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公开(公告)号：CN110730870B
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201880037585.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/205
Abstract: 提供一种能够使活塞的移动速度成为恒速的致动器、阀、以及半导体制造装置。具备：致动器(20)以及阀杆(26)，该制动器(20)具备：壳体，在内周部形成有第一、第二外周部收容槽(22g、23g)；第一、第二活塞(31、34)，在外周部形成有第一、第二内周部收容槽(31c、34c)，设置在壳体内并且与壳体一起形成第一、第二压力室(S1、S2)，通过驱动流体进行驱动；以及环状的第一、第二密封部件(33、36)，具有嵌入至第一、第二外周部收容槽(22g、23g)的第一、第二内周部(33A、36A)及嵌入至第一、第二内周部收容槽(31c、34c)的第一、第二外周部(33B、36B)，并使第一、第二压力室(S1、S2)密闭；该阀杆(26)设置为通过第一、第二活塞(31、34)的驱动，能够相对于主体(10)接近及远离而使流体通路(11b、11c)开闭。
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公开(公告)号：CN112997031A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN201980071903.X
申请日：2019-10-18
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 提供一种流体控制装置和流体装置的制造方法，该流体控制装置在不减少流体的供给流量的情况下实现了进一步的小型化、集成化，也削减了组装工时。流体控制装置具有：接头块(20)，其划定在上表面开口的流体流路，并且在底面侧具有卡合部；支承构件(50)，其利用引导部(55)允许接头块(20)向长度方向的移动并且将该接头块(20)约束于该支承构件(50)的上表面；以及流体设备，其固定于接头块(20)的上表面，在该流体控制装置中，在支承构件(50)以柱塞(500)的顶端部从支承构件的上表面突出的方式设置一个以上的柱塞(500)，在接头块的底面设有凹部，该凹部与所述柱塞(500)的顶端部卡合，由此，对接头块(20)的长度方向上的位置进行定位。
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公开(公告)号：CN107923558B
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201680050463.6
申请日：2016-07-14
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 一种管接头，其包括：第一部件(2)；第二部件(10)；焊接部(8)，其使第一外周端(14a)与第二外周端(10b)遍及全周地抵接，在产生横向收缩的同时使第一外周端(14a)与第二外周端(10b)接合；环状密封部分(42)，其借由横向收缩使第一按压部(22)和第二按压部(28)向彼此靠近方向移动而形成；热传递抑制部件(16)，其配置在第一部件(2)和第二部件(10)中的焊接部与密封部分(42)之间的空间(26)中，用以抑制焊接热从焊接部(8)向密封部分(42)的传递；以及第一卡环(36)，其安装于热传递抑制部件(16)的外周面(16a)，用以将热传递抑制部件(16)卡止于第一或第二部件(2)、(10)的内表面。
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公开(公告)号：CN110023659A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201780073803.1
申请日：2017-11-02
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K1/00 , F16K7/14 , F16K31/122 , H01L21/205 , F16K31/02
Abstract: 提供一种流量控制范围较大且通用性得到提高的阀装置。具有：阀体(10)，其划分出流路(12、13)；隔板(20)，其以能够开闭流路(12、13)的方式设于阀体(10)；操作构件(40)，其用于操作隔板(20)，被设为能够在使流路(12、13)开闭的开闭方向(A1、A2)上移动；主致动器(60)，其赋予操作构件(40)以与沿着开闭方向的打开方向(A1)或关闭方向赋予的操作压力相对应的驱动力；切换机构，其能够根据操作压力的大小选择将限定流路的开度的操作构件(40)的位置切换至彼此不同的第1打开位置(P1)或第2打开位置(P2)；以及调节机构(70、80)，其能够分别独立地调节第1打开位置(P1)和第2打开位置(P2)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107614955A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201680030545.4
申请日：2016-05-27
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16L37/14 , F16L23/036
CPC classification number: F16L37/15 , F16L23/036 , F16L37/144
