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公开(公告)号:CN102348828B
公开(公告)日:2013-10-30
申请号:CN201080011271.7
申请日:2010-04-14
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C23C14/325 , C23C14/54 , H01J37/32055 , H01J37/32669 , H01J37/34 , H01J37/345
Abstract: 在电弧式蒸发源中,将磁力线诱导到基板方向而加快成膜速度。其中,具有以包围靶(2)的外周的方式设置,且磁化方向沿着与靶(2)的表面正交的方向而配置的至少一个外周磁体(3),和配置在靶(2)的背面侧的背面磁体(4)。背面磁体(4)具有非环状的第一永久磁体(4A),其配置方式为,使其极性与外周磁体3的极性朝向同方向,并且沿着与背面磁体(4)的磁化方向与靶(2)的表面正交的方向而配置。
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公开(公告)号:CN101436652B
公开(公告)日:2012-06-27
申请号:CN200810178244.3
申请日:2008-11-17
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: H01M8/0206 , H01M8/0228 , H01M2008/1095 , Y02P70/56 , Y10T428/31678
Abstract: 本发明提供一种燃料电池隔板用钛基材,当其用作燃料电池隔板的基材时,能够长时间维持低接触电阻,并且,例如,即使在生产批量等不同的情况下,也不易产生能够长时间维持低接触电阻的效果的不稳定。本发明的燃料电池隔板用钛基材(1)用于制造在燃料电池中使用的隔板,该燃料电池隔板用钛基材(1)的材质是纯钛或钛合金,在该燃料电池隔板用钛基材(1)的表层(2)中,利用X射线光电子分光分析测定的在280~284eV之间具有结合能的碳的浓度为25原子%以下。
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公开(公告)号:CN101578728B
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN200780045512.8
申请日:2007-12-12
Applicant: 株式会社神户制钢所
IPC: H01M8/02 , C22C5/02 , C22C5/04 , C22C14/00 , C22C16/00 , C22C27/00 , C22C27/02 , C22F1/05 , C23C14/14 , H01M8/10 , C22F1/18
CPC classification number: H01M8/0206 , C22C5/02 , C22C5/04 , C22C14/00 , C22C16/00 , C22C27/00 , C22C27/02 , C22F1/05 , C22F1/18 , C23C14/16 , C23C14/165 , C23C14/5806 , C23C14/5846 , C23C14/5853 , H01M8/0208 , H01M8/021 , H01M8/0228 , H01M8/0263 , H01M2008/1095 , Y02P70/56
Abstract: 本发明涉及燃料电池的金属隔板用合金皮膜,其中,含有Au和Pt之中的至少1种贵金属元素,和从Ti、Zr、Nb、Hf及Ta中选择的至少1种非贵金属元素,所述贵金属元素/非贵金属元素的含有比例以原子比计为35/65~95/5,膜厚为2nm以上。另外,本发明还涉及燃料电池的金属隔板用合金皮膜的制造方法和溅射用靶材,以及金属隔板和燃料电池。本发明的燃料电池的金属隔板用合金皮膜,耐腐蚀性优异,并且接触电阻低,该低的接触电阻即使在腐蚀气氛中也能够长期维持,此外生产性也优异。
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公开(公告)号:CN102348828A
公开(公告)日:2012-02-08
申请号:CN201080011271.7
申请日:2010-04-14
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C23C14/325 , C23C14/54 , H01J37/32055 , H01J37/32669 , H01J37/34 , H01J37/345
Abstract: 在电弧式蒸发源中,将磁力线诱导到基板方向而加快成膜速度。其中,具有以包围靶(2)的外周的方式设置,且磁化方向沿着与靶(2)的表面正交的方向而配置的至少一个外周磁体(3),和配置在靶(2)的背面侧的背面磁体(4)。背面磁体(4)具有非环状的第一永久磁体(4A),其配置方式为,使其极性与外周磁体3的极性朝向同方向,并且沿着与背面磁体(4)的磁化方向与靶(2)的表面正交的方向而配置。
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公开(公告)号:CN101809467A
公开(公告)日:2010-08-18
申请号:CN200880108612.5
申请日:2008-09-25
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: G02B5/0858 , C23C14/14 , C23C14/165 , F21S41/37 , F21V7/22 , G02B5/0808 , G02B5/085 , H01L51/5203 , H01L51/5271 , H05B33/26 , Y10T428/12896 , Y10T428/265 , Y10T428/31507 , Y10T428/31678
Abstract: 本发明提供一种难以产生Ag薄膜的由于热引起的凝集或硫化的反射膜、反射膜层叠体及具备该反射膜、反射膜层叠体中的任一种的LED、有机EL显示器、有机EL照明器具。本发明的反射膜形成在基体上,其特征在于,是如下这样的Ag合金膜:以Ag为主要成分,含有0.02原子%以上的Bi,还以合计0.02原子%以上含有V、Ge、Zn中的一种以上,并且在所述V、Ge、Zn中的一种以上的含有率为[A](原子%),Bi的含有率为[Bi](原子%)时满足下述式(1)。另外,本发明的反射膜层叠体形成在基体上,其特征在于,在含有Ag合金膜的第一膜上形成有含有Si的氧化物的第二膜,其中所述Ag合金膜以Ag为主要成分,含有0.02原子%以上的Bi,还以合计0.02原子%以上含有V、Ge、Zn中的一种以上,并且在所述V、Ge、Zn中的一种以上的含有率为[A](原子%),Bi的含有率为[Bi](原子%)时满足下述式(1),7×[A]+13×[Bi]≤8…(1)。
