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公开(公告)号：CN111344510A
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN201880071291.X
申请日：2018-10-22
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种能够维持装置的小型化并且能够将向初级侧的流路流入的多个流体在次级侧分流为许多个的阀装置。阀元件(2A、2B)具有阀座(16)、阀座支承件(50)、以及设置为能够与阀座(16)的座面抵接和分离的隔膜(14)，隔膜(14)通过该隔膜(14)与阀座(16)之间的间隙而使阀座(16)的流通流路(16a)和对应的次级侧流路(24)连通，阀座支承件(50)具有与对应的收纳凹部(22)的内壁面的一部分协同动作而将对应的初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的连通切断的密封面(50b2，50b3)、以及连接初级侧流路(21)和流通流路(16a)的迂回流路(50a)，阀体(20)划定使次级侧流路(24A、24B)彼此连通的连通流路(24C)。
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公开(公告)号：CN111213109A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN201880066503.5
申请日：2018-10-05
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明根据利用多个流体控制设备而构成的流体供给管线整体的动作来诊断流体控制设备的异常。流体供给管线利用以流体密封方式连通的多个流体控制设备(F、V1、V2)而构成，诊断流体供给管线的异常的方法包括：阀操作工序，将流量控制装置内阀(FV)、阀(V1)和阀(V2)中的任一个或多个阀打开或关闭；压力调整工序，使自阀(V1)经由流量控制装置至阀(V2)的流路(R1、R2)内的一部分或全部为真空状态或加压状态；压力检测工序，通过压力检测机构(P1、P2)来获取流量控制装置(F)的流路内随时间推移的压力特性；以及异常判定工序，将由压力检测机构(P1、P2)获取的异常诊断时的压力特性与在同一条件下预先测定的正常时的压力特性进行对比，来判定异常的有无。
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公开(公告)号：CN111033104A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201880051365.3
申请日：2018-08-28
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明通过提供使布线简化的阀以及搭载有该阀的流体供给管线来提高材料气体的控制的精度。阀(V)具备阀本体(3)和与阀本体(3)连结的驱动压力控制装置(4)。驱动压力控制装置(4)具有：驱动压力导入通道(431)，与管线外的驱动压力供给源(G)连接；自动阀(411)，将驱动压力导入通道(431)打开或关闭；驱动压力导入通道(433)，与阀本体(3)的驱动压力导入口(3a)连结；自动阀(412)，与自动阀(411)联动来将驱动压力导入通道(433)打开或关闭，并将从驱动压力导入通道(433)释放驱动压力的排气通路(44)打开或关闭；以及驱动压力导入通道(432)，经由自动阀(411)和自动阀(412)来连结驱动压力导入通道(431)与驱动压力导入通道(433)。
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公开(公告)号：CN102341760B
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN200980157836.X
申请日：2009-11-06
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 株式会社富士金
IPC: G05D7/06 , C23C16/52 , H01L21/205
CPC classification number: C23C16/45561 , H01L21/67017 , Y10T137/0396
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，能够减少成本，并且能够实现空间的减少。流体控制装置(1)具有流体控制部(2)和流体导入部(3)。流体导入部(3)被分成三部分，包括：配置在入口侧且分别由2×N/2个开闭阀(23)构成的第一以及第二入口侧阻断开放部(5、6)；由4×M个开闭阀(23)构成且配置在第一以及第二入口侧阻断开放部(5、6)和流体控制部(2)之间的流体控制部侧阻断开放部(7)。
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公开(公告)号：CN108779867B
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201780008331.1
申请日：2017-01-20
Abstract: 本发明提供一种能够容易地将气体管线部相对于框架进行安装的流体控制装置及气体管线部的装卸方法。框架(2)的第一横框架部件(10)具备沿左右方向延伸的勾挂部件(16)、以及位于比勾挂部件(16)更靠下侧且形成有在前方开口的多个第一槽(13c)的下侧部(13)。沿上下方向延伸的管线支承部件(30)具有平板状的设备载置部(31)、以及从设备载置部(31)的左右两缘向后方突出的一对侧板部(32)。各侧板部(32)具有位于比勾挂部件(16)更靠下侧的基部(36)、以及位于比基部(36)更靠上侧且位于勾挂部件(16)后侧的上方部(37)。基部(36)中形成有向后方开口并嵌入至第一槽(13c)的第二槽(36a)，上方部(37)中设置有向前方突出并从上侧与勾挂部件(16)抵接的突起部(37A)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110832236A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201880044044.0
