光致抗蚀剂组合物及用于制备光致抗蚀剂图案的方法。本发明公开一种由式(I)表示的盐，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，A1表示C1-C30一价有机基团，X1表示其中氢原子可以被羟基代替的C1-C10脂族烃基，m1和m2各自独立地表示1至4的整数，以及Z+表示有机阳离子。
-
公开(公告)号：CN102952053A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201210280649.4
申请日：2012-08-08
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C309/17 , C07C303/32 , C07C381/12 , C07D327/08 , C07D327/06 , C07D333/46 , C07D335/02 , C07D307/33 , C07D307/00 , C07C25/18 , C07C17/35 , G03F7/004 , G03F7/00
CPC classification number: C07C381/12 , C07C309/08 , C07C309/17 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供盐、光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法。所述光致抗蚀剂组合物包含由式(I)表示的盐和树脂，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，R1、R2和R3各自独立地表示氢原子或C1-C10一价脂族饱和烃基，X1和X2各自独立地表示单键、羰基或C1-C10二价脂族饱和烃基，其中氢原子可以被羟基代替，并且其中亚甲基可以被氧原子、磺酰基或羰基代替，A1表示C1-C30有机基团，ml表示1至4的整数，并且Z+表示有机阳离子，并且所述树脂难溶或不溶于碱性水溶液但是通过酸的作用可溶于碱性水溶液。
-
公开(公告)号：CN102924341A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201210274523.6
申请日：2012-08-03
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C309/17 , C07C303/32 , C07C381/12 , C07D327/08 , C07D327/06 , C07D333/46 , C07D307/33 , C07D307/00 , C07C25/18 , C07C17/35 , G03F7/004 , G03F7/00
CPC classification number: C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2603/74
Abstract: 本发明提供盐、光致抗蚀剂组合物和用于生产光致抗蚀剂图案的方法。所述盐由式(I)表示，其中：Q1和Q2各自独立表示氟原子或C1-C6全氟烷基；L1表示C1-C20三价脂肪族饱和烃基，其中与脂肪族饱和烃链部分的亚甲基结合的氢原子可以被氟原子或羟基代替并且其中亚甲基可以被氧原子、-NR2-或羰基代替，其中R2表示氢原子或C1-C6烷基，L1-OH的羟基位于L1的脂肪族饱和烃链部分；W表示C3-C36脂环烃基，其中亚甲基可以被氧原子、硫原子、羰基或磺酰基代替，并且其中氢原子可以被羟基、C1-C12烷基、C1-C12烷氧基、C3-C18脂环烃基或C6-C14芳香族烃基代替；和Z+表示有机阳离子。
-
公开(公告)号：CN102129171A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN201110005775.4
申请日：2011-01-07
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0397 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/2041
Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，其包含：选自由式(I)表示的单体、由衍生自由式(I)表示的单体的结构单元构成的聚合物，和由衍生自由式(I)表示的单体的结构单元和衍生自由式(II)表示的单体的结构单元构成的聚合物组成的组中的至少一种，在式(I)中，R1表示氢原子或甲基，W1表示C3-C20二价饱和环烃基，A1表示单键或*-O-CO-R2-，其中*表示与W1＝N-的结合位置，并且R2表示C1-C10二价饱和烃基，在式(II)中，R3表示氢原子或甲基，A2表示单键或*-O-CO-(CH2)n-，其中*表示与R4-的结合位置，n表示1至7的整数，并且R4表示C3-C20饱和环烃基；树脂，其具有酸不稳定基团，并且不溶或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液；和酸生成剂。
-
公开(公告)号：CN102002121A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN201010269819.X
申请日：2010-08-31
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C08F20/52 , C08F220/32 , C08F220/18 , C08F220/28 , C08F220/52 , G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/00 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0397 , C08F220/18 , C08F220/30 , C08F220/60 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/038 , G03F7/20 , G03F7/2041
Abstract: 本发明提供一种树脂，所述树脂包含衍生自由式(I)表示的化合物的结构单元，其中R1表示氢原子，卤素原子或任选具有一个或多个卤素原子的C1至C6烷基；X1表示C2至C36杂环基，包含在所述杂环基中的一个或多个氢原子可以被卤素原子，羟基，C1至C24烃，C1至C12烷氧基，C2至C4酰基，C2至C4酰氧基代替，并且包含在所述杂环基中的一个或多个-CH2-可以被-CO-或-O-代替。
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
9
records
(took 0.028 seconds)
