-
公开(公告)号:CN105136047B
公开(公告)日:2017-12-19
申请号:CN201510284769.5
申请日:2015-05-28
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明公开了一种原位测量薄膜厚度变化的设备和方法,其中设备包括样品台、激光源和激光探测器,所述样品台承载待测样品,所述激光源发出第一束激光、第二束激光分别照射在待测样品的薄膜表面和基底表面,所述激光探测器接收被待测样品反射的第一束激光和第二束激光、计算所述薄膜表面和基底表面垂直方向的位置差值的变化,从而得到薄膜的厚度变化。
-
公开(公告)号:CN107220665A
公开(公告)日:2017-09-29
申请号:CN201710352884.0
申请日:2017-05-18
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G06K9/62
Abstract: 本发明公开了一种图像插值方法,包括将定义在M维网格上的待插值的散点集合进行分解,形成若干个点集;将若干个点集分别进行扩大,得到若干个扩大点集;在若干个扩大点集上进行基于径向基函数的散点插值,得到插值函数;获得相对于M维网格更为稀疏的稀疏网格,计算每个稀疏网格上的网格点到其所属的一个或多个扩大点集的中心的权函数值,并以该权函数值来分配各个网格点由径向基函数计算出来的插值结果;通过获得的每个稀疏网格上的插值结果来求得M维网格上的所有网格点的插值结果,得到整个包络面。本发明还公开了一种二维经验模态分解方法,该图像插值方法不仅具有较快的计算速度,而且应用在二维经验模态分解方法中还有较好的分解质量。
-
公开(公告)号:CN106500606A
公开(公告)日:2017-03-15
申请号:CN201611217687.X
申请日:2016-12-26
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01B11/02
CPC classification number: G01B11/02
Abstract: 一种多码道光栅尺、测量设备及数据处理方法,该光栅尺包括第一光栅码道、第二光栅码道、线性渐变滤光片码道、两个光栅读数头以及渐变片读数头,三个码道相互平行并列,两个光栅读数头对应于第一、第二光栅码道而设置,渐变片读数头对应于线性渐变滤光片码道而设置,三个码道设置成沿长度方向水平移动,两个光栅读数头和渐变片读数头保持固定,并分别使用波长为λ的激光对第一光栅码道、第二光栅码道和线性渐变滤光片码道进行探测,其中光栅读数头获取光栅尺的位移-干涉相位信息,渐变片读数头获取渐变片的位移-反射光强度信息。本发明在保证测量精度和量程的同时大幅降低了绝对式光栅尺的系统复杂程度和成本。
-
公开(公告)号:CN106324613A
公开(公告)日:2017-01-11
申请号:CN201610911927.X
申请日:2016-10-19
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01S17/66
CPC classification number: G01S17/66
Abstract: 一种用于飞秒激光跟踪仪的数据采集与处理系统及方法,该系统包括数据采集模块、所述数据处理模块以及采样时钟模块,所述数据采集模块用于对光电探测器输出的模拟电信号进行信号调理并转换为数字信号,所述数据采集模块输出的数字信号传送到所述数据处理模块,所述数据处理模块用于根据所述数字信号计算被测距离值,所述采样时钟模块用于向所述数据采集模块提供一个与飞秒激光跟踪仪中的参考光路脉冲激光频率梳相适应的输出相位可调节的时钟驱动。该系统能够实时处理飞秒激光跟踪仪光路系统输出的光学信号并实时、准确输出距离值。
-
公开(公告)号:CN104296871B
公开(公告)日:2016-03-02
申请号:CN201410568432.2
申请日:2014-10-22
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G01J3/28
CPC classification number: G01J3/28
Abstract: 本发明公开了一种双入射狭缝光谱仪的设计方法以及双入射狭缝光谱仪,使用凹面光栅、两个入射狭缝和两个光探测器搭建光谱仪,包括以下步骤:1)确定第一入射狭缝的入射角以及凹面光栅的槽型周期;2)估算凹面光栅的闪耀角,确定凹面光栅的表面材料和槽型结构;3)估算入射角范围;获取入射角度为θA1时和分布在入射角范围内的多个角度下凹面光栅的波长-衍射效率曲线;4)确定入射角θA2的值以及波长λ2和λ3的值;5)得到记录结构参数以及使用结构参数;6)确定凹面光栅的制作参数;7)确定两个入射狭缝和两个光探测器相对于凹面光栅的位置,从而搭建得到光谱仪。本发明的设计方法得到的光谱仪,能提高大部分光谱区域内的衍射效率。