Abstract: 一种管接头的接头方法，包括：准备第一管件(4)、第二管件(6)、收容于壳体(8)内并将第二管件(6)的第二凸缘部(18)向第一管件(4)的第一凸缘部(16)推压的推压部件(10)、以及壳体(8)，该壳体(8)具有第一开口(22)、第二开口(24)、第三开口(26)、凸缘收容空间(1)(32)和与该凸缘收容空间(1)(32)连通且收容推压部件(10)的收容空间(2)(28)；通过将第一管件(4)自第二开口(24)向第一开口(22)插入，使第一凸缘部(16)卡止于凸缘收容空间(1)(32),通过将第二管件(6)自第二凸缘部(18)插入第二开口(24)，以形成第二凸缘部(18)与第一凸缘部(16)抵接的状态；通过将推压部件(10)自第三开口(26)插入并收容于收容空间(2)(28)，将第二凸缘部(18)向第一凸缘部(16)推压以形成将第一凸缘部(16)和第二凸缘部(18)密封的密封部。
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公开(公告)号：CN113366251A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202080011998.9
申请日：2020-01-21
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种流路组件，其组装有节流件、过滤件等功能部件，其中，功能部件与流路部件之间被长期可靠地密封。第1流路构件(51)具有对环状密封构件(54)的中心轴线(Ct)方向上的一端面进行支承的第1密封面(51f)，所述第2流路构件具有对板状构件的表面进行支承的由平坦面形成的第2密封面、以及对环状密封构件的外周面进行支承的第3密封面，对于环状密封构件，该环状密封构件的另一端面被按压于板状构件的背面，该环状密封构件的一端面被按压于第1流路构件的第1密封面，该环状密封构件的外周面被按压于第2流路构件的第3密封面，板状构件被环状密封构件的另一端面按压而该板状构件的表面被按压于第2流路构件的第2密封面。
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公开(公告)号：CN109952459B
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN201780069196.1
申请日：2017-11-02
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/02 , F16K31/122
Abstract: 提供一种流量调整用工时被大幅度地削减了的阀装置。具有：阀体(10)，其划分出流路(12)；阀芯(20)，其被设为能够开闭阀体的流路(12)；操作构件(40)，其用于操作阀芯，被设为能够在使阀芯(20)开闭流路(12)的开闭方向(A1、A2)上在预先设定的使阀芯(20)关闭流路的关闭位置(CP)与使阀芯(20)打开流路(12)的打开位置(OP)之间移动；主致动器(60)，其用于使操作构件(40)向打开方向(A1)移动；以及压电致动器(100)，其用于调整被定位于打开位置(OP)的操作构件(40)的位置。
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公开(公告)号：CN110023659B
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN201780073803.1
申请日：2017-11-02
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K1/00 , F16K7/14 , F16K31/122 , H01L21/205 , F16K31/02
Abstract: 提供一种流量控制范围较大且通用性得到提高的阀装置。具有：阀体(10)，其划分出流路(12、13)；隔板(20)，其以能够开闭流路(12、13)的方式设于阀体(10)；操作构件(40)，其用于操作隔板(20)，被设为能够在使流路(12、13)开闭的开闭方向(A1、A2)上移动；主致动器(60)，其赋予操作构件(40)以与沿着开闭方向的打开方向(A1)或关闭方向赋予的操作压力相对应的驱动力；切换机构，其能够根据操作压力的大小选择将限定流路的开度的操作构件(40)的位置切换至彼此不同的第1打开位置(P1)或第2打开位置(P2)；以及调节机构(70、80)，其能够分别独立地调节第1打开位置(P1)和第2打开位置(P2)。
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公开(公告)号：CN110730870A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201880037585.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/205
Abstract: 提供一种能够使活塞的移动速度成为恒速的致动器、阀、以及半导体制造装置。具备：致动器(20)以及阀杆(26)，该制动器(20)具备：壳体，在内周部形成有第一、第二外周部收容槽(22g、23g)；第一、第二活塞(31、34)，在外周部形成有第一、第二内周部收容槽(31c、34c)，设置在壳体内并且与壳体一起形成第一、第二压力室(S1、S2)，通过驱动流体进行驱动；以及环状的第一、第二密封部件(33、36)，具有嵌入至第一、第二外周部收容槽(22g、23g)的第一、第二内周部(33A、36A)及嵌入至第一、第二内周部收容槽(31c、34c)的第一、第二外周部(33B、36B)，并使第一、第二压力室(S1、S2)密闭；该阀杆(26)设置为通过第一、第二活塞(31、34)的驱动，能够相对于主体(10)接近及远离而使流体通路(11b、11c)开闭。
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