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公开(公告)号：CN1977219B
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN200580021473.9
申请日：2005-06-27
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/1404 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1634 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , B41J2202/11 , G03F7/095 , Y10T29/49401
Abstract: 一种用于制造微细结构的方法，包括：形成要由第一波长范围的致电离辐射曝光的第一致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤；在第一正性光敏材料层上形成要由第二波长范围的致电离辐射曝光的第二致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤；通过在作为上层的上述第二正性光敏材料层中进行分解反应而不在上述第一正性光敏材料层中进行分解反应，并用显影液进行显影，从而在所述第二正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤；以及，通过在预定区域中进行分解反应并进行显影，在作为下层的所述第一正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤。从而，在所述衬底中制造出凸形图案。
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公开(公告)号：CN100588547C
公开(公告)日：2010-02-10
申请号：CN200510069706.4
申请日：2005-05-08
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 提供一种喷墨记录头用基体的制造方法和记录头的制造方法，用来形成更均匀的发热电阻层。该喷墨记录头周基体具有：表面上有绝缘层的支撑体、配置在该支撑体的上述表面上的一对电极层、以及连续地覆盖该一对电极层和它们之间的发热电阻层，其制造方法包括：在上述支撑体上形成电极层的工序；以及通过刻蚀上述电极层，形成上述一对电极层的工序，在形成上述一对电极层的工序中，对位于上述绝缘层的上述一对电极层之间的表面部分进行刻蚀，在上述绝缘层的该部分上形成凹部。
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公开(公告)号：CN1781716A
公开(公告)日：2006-06-07
申请号：CN200510128605.X
申请日：2005-11-22
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1628 , B41J2/1603 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1639 , B41J2/1645
Abstract: 根据本发明，提供有一种能够进行高精度打印和记录及具有高可靠性的喷墨记录头、和一种制造该头的方法。本发明的喷墨记录头包括：元件基片，在其表面上形成墨水排出能量产生元件，并且其由硅制成；和薄且扁平的无机基片，其中在墨水排出能量产生元件的上方垂直布置的部分中形成墨水排出端口。此外，该头包括感光材料层，该感光材料层把元件基片粘结到无机基片上并且要构成形成墨水流动路径的壁，该墨水流动路径与墨水排出端口连通。无机基片层叠在设有感光材料层的元件基片上，并且此后设有墨水排出端口。
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公开(公告)号：CN103358702B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201310123781.9
申请日：2013-04-10
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/16
CPC classification number: B41J2/14 , B41J2/14129 , B41J2/1603 , B41J2/1626 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1639 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2202/13
Abstract: 本发明涉及液体排出头及其制造方法。本发明的液体排出头的制造方法包括以下步骤：在基板的第一面上，在对应于形成独立供给口的区域的部分上形成蚀刻停止层；从第二面侧对所述基板进行干法蚀刻处理，直到被蚀刻的部分到达所述蚀刻停止层；并且在进行所述干法蚀刻处理之后，通过各向同性蚀刻去除所述蚀刻停止层以形成独立供给口，其中所述各向同性蚀刻是以在所述蚀刻停止层的侧面周围形成对所述各向同性蚀刻具有耐蚀刻性的侧部蚀刻阻止部的状态进行。
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公开(公告)号：CN101746143B
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN200910259421.5
申请日：2009-12-18
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1404 , B41J2/1603 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1634 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , B41J2002/14467 , Y10T29/494
