公开(公告)号：CN110023659B

公开(公告)日：2021-01-29

申请号：CN201780073803.1

申请日：2017-11-02

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 吉田俊英 ,  中田知宏 ,  篠原努 ,  稻田敏之 ,  船越高志 ,  佐藤秀信 ,  汤原知子

IPC: F16K1/00 ,  F16K7/14 ,  F16K31/122 ,  H01L21/205 ,  F16K31/02

Abstract: 提供一种流量控制范围较大且通用性得到提高的阀装置。具有：阀体(10)，其划分出流路(12、13)；隔板(20)，其以能够开闭流路(12、13)的方式设于阀体(10)；操作构件(40)，其用于操作隔板(20)，被设为能够在使流路(12、13)开闭的开闭方向(A1、A2)上移动；主致动器(60)，其赋予操作构件(40)以与沿着开闭方向的打开方向(A1)或关闭方向赋予的操作压力相对应的驱动力；切换机构，其能够根据操作压力的大小选择将限定流路的开度的操作构件(40)的位置切换至彼此不同的第1打开位置(P1)或第2打开位置(P2)；以及调节机构(70、80)，其能够分别独立地调节第1打开位置(P1)和第2打开位置(P2)。

公开(公告)号：CN111133239A

公开(公告)日：2020-05-08

申请号：CN201880062388.4

申请日：2018-09-11

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 近藤研太 ,  吉田俊英 ,  相川献治 ,  佐藤秀信 ,  中田知宏 ,  篠原努 ,  滝本昌彦

IPC: F16K31/02 ,  F16K31/122 ,  F16K37/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/31 ,  F16K7/12

Abstract: 本发明提供一种不使用外部传感器就能够精密地调整由经时、经年等引起的流量变动的阀装置。该阀装置具有利用了压电元件的调整用驱动器(100)，该压电元件用于调整定位于开位置的操作构件的位置，调整用驱动器(100)的驱动电路(200)具有：检测部(210)，其检测与在压电元件发生的应变量相关的电信号；以及控制部(210)，其基于与压电元件的应变量相关的电信号控制调整用驱动器(100)，以使由阀芯引起的流路的开度变为目标开度。

公开(公告)号：CN110730870A

公开(公告)日：2020-01-24

申请号：CN201880037585.0

申请日：2018-06-22

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 三浦尊 ,  筱原努 ,  中田知宏 ,  稻田敏之 ,  渡边一诚 ,  近藤研太 ,  佐藤秀信 ,  汤原知子

IPC: F15B15/14 ,  F16K31/122 ,  H01L21/205

Abstract: 提供一种能够使活塞的移动速度成为恒速的致动器、阀、以及半导体制造装置。具备：致动器(20)以及阀杆(26)，该制动器(20)具备：壳体，在内周部形成有第一、第二外周部收容槽(22g、23g)；第一、第二活塞(31、34)，在外周部形成有第一、第二内周部收容槽(31c、34c)，设置在壳体内并且与壳体一起形成第一、第二压力室(S1、S2)，通过驱动流体进行驱动；以及环状的第一、第二密封部件(33、36)，具有嵌入至第一、第二外周部收容槽(22g、23g)的第一、第二内周部(33A、36A)及嵌入至第一、第二内周部收容槽(31c、34c)的第一、第二外周部(33B、36B)，并使第一、第二压力室(S1、S2)密闭；该阀杆(26)设置为通过第一、第二活塞(31、34)的驱动，能够相对于主体(10)接近及远离而使流体通路(11b、11c)开闭。

公开(公告)号：CN110730869A

公开(公告)日：2020-01-24

申请号：CN201880037514.0

申请日：2018-06-22

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 三浦尊 ,  筱原努 ,  中田知宏 ,  稻田敏之 ,  渡边一诚 ,  近藤研太 ,  佐藤秀信 ,  汤原知子

IPC: F15B15/14 ,  F16K31/122 ,  H01L21/31

Abstract: 提供一种能够以简易的结构使开闭速度的偏差减少的致动器、阀、流体供给系统，以及半导体制造装置。阀(1)具备：主体(10)，形成有流体通路(11b、11c)；隔膜(15)，使流体通路开闭；阀杆(26)，设置为能够相对于隔膜(15)接近及远离移动，从而通过隔膜(15)使流体通路(11b、11c)开闭；减压阀(40)，设置于壳体内，将从外部供给的驱动流体的压力减压至预定压力；以及驱动部(30)，设置于壳体内，通过由减压阀(40)减压的预定压力的驱动流体驱动阀杆(26)。

公开(公告)号：CN104575657A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201510062246.6

申请日：2015-02-05

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 胜见雪人 ,  町井芳文 ,  长谷川惠一 ,  长谷川博恒 ,  吉原丰 ,  吉田政人 ,  佐藤秀信

IPC: G21K1/10

CPC classification number: G21K1/10

Abstract: 本发明提供具有形态保持性、刚性、耐久性的叠层型X线滤波栅。本发明涉及的叠层型X线滤波栅(14)的特征在于，以在具有X线透射性的片材(2)的上面形成包含X线吸收剂涂装层(4)和空隙层(5)的规定图形的印刷层(3)的已印刷片材(1)作为单位层，由将多片的所述已印刷片材(1)以片材(2)和印刷层(3)在叠层方向上交替配置的方式叠层了的已印刷片材叠层体(13)构成，通过夹着片材(2)并上下对向叠层的多个X线吸收剂涂装层(4)形成X线吸收部(10)，通过夹着片材(2)并上下对向叠层的多个空隙层(5)形成X线透射部(12)。进而，也可以在最上面配置具有X线透射性的上侧板(20)，在最下面配置具有X线透射性的下侧板(18)。