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公开(公告)号:CN101483244A
公开(公告)日:2009-07-15
申请号:CN200910002909.X
申请日:2009-01-12
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: H01M8/008 , C23C14/021 , C23C14/022 , C23C14/165 , C23C14/545 , C23C14/5806 , H01M8/0206 , H01M8/0228 , H01M2008/1095 , Y02W30/86
Abstract: 本发明提供一种对从由于固体高分子膜或催化剂电极的劣化而达到寿命的燃料电池中回收得到的Ti基板的隔离件进行再利用时,能够低成本地制造与从Ti基板开始全新地制造的隔离件相比无特性问题的燃料电池用隔离件。其特征在于,进行如下所述的工序,即,从下述的燃料电池用隔离件(1)除去导电性被膜(3)及基板(2)表面的一部分,制作再生基板(2A)的除去工序,和将新的导电性被膜(3A)成膜于该再生基板2A的成膜工序,所述燃料电池用隔离件通过将包含由从Au,Pt,Pd构成的组中选择的至少一种构成的贵金属或贵金属合金的导电性被膜(3)成膜于由Ti或Ti合金构成的基板(2)而形成。
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公开(公告)号:CN103392026B
公开(公告)日:2016-04-06
申请号:CN201280009978.3
申请日:2012-02-23
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/325 , H01J37/32055 , H01J37/32669 , H01J37/34 , H01J37/3402 , H01J37/345 , H01J37/3452
Abstract: 本发明的一实施方式的电弧式蒸发源(101)具备如下:使磁化方向沿着与靶(102)的前面平行的方向而以包围靶的外周的方式配置的环状的外周磁体(103);使磁化方向沿着与靶(102)的前面正交的方向而配置在靶的背面侧的背面磁体(104)。外周磁体(103)的径向内侧的磁极和背面磁体(104)的靶(102)侧的磁极是彼此相同的极性。
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公开(公告)号:CN102933738B
公开(公告)日:2014-10-15
申请号:CN201180027644.4
申请日:2011-06-15
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: B23K9/00 , C23C14/325 , H01J37/32055 , H01J37/3402
Abstract: 本发明提供一种成膜速度快的电弧式蒸发源。本发明的电弧式蒸发源(1)具备:至少一个外周磁铁(3),其包围标靶(2)的外周,并且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向;非环状的第一永磁铁(4A),其配置于标靶(2)的背面侧,具有与所述外周磁铁(3)的极性同方向极性且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向;非环状的第二永磁铁(4B),其在与所述第一永磁铁(4A)隔开间隔的状态下,配置于第一永磁铁(4A)与标靶(2)之间、或配置于第一永磁铁(4A)的背面侧,具有与所述外周磁铁(3)的极性同方向的极性并且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向;以及磁性体(5),其配置在第一永磁铁(4A)与第二永磁铁(4B)之间。
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公开(公告)号:CN102460233B
公开(公告)日:2014-09-03
申请号:CN201080024297.5
申请日:2010-06-15
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: C22C21/00 , C23C14/185 , C23C14/3414 , G02B5/0808 , Y10T428/12993 , Y10T428/24355
Abstract: 本发明提供一种铝合金反射膜,其在利用溅射法成膜的情况下具有比纯Al膜高的反射率,并且具有优异的耐碱性、耐酸性以及耐湿性,因而即使没有保护被膜,也很难引起反射率降低,本发明的铝合金反射膜合计含有0.4~2.5at%的选自Sc、Y、La、Gd、Tb及Lu中的1种以上的元素,余量包含Al及不可避免的杂质,用原子力显微镜测定出的膜表面的平均粗糙度Ra为4nm以下。另外,提供具有该反射膜的汽车用灯具、照明设备。此外,提供用于形成该反射膜的铝合金溅射靶。
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公开(公告)号:CN101809467B
公开(公告)日:2012-12-12
申请号:CN200880108612.5
申请日:2008-09-25
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: G02B5/0858 , C23C14/14 , C23C14/165 , F21S41/37 , F21V7/22 , G02B5/0808 , G02B5/085 , H01L51/5203 , H01L51/5271 , H05B33/26 , Y10T428/12896 , Y10T428/265 , Y10T428/31507 , Y10T428/31678
Abstract: 本发明提供一种难以产生Ag薄膜的由于热引起的凝集或硫化的反射膜、反射膜层叠体及具备该反射膜、反射膜层叠体中的任一种的LED、有机EL显示器、有机EL照明器具。本发明的反射膜形成在基体上,其特征在于,是如下这样的Ag合金膜:以Ag为主要成分,含有0.02原子%以上的Bi,还以合计0.02原子%以上含有V、Ge、Zn中的一种以上,并且在所述V、Ge、Zn中的一种以上的含有率为[A](原子%),Bi的含有率为[Bi](原子%)时满足下述式(1)。另外,本发明的反射膜层叠体形成在基体上,其特征在于,在含有Ag合金膜的第一膜上形成有含有Si的氧化物的第二膜,其中所述Ag合金膜以Ag为主要成分,含有0.02原子%以上的Bi,还以合计0.02原子%以上含有V、Ge、Zn中的一种以上,并且在所述V、Ge、Zn中的一种以上的含有率为[A](原子%),Bi的含有率为[Bi](原子%)时满足下述式(1),7×[A]+13×[Bi]≤8…(1)。
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