-
公开(公告)号:CN103645532B
公开(公告)日:2016-02-17
申请号:CN201310619772.9
申请日:2013-11-29
Applicant: 东莞市金达照明有限公司 , 清华大学深圳研究生院
Abstract: 本申请涉及凹面闪耀光栅制作技术领域,特别涉及一种用于制作凹面闪耀光栅的基材结构及凹面闪耀光栅制作方法,制作凹面闪耀光栅时先在凹面光栅基底上黏贴软膜并在其上涂覆成型光刻胶光栅层,然后再将软膜剥离凹面光栅基底并黏贴至平面基底上,以光刻胶光栅层为掩模将软膜蚀刻为软膜光栅,由于其蚀刻的掩模是在凹形光栅基底上显影成型的,因此其最终的光栅结构能够精准的匹配凹形光栅基底,另一方面,由于去光栅结构是在平面基底上进行离子束蚀刻的,其不会受到凹形光栅基底的影响,能够有效降低其制造难度并提高制造精度。
-
公开(公告)号:CN103744137B
公开(公告)日:2015-11-18
申请号:CN201410026216.5
申请日:2014-01-20
Applicant: 清华大学深圳研究生院
Abstract: 本发明公开了一种闪耀凹面光栅制作装置,包括凸面闪耀母光栅,所述凸面闪耀母光栅包括按不同的角度紧密拼合在一起的可分离的多个拼接块,所述多个拼接块拼合在一起形成的凸面的曲率半径与待制作的闪耀凹面光栅的曲率半径一致。本发明还公开了一种相应的闪耀凹面光栅制作方法。本发明的闪耀凹面光栅制作装置及制作方法能避免闪耀凹面光栅从母光栅上拔取时造成槽型的破坏,有效解决复制闪耀凹面光栅槽型误差大的问题。
-
公开(公告)号:CN103006180B
公开(公告)日:2014-10-22
申请号:CN201210503489.5
申请日:2012-12-01
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: A61B5/00
Abstract: 本发明涉及一体化的静脉血管寻找投影装置及系统,该装置包括分色棱镜、可见光光源和照明镜组,所述分色棱镜的第一侧设置成像镜头,所述分色棱镜的第二侧由近至远依次设置光学补偿棱镜和红外成像器件,所述分色棱镜的第三侧由近至远依次设置分光棱镜和投影显示器件,所述可见光光源和照明镜组设置在所述分光棱镜的一侧,所述红外成像器件与所述投影显示器件连接;可见光光源发出的光投射到所述投影显示器件上,所述红外成像器件获取静脉血管的红外图像信息,驱动所述投影显示器件对投射到其的可见光进行调制,进而将静脉血管的图像成像至皮肤表面该静脉血管位置处。该系统由红外光源和上述投影装置组成。本装置定位准确、实时,结构简单。
-
公开(公告)号:CN103792606A
公开(公告)日:2014-05-14
申请号:CN201410038074.4
申请日:2014-01-26
Applicant: 清华大学深圳研究生院
CPC classification number: G03H1/041 , G02B5/18 , G02B5/32 , G02B27/0012 , G02B27/44 , G03H1/04 , G03H1/0402 , G03H2001/0439
Abstract: 本发明公开了一种全息光栅的曝光方法及曝光光路,曝光方法包括调节两个曝光光源的位置,形成曝光光路的步骤:(1)确定两个曝光光源的初始位置;(2)计算仿真的初始光路工作后形成光栅的成像质量参数;(3)在初始光路中设置补偿镜;(4)根据补偿镜的位置调节曝光光源的位置至新位置;(5)计算仿真的新光路工作后形成光栅的成像质量参数;(6)判断步骤(5)的成像质量参数与步骤(2)的成像质量参数的差值是否相当。在是相当的条件下,将新位置作为曝光光源的最终位置;将新位置下对应的新光路作为最终的曝光光路。本发明的曝光方法及曝光光路,可在不影响光栅制作要求和成像要求的前提下有效地解决曝光光源之间的距离过近的问题。
-
公开(公告)号:CN101819493B
公开(公告)日:2013-03-06
申请号:CN201010175181.3
申请日:2008-12-22
Applicant: 清华大学深圳研究生院
IPC: G06F3/042
Abstract: 本发明提供一种交互式显示屏幕及其方法。交互式显示屏幕包括:显示屏幕(300),成像装置(200),用于对具有特定光信息的物体(100)形成包含其空间位置信息的像;光位置获取装置,用于把所述成像装置(200)所形成的、包含具有特定光信息的物体(100)空间位置信息的像转化为相应的位置电信号;处理单元(500),用于处理所述光位置获取装置所传送来的位置电信号,并控制所述显示屏幕(300)做出相应的显示。本发明的优点在于,不需要对显示屏幕本身有额外的要求即可实现交互式的输入,适用于任何显示屏幕,例如投影屏幕或者CRT显示屏等,因此能以较低的成本实现大屏幕的交互式输入。
-
-
-
-
-
-
-
-
-