Abstract: 本发明涉及液体排出头和液体排出头用基板的制造方法。液体排出头包括Si基板和液体供给口，所述Si基板设置有产生用于排出液体的能量的元件，设置所述液体供给口以从第一表面至背面穿过所述Si基板，从而向所述元件供给液体。所述基板的制造方法包括以下步骤：在面取向为{100}的Si基板背面上形成多个凹部，所述凹部面向所述第一表面并沿所述Si基板的 方向成行排列；和使用Si基板{100}面的蚀刻速率比Si基板{110}面的蚀刻速率慢的蚀刻液，经由凹部，通过在Si基板上进行晶轴各向异性蚀刻而形成多个液体供给口。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100522620C
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200610136289.5
申请日：2006-10-17
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1404 , B41J2/1603 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , Y10T29/49401
Abstract: 一种液体排送头，其包括：基底，其具有能量发生元件，用于产生排送液体所需的能量；排送端口，其用于排送液体，并被设置成与能量发生元件成相对的关系；壁板构件，其围成了腔室，该腔室适于存贮由能量发生元件产生的、排送液体所需的能量；排送部分，其形成了连接腔室与排送端口的流体通路；供应通路，其便于将液体输送到所述腔室中；以及成对的中空部分，它们被设置在壁板构件中，其中，中空部分相互对置，且在从排送端口到基底的方向上，中空部分至少夹置着整个排送端口，且中空部分与腔室是独立的。
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公开(公告)号：CN100496984C
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200580021431.5
申请日：2005-06-27
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1639 , B41J2/1603 , B41J2/1631 , B41J2002/14475 , G03F7/038
Abstract: 根据本发明，排液头的制造方法包括以下步骤：在其上设置有能量产生元件的基材上沉积用于形成流路的固体层，该能量产生元件用来产生用于排出液体的能量，在其中安装有该固体层的基材上形成用于覆盖该固体层的涂层，通过光刻工艺，在该固体层上形成的涂层中形成用来排出液体的排出口，和将该固体层除去以形成与该能量元件和该排出口连通的流路，其中用于该涂层的材料包含阳离子可聚合化合物、阳离子光致聚合作用引发剂和阳离子光致聚合作用的抑制剂，和其中与其中形成该涂层的排出口的部分形成边界的固体层的材料包含甲基丙烯酸酐和甲基丙烯酸酯的共聚物。
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公开(公告)号：CN100469580C
公开(公告)日：2009-03-18
申请号：CN200510128605.X
申请日：2005-11-22
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1628 , B41J2/1603 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1639 , B41J2/1645
Abstract: 根据本发明，提供有一种能够进行高精度打印和记录及具有高可靠性的喷墨记录头、和一种制造该头的方法。本发明的喷墨记录头包括：元件基片，在其表面上形成墨水排出能量产生元件，并且其由硅制成；和薄且扁平的无机基片，其中在墨水排出能量产生元件的上方垂直布置的部分中形成墨水排出端口。此外，该头包括感光材料层，该感光材料层把元件基片粘结到无机基片上并且要构成形成墨水流动路径的壁，该墨水流动路径与墨水排出端口连通。无机基片层叠在设有感光材料层的元件基片上，并且此后设有墨水排出端口。
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公开(公告)号：CN1968815A
公开(公告)日：2007-05-23
申请号：CN200580019601.6
申请日：2005-06-27
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/038 , B41J2/1603 , B41J2/1631 , B41J2/1639 , B41J2002/14475 , Y10T29/49401
Abstract: 根据本发明，一种用于制造排液头的方法包括步骤：在其上排列有能量产生元件(2)以产生用于排出液体的能量的基板(1)上，形成用于形成流路的固体层(3)；在其上设置有固体层的基板上形成用于覆盖固体层的涂层(4)；在沉积在固体层的涂层中通过光刻工艺形成用于排出液体的排出口(7)；和去除固体层以形成与能量元件和排出口连通的流路(8)，其中用于涂层的材料包含阳离子聚合性化合物，阳离子光聚合反应引发剂和阳离子光聚合反应的抑制剂，和其中固体层的材料包含甲基丙烯酸和甲基丙烯酸酯的共聚物，所述固体层与其中形成涂层的排出口的那部分形成边界。
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公开(公告)号：CN1693080A
公开(公告)日：2005-11-09
申请号：CN200510069706.4
申请日：2005-05-08
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 提供一种喷墨记录头用基体的制造方法和记录头的制造方法，用来形成更均匀的发热电阻层。该喷墨记录头用基体具有：表面上有绝缘层的支撑体、配置在该支撑体的上述表面上的一对电极层、以及连续地覆盖该一对电极层和它们之间的发热电阻层，其制造方法包括：在上述支撑体上形成电极层的工序；以及通过刻蚀上述电极层，形成上述一对电极层的工序，在形成上述一对电极层的工序中，对位于上述绝缘层的上述一对电极层之间的表面部分进行刻蚀，在上述绝缘层的该部分上形成凹部。
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