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公开(公告)号：CN106471298A
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201580033240.4
申请日：2015-06-17
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/14 , C23C16/448 , H01L21/3065
Abstract: 在阀体(2)凹处(2c)底面(14)的平坦部(14b)上以包含流体流出通路(2b)的在凹处(2c)的底面(14)开口的部分的方式设置有沉头孔(15)。
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公开(公告)号：CN111295544B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN201880071418.8
申请日：2018-10-24
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种组装有节流孔、过滤器等功能部件的流路组件，功能部件与划定流路的流路部件之间被长期可靠地密封。在流路构件(51、52)的相对面(51f、52f)的外侧具有介于流路构件(51、52)之间的环状的弹性构件(54)，流路构件(52)具有凿紧部(52e_c)，凿紧部(52e_c)将流路构件(51、52)和板状构件一体化，以相对面(51f、52f)中的一者朝向相对面(51f、52f)中的另一者的方式对流路构件(52)施加力，对作为板状构件的节流孔板(53)与相对面(51f、52f)之间进行密封，弹性构件(54)在流路构件(51、52)之间被压扁而对流路构件(51、52)之间进行密封。
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公开(公告)号：CN110730870B
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201880037585.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/205
Abstract: 提供一种能够使活塞的移动速度成为恒速的致动器、阀、以及半导体制造装置。具备：致动器(20)以及阀杆(26)，该制动器(20)具备：壳体，在内周部形成有第一、第二外周部收容槽(22g、23g)；第一、第二活塞(31、34)，在外周部形成有第一、第二内周部收容槽(31c、34c)，设置在壳体内并且与壳体一起形成第一、第二压力室(S1、S2)，通过驱动流体进行驱动；以及环状的第一、第二密封部件(33、36)，具有嵌入至第一、第二外周部收容槽(22g、23g)的第一、第二内周部(33A、36A)及嵌入至第一、第二内周部收容槽(31c、34c)的第一、第二外周部(33B、36B)，并使第一、第二压力室(S1、S2)密闭；该阀杆(26)设置为通过第一、第二活塞(31、34)的驱动，能够相对于主体(10)接近及远离而使流体通路(11b、11c)开闭。
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公开(公告)号：CN111433496A
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN201880077575.X
申请日：2018-11-13
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种能够实现小型化、低成本化并且具有泄放功能的阀装置。阀体(20)划定在该阀体(20)的表面开口并且内置有阀元件(2)的收纳凹部(22)、以及与收纳凹部(22)连接的初级侧流路(21)和次级侧流路(24)，阀元件(2)具有将初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的通过收纳凹部(22)的直接的连通切断的密封部、通过阀元件(2)而使初级侧流路(21)和次级侧流路(24)连通的迂回流路(50a)、以及经由收纳凹部(22)而使迂回流路(50a)和次级侧流路(24)连通的泄放孔(50p)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107923558B
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201680050463.6
申请日：2016-07-14
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 一种管接头，其包括：第一部件(2)；第二部件(10)；焊接部(8)，其使第一外周端(14a)与第二外周端(10b)遍及全周地抵接，在产生横向收缩的同时使第一外周端(14a)与第二外周端(10b)接合；环状密封部分(42)，其借由横向收缩使第一按压部(22)和第二按压部(28)向彼此靠近方向移动而形成；热传递抑制部件(16)，其配置在第一部件(2)和第二部件(10)中的焊接部与密封部分(42)之间的空间(26)中，用以抑制焊接热从焊接部(8)向密封部分(42)的传递；以及第一卡环(36)，其安装于热传递抑制部件(16)的外周面(16a)，用以将热传递抑制部件(16)卡止于第一或第二部件(2)、(10)的内表面。
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公开(公告)号：CN107614955A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201680030545.4
申请日：2016-05-27
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16L37/14 , F16L23/036
CPC classification number: F16L37/15 , F16L23/036 , F16L37/144
Abstract: 一种管接头的接头方法，包括：准备第一管件(4)、第二管件(6)、收容于壳体(8)内并将第二管件(6)的第二凸缘部(18)向第一管件(4)的第一凸缘部(16)推压的推压部件(10)、以及壳体(8)，该壳体(8)具有第一开口(22)、第二开口(24)、第三开口(26)、凸缘收容空间(1)(32)和与该凸缘收容空间(1)(32)连通且收容推压部件(10)的收容空间(2)(28)；通过将第一管件(4)自第二开口(24)向第一开口(22)插入，使第一凸缘部(16)卡止于凸缘收容空间(1)(32),通过将第二管件(6)自第二凸缘部(18)插入第二开口(24)，以形成第二凸缘部(18)与第一凸缘部(16)抵接的状态；通过将推压部件(10)自第三开口(26)插入并收容于收容空间(2)(28)，将第二凸缘部(18)向第一凸缘部(16)推压以形成将第一凸缘部(16)和第二凸缘部(18)密封的密封部。
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公开(公告)号：CN106461097A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580033235.3
申请日：2015-06-17
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/12 , F16K7/14 , F16K7/16 , H01L21/205 , H01L21/3065
Abstract: 隔膜按压件(6)的与隔膜(5)抵接的面的曲率半径(SR2)设为30mm以上。相对于阀体(2)的凹处(2c)底面(14)的平坦部(14b)，按压接合件(8)的下表面的锥角(θ)设为10°以下。
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公开(公告)号：CN113366251A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202080011998.9
申请日：2020-01-21
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种流路组件，其组装有节流件、过滤件等功能部件，其中，功能部件与流路部件之间被长期可靠地密封。第1流路构件(51)具有对环状密封构件(54)的中心轴线(Ct)方向上的一端面进行支承的第1密封面(51f)，所述第2流路构件具有对板状构件的表面进行支承的由平坦面形成的第2密封面、以及对环状密封构件的外周面进行支承的第3密封面，对于环状密封构件，该环状密封构件的另一端面被按压于板状构件的背面，该环状密封构件的一端面被按压于第1流路构件的第1密封面，该环状密封构件的外周面被按压于第2流路构件的第3密封面，板状构件被环状密封构件的另一端面按压而该板状构件的表面被按压于第2流路构件的第2密封面。
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公开(公告)号：CN112955685A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201980070752.6
申请日：2019-10-21
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 提供一种具有更适合于小型化、集成化的构造的用于半导体制造工艺等的阀装置。该阀装置具有：阀体(3)，其收纳于截面形状为圆形的收纳凹部(35)，并且在底面形成有第1端口(3p1)和第2端口(3p2)；以及阀盖螺母(20)，其外螺纹部(20a)与形成于收纳凹部(35)的内周的内螺纹部(35s)螺纹结合，由此，将阀体(3)朝向收纳凹部(35)的底部按压，并且将该阀体(3)固定于流路块(30)，阀体(3)具有外周面部(3f)，该外周面部(3f)嵌入流路块(30)的收纳凹部(35)的内周面部(35a)，在外周面部(3f)形成有定位用的凸部(3a)，该凸部(3a)规定阀体(3)相对于流路块(30)的绕轴线(Ct)的旋转位置。
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