申请日：2018-06-12
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/17 , F16F15/02 , F16F15/073 , H02N2/18
Abstract: 提供一种能够搭载各种电子设备并且解决了布线、电池更换的问题的具有发电功能的气动式阀装置。具有：致动器(7)，其具有壳体部(10、11)和可动部(13)，该可动部(13)收纳在利用驱动流体驱动而使阀芯沿着关闭方向或打开方向移动的壳体部(10、11)；弹簧构件(30)，其对可动部(13)向抵抗驱动流体的驱动力的方向施力；以及发电减振单元(100)，其包括利用了压电元件的压电效应的、将由致动器(7)的动作所产生的振动系统的振动转换为电力的发电功能和抑制施加于装置的振动的减振功能。
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公开(公告)号：CN108779867A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201780008331.1
申请日：2017-01-20
Abstract: 本发明提供一种能够容易地将气体管线部相对于框架进行安装的流体控制装置及气体管线部的装卸方法。框架(2)的第一横框架部件(10)具备沿左右方向延伸的勾挂部件(16)、以及位于比勾挂部件(16)更靠下侧且形成有在前方开口的多个第一槽(13c)的下侧部(13)。沿上下方向延伸的管线支承部件(30)具有平板状的设备载置部(31)、以及从设备载置部(31)的左右两缘向后方突出的一对侧板部(32)。各侧板部(32)具有位于比勾挂部件(16)更靠下侧的基部(36)、以及位于比基部(36)更靠上侧且位于勾挂部件(16)后侧的上方部(37)。基部(36)中形成有向后方开口并嵌入至第一槽(13c)的第二槽(36a)，上方部(37)中设置有向前方突出并从上侧与勾挂部件(16)抵接的突起部(37A)。
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公开(公告)号：CN103732972B
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201380001709.7
申请日：2013-02-20
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K27/003 , C23C16/45561 , H01L21/67017 , Y10T137/4259 , Y10T137/87885
Abstract: 本发明提供一种不必进行流体控制装置的大幅改造便能够在管线间实现不同清洗气体的供给的清洗管线变更用通路块接头、以及具备这样的清洗管线变更用通路块接头的流体控制装置。在多条管线中的至少一条管线（Q）中，在三通阀用通路部的上侧连接有清洗管线变更用通路块接头（5）。清洗管线变更用通路块接头（5）具有：与三通阀用通路部的工艺气体用入口通路（7a）连通的工艺气体用入口通路（5a）；将工艺气体用入口通路（5a）与三通阀用通路部的出口通路（8a）连通的出口通路（5b）；不与三通阀用通路部的清洗气体用入口通路（9a）连通而将其封闭的通路封闭部（5c）；与出口通路（5b）连通并在上表面开口的新清洗气体用入口通路（5d）。
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公开(公告)号：CN104737086A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201380057366.6
申请日：2013-10-18
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/00 , F15B13/044 , F16K27/003 , G05D7/0652 , G05D7/0682 , Y10T137/87249 , Y10T137/87885
Abstract: 本发明实现半导体制造装置用集成型气体供给装置的气体供给线路的增加、装置的小型化、装置内部的气体流路内容积的减小，提高装置的气体置换性，并且实现设置空间的削减、各仪器类的维护管理的容易化。通过在以平面观察隔开间隔地并列设置的气体入口侧块（12）及气体出口侧块（13）上，将设置有多个流量控制部的两台流量控制器（3）对置状地组合固定，并且在各流量控制器（3）中设置入口开闭阀（1）及出口开闭阀（5），来形成包括至少四个气体供给线路（S）的气体供给单元（U），将该气体供给单元（U）堆叠多台并固定。
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公开(公告)号：CN104704283A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201380021762.3
申请日：2013-04-17
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F15B13/0817 , F15B13/0814 , F15B13/0871 , F15B13/0896 , F16K27/003 , H01L21/67017 , Y10T137/87885
Abstract: 提供一种能够削减部件数量且能够容易地进行列数增减等变更的流体控制装置。作为下层的通路块而具有跨越多列地配置的多列用(3列用)通路块(21)。多列用通路块(21)跨越3列地支承流量控制器(16)的入口侧伸出部(16b)及与其呈串联状地配置的2个入口侧开关阀(14、15)。在多列用通路块(21)内设有：用于将串联排列的流体控制设备的通路彼此连通的纵向通路；和用于将相邻列的流体控制设备彼此连通的横向通路。
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