等离子成膜设备
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1735960A

    公开(公告)日:2006-02-15

    申请号:CN200380100254.0

    申请日:2003-10-07

    Abstract: 在等离子体成膜设备中,连接到电源(4)的两个第一种电极(51)和两个接地的第二种电极(52)以第二种电极(52)、第一种电极(51)、第一种电极(51)和第二种电极(52)的顺序安置。在中心第一种电极(51)之间形成的第一种流道(50a)使用于形成到膜中的原材料气体(第一种气体)从其中通过。在两侧的第一种和第二种电极(51、52)之间形成的第二种流道的等离子体放电空间(50b)使可激发气体(第二种气体)从其中通过,可激发气体被等离子体激发使得原材料可形成到膜中,但是可激发气体本身仅仅被激发,但是不形成到膜中。那些气体汇集在第一种和第二种流道之间的交叉部分(20c),通过共同喷气通道(25a)喷出。这样可以防止设备组成构件例如电极被膜粘附。

    树脂烧结物以及搭载有该树脂烧结物的电子设备

    公开(公告)号:CN101437895A

    公开(公告)日:2009-05-20

    申请号:CN200780015897.3

    申请日:2007-05-01

    CPC classification number: C08G73/06 C08L79/04

    Abstract: 本发明提供耐热性优异的树脂烧结物以及搭载了该树脂烧结物的电子设备。本发明提供由含有主链型芳香族苯并噁嗪结构的树脂组合物烧结而成的树脂烧结物,且该树脂烧结物在13C NMR测定时在58±2ppm处有峰,上述峰的半宽度在4~10ppm的范围。本发明提供将含有主链型芳香族苯并噁嗪结构的树脂组合物在270℃以上350℃以下烧结的树脂烧结物的制造方法。本发明还提供搭载上述树脂烧结物的电子设备。

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