公开(公告)号：CN119895329A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202280007488.3

申请日：2022-09-15

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 強力尚纪 ,  谷村昴 ,  柏屋俊克 ,  茶园弘基

IPC: G03F1/62

Abstract: 本发明提供一种EUV透过膜，其能够抑制构成EUV透过率降低的主要原因的保护层对EUV的吸收，由此在曝光时能够体现出较高的EUV透过率。该EUV透过膜具备：主层(12)，其波长13.5nm处的EUV透过率为85％以上，且由单层或2层以上的复合层构成；以及保护层(14)，其将主层的至少单面覆盖，且包含选自由非晶质碳、Cu、Al及有机抗蚀剂构成的组中的至少1种作为主成分。

公开(公告)号：CN118140177A

公开(公告)日：2024-06-04

申请号：CN202280007294.3

申请日：2022-09-15

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 柏屋俊克 ,  近藤厚男 ,  茶园弘基 ,  谷村昴 ,  強力尚纪

IPC: G03F1/62

Abstract: 本发明提供EUV透过率及IR放射率均较高的EUV透过膜。该EUV透过膜为波长13.5nm处的EUV透过率为80.0％以上的EUV透过膜，其具备：波长2μm处的IR放射率为2.0％以上的主层、以及将主层的至少单面覆盖的波长2μm处的IR透过率为70％以上的保护层。

公开(公告)号：CN110073225B

公开(公告)日：2021-11-26

申请号：CN201780074129.9

申请日：2017-11-08

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 柏屋俊克

IPC: G01R15/18 ,  H01F38/30

Abstract: 电流检测用的耐热性元件具备：耐热性基板(10)，其含有陶瓷材料；1根以上的电力配线(20)，其埋设于耐热性基板(10)；以及线圈构造(30)，其用于对在1根以上的电力配线(20)流动的电流进行检测。线圈构造(30)由在起点(P1)和终点(P2)之间延伸的线圈配线(31)构建而成。在线圈配线(31)的起点(P1)和终点(P2)之间，包含线圈配线(31)的一圈或与线圈配线(31)的一圈对应的线圈部(40)排列在将1根以上的电力配线(20)包围的周向上。线圈部(40)的第1导体(51)、第2导体(52)、第1连接配线(61)以及第2连接配线(62)埋设于耐热性基板(10)。第1导体(51)和第2导体(52)未在耐热性基板(10)外露出。

公开(公告)号：CN111033164A

公开(公告)日：2020-04-17

申请号：CN201880053383.5

申请日：2018-09-07

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 柏屋俊克 ,  田中干朗 ,  阿部裕毅

IPC: F28D15/02 ,  H01M10/058 ,  H01M10/613 ,  H01M10/653 ,  H01M10/6552 ,  H01M10/6569 ,  H01M10/654

Abstract: 在本说明书中公开的热管具备：筒体，其在内部封入有工作流体；以及吸液芯，其设置于筒体的内部的至少一部分。筒体具有由陶瓷材料制作的部分。而且，若将筒体的轴向的尺寸设为L，则由陶瓷材料制作的部分的轴向的尺寸成为L/2以上。

公开(公告)号：CN110073225A

公开(公告)日：2019-07-30

申请号：CN201780074129.9

申请日：2017-11-08

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 柏屋俊克

IPC: G01R15/18 ,  H01F38/30

Abstract: 电流检测用的耐热性元件具备：耐热性基板(10)，其含有陶瓷材料；1根以上的电力配线(20)，其埋设于耐热性基板(10)；以及线圈构造(30)，其用于对在1根以上的电力配线(20)流动的电流进行检测。线圈构造(30)由在起点(P1)和终点(P2)之间延伸的线圈配线(31)构建而成。在线圈配线(31)的起点(P1)和终点(P2)之间，包含线圈配线(31)的一圈或与线圈配线(31)的一圈对应的线圈部(40)排列在将1根以上的电力配线(20)包围的周向上。线圈部(40)的第1导体(51)、第2导体(52)、第1连接配线(61)以及第2连接配线(62)埋设于耐热性基板(10)。第1导体(51)和第2导体(52)未在耐热性基板(10)外露出。

公开(公告)号：CN100400465C

公开(公告)日：2008-07-09

申请号：CN200510092940.9

申请日：2005-08-24

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 山口浩文 ,  佐藤圭 ,  柏屋俊克

IPC: C04B35/493 ,  H01J1/304

Abstract: 本发明涉及提供电子发生元件中能够改善电子放出量随时间恶化的电介质组成物。本发明的电介质组成物，以PbxBip(Mgy/3Nb2/3)aTib-zMzZrcO3(0.95≤x≤1.05，0.02≤p≤0.1，0.8≤y≤1.0，且a、b、c是在(0.550，0.425，0.025)，(0.550，0.150，0.300)，(0.100，0.150，0.750)，(0.100，0.525，0.375)，(0.375，0.425，0.200)的5个点所包围的范围内的小数。还有，0.02≤z≤0.10，M是从Nb、Ta、Mo、W中选择的至少一种。)所表示的PMN-PZ-PT三成分固溶系组成物为主要成分，并且含有的Ni的量换算成NiO的含量为0.05～2.0重量%。